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製品 マスフローコントローラ コリオリ式 Quantim® シリーズ
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Quantim® シリーズコリオリ式マスフローコントローラ/メータ

コリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準
モデル QMBC2 / QMBM2

ブルックスインスツルメントのQuantim® コリオリ式マスフローコントローラとメータは、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い精度とゼロ安定性を実現します。ブルックスは、コリオリ式フローテクノロジーの向上・改善をリードしています。特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、低流量の測定が可能です。その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供します。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ：

電話：03-5633-7100

Quantim® シリーズ データシート

特長

  • 正確なマスフロー測定
  • 正確な密度測定
  • 低質量流量センサパイプによるの100%の流体量（バイパスなし）
  • 独自の光学検出法により、微少流量でも高精度計測が可能
  • 幅広い流量レンジで液体・ガス両方の計測を実行
  • コプラナーバルブにより、超高速応答時間を実現
  • マーケットにおける最小サイズかつ最小流量のコリオリメータおよびフローコントローラ
  • 質量流量、体積流量、温度、密度という 4つのパラメータから2つを測定し出力可能
  • 独立した診断/サービスポートとユーザーディスプレイ
  • 豊富な材質オプション、筐体タイプ、設置面積に対応

メリット

  • 高度なセンサと配管テクノロジーにより、微少流量でも高精度な測定を実現
  • 計測システムの交換や再校正をすることなく、プロセス流体および/またはプロセスの条件を変更可能
  • 複数の出力により、プロセス状態のモニタと診断を簡素化・改善し、利益を向上しながら、COOを削減
  • パッケージに内蔵センサ、バルブ、PID制御を統合し、購入、設置、立ち上げを合理化
  • セットポイントが2秒以下になり、材料の削減が可能
  • 複雑なプロセスシステムにも簡単に設置可能なコンパクトなサイズ
  • 内部に可動部がないので、メンテナンスの必要性なし

用途

  • 真空プロセス
  • 触媒研究
  • 気化機へのプリカーサ供給
  • 精密コーティング
  • 高精度充填ステーション
  • 測定ポンプフィードバック/制御ループ
{5D094FEF-32CD-4838-93A9-DA0CA6E5123C}
製品タイプ
Mass Flow Controller
{5003CEFC-F205-4FDC-BA26-1DB1A7A9E454}
差別化要因
{727CCEF2-64E1-4F75-ADDF-839A2874A3F9}
パフォーマンス
{3C1055DF-0814-4CF6-92F6-30795FE269CC}
再現性
±0.05% or ±[0.5 x (zero stability/flowrate) x 100]% of rate whichever is greater
{A742E6D4-0F87-4F01-8FE9-2F40266B5836}
レスポンスタイム

SS Controller: <2 sec

SS Meter: <0.5 sec

Alloy C-22 Controller: <12 sec

Alloy C-22 Meter: <0.5 sec

{C5082484-2CE7-415F-925A-42B948747789}
流量範囲（フルスケール容量）
10 - 27,000 gram/hr
{66BC80C1-5F4D-4961-82EC-E6A4286F27DE}
Temperature Accuracy
± 0.5°C
{AE9454C9-4B0B-45E2-AB08-283AEF2DB4C8}
精度

Standard Flow Accuracy (below) or [(zero stability/flow rate) x 100]% of rate, whichever is greater

Liquid: 0.2% of rate

Gas: 0.5% of rate

{3580C4C8-0781-40BF-94AF-227353DB0BF6}
Differential Pressure Range

Liquid: 10 - 200 psi

Gas: 10 - 150 psi

{2EA51D7A-6757-418D-963F-2DB8DAB3D730}
Density Range
0 to 0.3 and 0.5 to 2.0 g/cc
{65B1F0E6-0156-43A5-B5D2-EBB9D70F5FAD}
Density Accuracy
± 0.005 g/cc
{B76BF611-2FB2-42D5-A875-E1A6D7C3F09C}
Leak Integrity

Elastomer: Outboard 1 x 10-9 atm. cc/sec, helium (max)

Metal Seal: 1 x 10-10 atm. cc/sec, helium (max)

{96ABEBA1-1E72-4B50-9029-0466EAC48B9D}
メカニカル
{FE84826B-179F-4454-BEAF-225EA6274174}
Wetted Materials

316L, 316L VAR, High Alloy Ferritic Stainless & 17-7PH

Optional: Alloy C-22 Sensor Tube

{2AB126DD-F30B-4D74-B5A4-7EF814CE2DEB}
ハウジング

Standard: IP40

Optional: IP66

Optional: IP66XP

{BB2325C7-C4C6-49DF-A187-57F255710BE7}
Inlet Filter

Size 2 Sensor: 1 & 10 micron

Size 3 & 4 Sensors: 10, 20, 30 & 40 micron

{BEF690DA-1E53-4FFD-8834-931BDA4A79E4}
Fittings
1/16”, 1/8”, 1/4” or 6mm tube compression, VCR, VCO or NPT(F), 3.2 mm UPG, Downport ANSI/ISA 76.00.02 (See Model Code)
{B2061F4B-2841-4477-8384-B38AC14AC38A}
Electrical
{9B2C0B35-B3A4-4881-B327-251E06F8CCE6}
アナログ通信

0-5 Vdc, 4-20 mA

{4C0F2FAE-C938-4FB9-8A3B-EC1C630665D5}
デジタル通信
HART
{7355A946-A120-4787-8254-B43E198D2655}
シール材
{5EA92797-F284-4C28-A5BB-C1D75647400F}
評価
{CA2E0944-C762-450E-9161-FCBA17786D0B}
最高気温
0 - 65oC
{9E96C751-492D-4330-8D75-8634F1549D20}
最高圧力

Standard Internal Valve: 500 psig

Optional Internal Valve: 1500 psig

Optional Remote Valve: 4500 psig

{C25D426D-36F2-421B-9D45-1B3453009219}
Electrical Connection

IP40: 15 pin D-Type connector

IP66: Unpluggable Terminal Block 28-16 Awg

IP66XP: 3/4” NPT wiring access to IP40 device with 15 pin D-Type connector

{5DCD05AB-8D57-421B-9D31-8031C5BB3F48}
Power Supply - Consumption

Voltage: +14 - 27 Vdc

Nominal Current: 300 - 300 mA (controller); 100 - 150 mA (meter)

Maximum Current: 715 mA @ 14 Vdc (controller); 470 mA @ 14 Vdc (meter)

Maximum Power: 10.0 W (controller); 6.6 W (meter)

{BF7DCAAD-8DE1-475C-BCC3-9F80546DD2D7}
Diagnostics
{6D1F6413-977F-4939-BDE1-C6F5E3249A73}
診断能力

Available

QMBC2 QMBM2
差別化要因 Third generation Coriolis sensor and electronics provides superior performance and reliability Large installed base with proven long-term performance
レスポンスタイム

Stainless Steel Sensor

<2 secs

Alloy C-22 Sensor

<12 secs

Stainless Steel Sensor

<0.5 secs

Alloy C-22 Sensor

<0.5 secs
Density Range 0 to 2.0 g/cc 0 to 0.3 and 0.5 to 2.0 g/cc
Wetted Materials

316L, 316L VAR, High Alloy Ferritic Stainless & 17-7PH

316L, 316L VAR, High Alloy Ferritic Stainless & 17-7PH

Optional: Alloy C-22 Sensor Tube
ハウジング

Standard: IP40

Standard: IP40

Optional: IP66

Optional: IP66XP
Fittings

Elastomer Seal: 1/16”, 1/8”, 1/4” or 6mm tube compression

1/8” or 1/4” NPT(F)

1/8” or 1/4” VCR, 1/4” VCO

Metal Seal: 1/8” or 1/4” VCR, 3.2mm UPG

See Model Code

1/16”, 1/8”, 1/4” or 6mm tube compression, VCR, VCO or NPT(F), 3.2mm UPG, Downport ANSI/ISA 76.00.02

See Model Code
Electrical Connection

IP40: 15 pin D-Type connector

IP40: 15 pin D-Type connector

IP66: Unpluggable Terminal Block 28-16 Awg

IP66XP: 3/4" NPT wiring access to IP40 device with 15 pin D-Type connector
アナログ通信

0-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 4-20 mA
デジタル通信

RS-485 (Smart Protocol)

HART over 4-20 mA
最高圧力

Standard Internal Valve: 500 psig

Optional Internal Valve: 1500 psig

Standard Internal Valve: 500 psig

Optional Internal Valve: 1500 psig

Optional Internal Valve: 4500 psig (Remote Valve for Controller)
診断能力

LED Status light

Open Collector Alarm Output

Advanced diagnostics, alarms & warnings available via digital I/O

LED Status light

Open Collector Alarm Output
Filename File Type Documents By Language
Data Sheet - QMC pdf English
Quick Start Guide - QMC pdf English
Installation Manual - QMC pdf English
RS485 Supplemental Manual - QMC pdf English
Data Sheet - QMB pdf English
Quick Start Guide - QMB pdf English
Installation Manual - QMB pdf English
HART® Supplemental Manual pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: QMB - C - A - A - 1L - 1 - A

 Meter Series
 Type  Valve Type
  Enclosure
   Process Connections  Electrical Connection  Inline Filter
 QMB
  C - Controller  A - No Valve
  A - NEMA 1/ IP40
   1D - 1/8" Tube Compression Fittings  1 - 15 pin D-type   A - None
   M - Meter  B - Normally Closed
  
   1L - 1/8" VCR
  C - Inline Filter, Cartridge Filter, 20 Micron
 
 C - Remote Normally Closed
  



 

0250 シリーズ
0250 シリーズ

4デバイスまでのコントロールと権限

ブルックスエキスパートサポートツール（BEST）
ブルックスエキスパートサポートツール（BEST）
ブルックスエクスパートサポートツール（BEST）は、SLA58XXおよびSLAMfXX高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラの制御を強化するWindowsベースのアプリケーションです。このソフトウェアを使用すれば、セットアップ、属性設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション（ライセンスキー）を含むサービスタスクを利用することができます。デバイスの上部にある診断ポートからアクセスできます。