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ゴールデンウィーク期間 営業日ならびに休業日のお知らせ - 平素は格別のご愛顧を賜り、誠にありがとうございます。勝手ながら、4月28日(土)~4月30日(月)、5月2日(水)~5月6日(日)の期間は休業日となります。5月1日(火)は平常営業いたします。何卒ご了承くださいますようお願い申し上げます。

Quantim® シリーズコリオリ式マスフローコントローラ/メータ

コリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準
モデル QMBC2 / QMBM2 / QMBC3 / QMBM3 / QMBC4 / QMBM4

ブルックスインスツルメントのQuantim® コリオリ式マスフローコントローラとメータは、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い精度とゼロ安定性を実現します。ブルックスは、コリオリ式フローテクノロジーの向上・改善をリードしています。特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、低流量の測定が可能です。その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供します。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

Quantim® シリーズ データシート

特長

  • 正確なマスフロー測定
  • 正確な密度測定
  • 低質量流量センサパイプによるの100%の流体量(バイパスなし)
  • 独自の光学検出法により、微少流量でも高精度計測が可能
  • 幅広い流量レンジで液体・ガス両方の計測を実行
  • コプラナーバルブにより、超高速応答時間を実現
  • マーケットにおける最小サイズかつ最小流量のコリオリメータおよびフローコントローラ
  • 質量流量、体積流量、温度、密度という 4つのパラメータから2つを測定し出力可能
  • 独立した診断/サービスポートとユーザーディスプレイ
  • 豊富な材質オプション、筐体タイプ、設置面積に対応

メリット

  • 高度なセンサと配管テクノロジーにより、微少流量でも高精度な測定を実現
  • 計測システムの交換や再校正をすることなく、プロセス流体および/またはプロセスの条件を変更可能
  • 複数の出力により、プロセス状態のモニタと診断を簡素化・改善し、利益を向上しながら、COOを削減
  • パッケージに内蔵センサ、バルブ、PID制御を統合し、購入、設置、立ち上げを合理化
  • セットポイントが2秒以下になり、材料の削減が可能
  • 複雑なプロセスシステムにも簡単に設置可能なコンパクトなサイズ
  • 内部に可動部がないので、メンテナンスの必要性なし

用途

  • 真空プロセス
  • 触媒研究
  • 気化機へのプリカーサ供給
  • 精密コーティング
  • 高精度充填ステーション
  • 測定ポンプフィードバック/制御ループ
機種
Mass Flow Controller
Differentiator

Large installed base with proven long term performance

Performance
Repeatability
±0.05% or ±[0.5 x (zero stability/flowrate) x 100]% of rate whichever is greater
Response Time - NC

SS Controller: <2 sec

SS Meter: <0.5 sec

Alloy C-22 Controller: <12 sec

Alloy C-22 Meter: <0.5 sec

流量範囲(フルスケール容量)
10 - 27,000 gram/hr
Temperature Accuracy
± 0.5°C
精度

Standard Flow Accuracy (below) or [(zero stability/flow rate) x 100]% of rate, whichever is greater

Liquid: 0.2% of rate

Gas: 0.5% of rate

Differential Pressure Range

Liquid: 10 - 200 psi

Gas: 10 - 150 psi

Density Range
0 to 0.3 and 0.5 to 2.0 g/cc
Density Accuracy
± 0.005 g/cc
Leak Integrity

Elastomer: Outboard 1 x 10-9 atm. cc/sec, helium (max)

Metal Seal: 1 x 10-10 atm. cc/sec, helium (max)

Mechanical
Wetted Materials

316L, 316L VAR, High Alloy Ferritic Stainless & 17-7PH

Optional: Alloy C-22 Sensor Tube

Housing

Standard: IP40

Optional: IP66

Optional: IP66XP

Inlet Filter

Size 2 Sensor: 1 & 10 micron

Size 3 & 4 Sensors: 10, 20, 30 & 40 micron

Fittings
1/16”, 1/8”, 1/4” or 6mm tube compression, VCR, VCO or NPT(F), 3.2 mm UPG, Downport ANSI/ISA 76.00.02 (See Model Code)
Electrical
Analog Communication

0-5 Vdc, 4-20 mA

デジタル通信
HART
Seal Material
Metal
Ratings
最大温度
0 - 65oC
最大圧力

Standard Internal Valve: 500 psig

Optional Internal Valve: 1500 psig

Optional Remote Valve: 4500 psig

デジタル通信

Electrical Connection

IP40: 15 pin D-Type connector

IP66: Unpluggable Terminal Block 28-16 Awg

IP66XP: 3/4” NPT wiring access to IP40 device with 15 pin D-Type connector

Power Supply - Consumption

Voltage: +14 - 27 Vdc

Nominal Current: 300 - 300 mA (controller); 100 - 150 mA (meter)

Maximum Current: 715 mA @ 14 Vdc (controller); 470 mA @ 14 Vdc (meter)

Maximum Power: 10.0 W (controller); 6.6 W (meter)

Diagnostics
Diagnostic Capability

Available

QMBC2 QMBM2 QMBC3 QMBM2 QMBC4 QMBM4
機種 Mass Flow Controller Mass Flow Meter Mass Flow Controller Mass Flow Meter Mass Flow Controller Mass Flow Meter
Liquid

0.15 kg/hr

0.19 kg/hr

0.78 kg/hr

1.00 kg/hr

7.97 kg/hr

13.5 kg/hr

Gas - kg per hr

0.076 kg/hr

0.103 kg/hr

0.214 kg/hr

0.405 kg/hr

1.796 kg/hr

3.84 kg/hr

Gas - sccm

1051

 

1432

 

2955

 

5595

 

24787

 

53116

 

Zero Stability

Stainless Steel Sensor (kg/hr)

0.00026

Alloy C-22 Sensor (kg/hr)

0.0004

Stainless Steel Sensor (kg/hr)

0.00026

Alloy C-22 Sensor (kg/hr)

0.0004

Stainless Steel Sensor (kg/hr)

0.0020

Alloy C-22 Sensor (kg/hr)

0.0030

Stainless Steel Sensor (kg/hr)

0.0020

Alloy C-22 Sensor (kg/hr)

0.0030

Stainless Steel Sensor (kg/hr)

0.0120

Alloy C-22 Sensor (kg/hr)

0.0240

Stainless Steel Sensor (kg/hr)

0.0120

Alloy C-22 Sensor (kg/hr)

0.0240

Response Time - NC

Stainless Steel Sensor

<2 secs

Alloy C-22 Sensor

<12 secs

Stainless Steel Sensor

<0.5 secs

Alloy C-22 Sensor

<0.5 secs

Stainless Steel Sensor

<2 secs

Alloy C-22 Sensor

<12 secs

Stainless Steel Sensor

<0.5 secs

Alloy C-22 Sensor

<0.5 secs

Stainless Steel Sensor

<2 secs

Alloy C-22 Sensor

<12 secs

Stainless Steel Sensor

<0.5 secs

Alloy C-22 Sensor

<0.5 secs

FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Supplemental Manual - HART® pdf English
Quick Start Guide pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: QMB - C - A - 1L - 1 - A

 Meter Series
 Type  Enclosure
  Process Connections  Electrical Connection  Inline Filter
 QMB
 C - Controller  A - NEMA 1/ IP40
  1D - 1/8" Tube Compression Fittings  1 - 15 pin D-type   A - None
   M - Meter  
  1L - 1/8" VCR   C - Inline Filter, Cartridge Filter, 20 Micron
 
 

 

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