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年末年始休業のお知らせ - 平素は格別のご愛顧を賜り、誠にありがとうございます。勝手ながら、12月29日(土)~1月6日(日)の期間、年末年始の休業日となります。2019年度は1月7日(月)より営業を開始いたします。何卒ご了承くださいますようお願い申し上げます。

歴史

「イノベーションでリードする」 起業以来のモットー

当社の設立は1946年、世界初のコンピュータENIAC(エニアック)が初公開され、「オートメーション」という言葉が使われるようになった頃でした。この年、ブルックス・ロータメータ社が、ペンシルベニア州ランスデールで事業を開始し、これが当社の原点となります。

ステファン・A・ブルックスが創設したブルックス・ロータメータ社は、ロータメータ構造の画期的な側板、ドウェルピンの原理を強みとして設立され、信頼性の高い結果を出す優れた計測装置を各種産業に提供し、基本プロセスの計測制御方法改善につながる技術を生み出すことを社内のモットーとして現在に至っています。

成長のための取り組み

当社の70年に及ぶ成長と成功の歴史において、ブルックスインスツルメントはそれまでの流れを変えるいくつもの流体計測制御技術を先駆けて開発してきました。その一つが、1958年に発売され1965年3月のジェミニ計画でNASAが宇宙服のリークテストに使用した高耐久性の、最新式Sho-Rate®面積流量計です。

以来、自社内で画期的な質量流量技術を生み出したクリエータ、例えばタイラン・ジェネラルやユニット・インスツルメンツなどの企業とブルックスは、質量流量技術の開発と応用に取り組み技術発展に推進してまいりました。

マスフローの潜在性を解き放つ

質量流量計測制御技術はデジタル世界を牽引する世界的な半導体産業の形成に貢献してきましたが、この技術を導入し継続的に進化させることが当社のビジネスの強みと伝統になっています。各時代の成功事例を以下に紹介させていただきます。

  • 1970年代にアポロ宇宙船の酸素量の精密測定に初めて使用されたマスフローコントローラ(MFC)は、タイランRC-260という呼名で市販されるようになりました。これによって半導体メーカーは、プロセスガスの自動制御を初めて手中にし、処理量と歩留まりを産業レベルに引き上げることができました。
  • 1980年、ユニット・インスツルメンツがUFC1000を発売し、エッチングのような要求度の高いプロセスに適した高応答、高安全の常閉MFCバルブを開発し、注目を集めます。
  • 1990年代初頭から半ばにかけて、ブルックスインスツルメントは信頼性と腐食性ガス耐性を高めた初の金属遮蔽MFC(5850EM)のほか、精度とプロセスツールへの組み込みやすさが向上した初のオールデジタルMFCを発売しました。

以上のような形で技術革新を進めた当社のマスフロー装置の技術特性は、メーカー各社のプロセスの精度と正確さをさらに高め、お客様の製品のアップグレードに貢献しております。

利用性の向上

当社の技術は常に、技術を提供する業界のブレークスルーとしての役割を果たしてきました。実際の用途における性能の継続的改善に重点を置くこと、プロセスの柔軟性アップ、計装の選択肢を広げる、各動作要件に対応することが大切な指針になっています。

1998年:ブルックスは初の耐候性危険区域用MFCであるMfシリーズを発売しました。このシリーズの登場は、MFCを野外、洗浄/殺傷用途や危険区域で使用できるようになりました。その他、同時期に初のコリオリ方式ミニMFCを発売し、お客様に低流量液体計測制御の精度アップをご提案できるようになりました。

2000年初頭:特定分野を対象にした技術革新が注目を集めました。(以下事例):

  • 小型直付けMFCを発売し、OEMはガスパネルのサイズを最大60%縮小できるようになり、プロセスツール周辺の必要スペースを大幅にカットできるようになりました。
  • 真空測定が新たな時代に突入し、初のデジタル・キャパシタンス・マノメータが発売されました。
  • 2001年、MultiFlo®マスフロー技術により、ガスや流量の組み合わせを変えた吐き出しをすべて1台の装置でプログラムできるサーマルマスフローメーターおよびフローコントローラを開発、発売しました。
  • 2004年、セレリティ・インスツルメンテーション(旧ユニット・インスツルメンツ)が、市場トップの応答時間と入口圧力の変動補償を実現する初のPTI型(圧力遷移に反応しない)MFCとしてIFC125を発売しました。(セレリティ・インスツルメンテーション:その後当社が買収)

イノベーションという伝統を守る

ブルックスは2009年に、タイラン、マイクロリス、ユニット・インスツルメンツなどの業界トップの技術力を抱えるセレリティ・インスツルメンテーションを買収しました。こうした経緯を経て、複数の分野の進歩を組み合わせた技術革新を進めています。(以下事例):

  • GF100シリーズ:MultiFlo®、PTIなどの先進技術を組み合わせて精度、性能、長期的価値の業界水準を打ち立てる半導体産業向け万能型ユニバーサルMFCプラットホーム。
  • GF135 MFC:リアルタイムのフローエラー検出機能を組み込んだ初のMFC。半導体メーカーは、フローコントローラをガス配管から取り外すことなくリアルタイムでプロセスガスの精度検証や、バルブの漏れチェック、またセンサー安定度の監視が可能となります。
  • MT3809 VAフローメーター:現在は、HART 7機能付き改良型トランスミッターとローカルオペレータインターフェース付きデジタルLCDディスプレイを装備。カバーを取り外さずにパラメータの変更が可能です。つまり、危険区域内でも変更ができるということです。

イノベーションという社の伝統は、

  • 従来のプラットホームのさらなる改善
  • 新しい技術の開発と導入
  • 「継続的技術革新に注力することでお客様の設備と装置における動作パフォーマンス向上に貢献する」

以上をモットーに、お客様への製品、サービスの提供のための努力を惜しまないという姿勢になって受け継がれてきています。