蒸気供給モジュール

蒸気供給モジュールは、超高清浄度の水蒸気を供給する自給式モジュールです。フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。

主な用途

• シリコン半導体の金属エッチング後プロセス
• シリコン半導体メタルストリッププロセス
• 低大気圧環境における超高清浄度加湿