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製品 マスフローコントローラ エラストマシール GF40 シリーズ
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GF40 シリーズエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ

デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現
1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo™ テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの柔軟性を新たな次元に高めます。

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アプリケーションエンジニアにお問合せ：

電話：03-5633-7100

GF40 シリーズ データシート

特長

  • 設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能
  • Brooks® MultiFlo™ ガスデータベースは、補正する関数を確立するための数千もの実ガステストに基づく
  • 負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント1%の精度
  • さまざまなガスに対応
  • 高速応答のハステロイ製センサ
  • ツールの通信系と独立し、アクセスしやすい診断サービスポートを搭載
  • DeviceNet™, EtherCAT®, Profibus®, RS-485 アナログインターフェースなど、マルチプロトコル通信オプション

    メリット

    • MFC（マスフローコントローラ）をガスラインから取り外さず、新しいガスキャリブレーションとフルスケールレンジに対応するMultiFlo™ テクノロジーを搭載し、プロセス生産稼働時間を最大限に拡張
    • シンプルでわかりやすいMultiFlo™ プログラミング：異なるガスへの選択切替が 60秒未満で可能
    • OEMや大規模なエンドユーザー様が所有するガス種と流量レンジが固定されたコントローラーの在庫削減
    • グローバルスタンダードに基づいた高性能の計測システムやキャリブレーションにより、優れたプロセスガス精度を実現
    • 耐腐食性センサにより、最大の収率とスループットを保証するセンサの長期安定性を提供
    • ユーザーがアクセスしやすいサービスポートを搭載し、トラブルシューティングと診断作業を簡素化
    • 様々なアプリケーションで柔軟なパフォーマンスを合理的コストで実現するエラストマシール
    • 数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みをサポート

    用途

    • 太陽電池CVD（化学蒸着）システム
    • ライフサイエンスバイオリアクタ
    • 真空プロセス
    • ナノテクノロジー/MEMS製造
    • プラズマ、ガラス、ウェブ被膜システム
    • マニホールド/ガス供給システムの選択肢
    {401C5C5F-E447-4C89-AE9A-7AB9531800B5}
    製品タイプ
    Mass Flow Controller
    {85D6B977-1CF9-4752-8A3D-4A1088016856}
    差別化要因

    High Accuracy

    MultiFlo™ Capability

    Compact Size

    Suitable for Full Suite of Gases

    {4E6BA170-D9B9-4E88-B422-6E7D941017EB}
    パフォーマンス
    {B8CBEAA1-9B67-4F93-8C9E-128F709C488F}
    流量範囲（フルスケール容量）
    3 sccm - 50 slpm
    {4091AF3B-8E51-462D-AB96-3C8C5F50CACB}
    精度

    1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%

    {430B01B9-6AC3-4A2E-A47E-3EE4A08AAC87}
    再現性

    0.20% SP

    {279F2CEC-549F-4FEB-8417-236707ACE451}
    Linearity

    ±0.5% FS (included in accuracy)

    {D598FBEC-ADC6-4536-B3FE-F81D371B5B9B}
    レスポンスタイム

    Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

    {55583860-F6FB-4C11-9221-42CEA7121314}
    マルチガス　　マルチレンジ
    MultiFlo™ Available
    {9B669EE1-BBCF-4001-A23E-82E1E01BD337}
    Control Range

    2-100%

                                            

     

    {595E4D12-1536-4B83-9EA7-07DC8C5FDD44}
    Number of Bins

    10 Bins

    {0EDA30F7-20EC-43A9-BB2F-971CE3D90ECF}
    Valve Shut Down

    Closes valve when set point drops below 1.5% full scale

    {F0FE01D0-412B-473D-B2A9-716EEFEBB8FB}
    Zero Stability
    <±0.5% FS per year
    {177D8BF4-A5BA-4507-A921-1CCC1217ACB6}
    Pressure Coefficient

    0.03% per psi (0-50psi N2)

    {EDF6FC6E-51A3-471C-936C-0EAFAE78FF3E}
    評価
    {170B6E7F-8429-42D4-884E-8CDA7CA51329}
    温度レンジ

    5-50oC (41-122oF)

    {7B7D20F0-4595-4BAB-A1F6-052EC6D9D08F}
    最高圧力

    150 psig/10 bar

    {5B0169F5-649F-4B58-9FB4-EC506037713E}
    Differential Pressure Range

    3-860 sccm = 7-45 psid

    861-7200 sccm = 15-45 psid

    7201-55000 sccm = 25-45 psid

    *Contact Brooks Technical Support for more information.

    {979D5D9B-7109-4C2E-9E3C-48AEF44743DA}
    Leak Integrity
    1x10-10 atm cc/sec He
    {B630BC60-9E07-427E-B377-5B0810A2B020}
    メカニカル
    {D3A18DDA-24FC-4D77-B17D-7D9C82FE20F4}
    シール材
    エラストマシール
    {B48DDCAE-901A-499D-9C22-FEEA1BE3CB6B}
    Surface Finish
    32µ inch Ra
    {A7F69D55-8885-4FA3-9030-108E9CF720AA}
    Wetted Materials

    316 Stainless Steel, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055

    {CE6916E3-668E-4AED-8555-49F4C1D958ED}
    Valves

    Normally Closed

    Normally Open

    Meter (no valve)

    {4825F789-6AC0-452E-9B5A-D1B345D4D5C0}
    Diagnostics
    {E30F071F-D5C1-47C2-B303-2ED8AAAA9844}
    診断能力

    Available

    {87C6F242-81D8-4670-8268-FB09DB343DBC}
    Diagnostic - Service Port

    Available

    {FF050C1C-9989-499B-8DDD-D145556C5119}
    Electrical
    {DB7C7415-9565-4D3C-BF20-3004CB2E2DBC}
    アナログ通信

    0-5 V, 0-10 V
    0-20 mA, 4-20 mA

    {F0D53125-7F59-4D1D-8A06-C458BD6D5F65}
    デジタル通信

    DeviceNetTM
    EtherCAT®
    Profibus®
    RS485

    {EF8D242D-4752-40C5-8428-06E05B5D5044}
    Electrical Connection
    DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B)

    EtherCAT®: 5-pin M8 with threaded coupling nut/2 x RJ45

    Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D/1 x 9-pin female Sub-D

    RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)
    {122753E9-9ECE-4B29-AD62-90D09D883D95}
    Power Supply - Consumption
    Analog / RS-485

    From +12 Vdc to +24 Vdc: 7 Watt/8 Watt

    DeviceNet™

    From +11 Vdc to +25 Vdc: 7 Watt/8 Watt

    EtherCAT® / Profibus®

    From +13.5 Vdc to +27 Vdc: 7 Watt/8 Watt
    {F76C62CC-4EBB-4D9E-8BEB-C9196A1B4B50}
    コンプライアンス
    {D0EB512E-048B-46F6-B187-BB52DF7C2682}
    認定 / 承認

    CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

    Safety EN61010-1

    {C411D614-A5D2-4FD1-BCB2-A4441DF2D33A}
    環境法令遵守

    RoHS Directive (2011/65/EU)

    REACH Directive EC 1907/2006

    {2B5B0F79-5BB4-4E84-BC1A-630F6CB50DB4}
    サイズ
    Compact
    Filename File Type Documents By Language
    Data Sheet pdf Japanese English French German Spanish
    Installation Manual pdf Japanese English
    DeviceNet™ Supplemental Manual pdf English
    EtherCAT® Supplemental Manual pdf English
    Profibus® Supplemental Manual pdf English
    RS485 A-Protocol Supplemental Manual pdf English
    RS485 L-Protocol Supplemental Manual pdf English
    RS485 S-Protocol Supplemental Manual pdf English

    Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

    Example: GF040 - N2 - S5

    Meter Series
    		  Fitting
    		  Communications/Connector
    GF040
    		   XX - 9/16” - 18 UNF
    		   P5 - Profibus / Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
        T1 - 1/8” tube compression
    		   P0 - Profibus / Analog (Input 0-20 mA; Output 0-20 mA); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
        T2 - 1/4” tube compression
    		   P4 - Profibus / Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
        T3 - 3/8” tube compression
    		   E5 - EtherCAT™ / (Output 0-5 V); 2xRJ45 signal 2-Pin power
        T4 - 1/2” tube compression
    		   D5 - DeviceNet / Analog (Output 0-5 V); 5-Pin mico signal and power / 3-Pin analog signal
        T6 - 6 mm tube compression
    		   S5 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V)15-Pin Male D (Brooks Protocol)
        T0 - 10 mm tube compression
    		   S1 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-10 V; Output 0-10 V); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
        R2 - 1/4” RC (BSP)
    		   S0 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 0-20 mA ; Output 0-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
        VX - 1/4” VCR
    		   S4 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
        O2 - 1/4” VCO
    		   L5 - RS485 (L-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V); 15-Pin Male D (Celerity/Legacy Protocol)
        N2 - 1/4” NPT
    		   L1 - RS485 (L-Protocol)/Analog (Input 0-10 V; Output 0-10 V); 15-Pin Male D (Celerity/Legacy Protocol)

     

    0250 シリーズ
    0250 シリーズ

    4デバイスまでのコントロールと権限

    0260 シリーズ
    0260 シリーズ
    30デバイスまで制御および監視、10デバイスにパワーアップ。
    MultiFlo™コンフィギュレータ
    MultiFlo™コンフィギュレータ
    MultiFlo™テクノロジーは、ブルックスインスツルメントによって特許取得された技術で、プロセスエンジニアに独自のリソースを提供します。総合的なガスデータベースは、様々なガスの熱的および物理的特性の違いを 補正する関数を確立するための数千もの実ガステストに基づいて構築されています。
    ブルックスエキスパートサポートツール（BEST）
    ブルックスエキスパートサポートツール（BEST）
    ブルックスエクスパートサポートツール（BEST）は、SLA58XXおよびSLAMfXX高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラの制御を強化するWindowsベースのアプリケーションです。このソフトウェアを使用すれば、セットアップ、属性設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション（ライセンスキー）を含むサービスタスクを利用することができます。デバイスの上部にある診断ポートからアクセスできます。
    Brooks LabVIEW™ DLL
    Brooks LabVIEW™ DLL
    Brooks LabVIEW™ DLL はBrooks®のデジタルマスフローコントローラー、プレッシャコントローラー、コントロールユニットとの通信セットアップに使用します。DLLはお客様ご自身でLabVIEW™アプリケーションを作成する際にご使用いただけます。

    Smart DDEソフトウェア
    Smart DDEソフトウェア

    Smart DDEは、ブルックスインスツルメントのDDE（Dynamic Data Exchange）ソフトウェア製品です。WindowsベースのアプリケーションとBrooks® GF40、GF80、SLA、Sシリーズのマスフローおよび圧力製品、0254セカンダリエレクロにクスデバイスを双方向でリンクさせることができます。