Verfügbare Modelle: 5850EM / 5851EM
5850EM Metallgekapselte Massenflussregler
Bewährte Langzeitstabilität mit den Durchflussmessern 5850EM
Die metallgedichteten Massendurchflussregler der Serie 5850EM bieten Ihnen die Stabilität, die Sie zur erfolgreichen Prozessregelung benötigen. Die MFCs dieser Serie werden zur Messung und Regelung von Hochdruckgasdurchflüssen eingesetzt.
Dank der metallgedichteten Bauart und elektropolierten medienberührten Flächen profitieren Sie von herausragender Durchflussintegrität und Gesamtprozesseffizienz. Weder eine kontinuierliche Überwachung noch eine Gasdruckanpassung zur Erhaltung eines stabilen Gasdurchflusses sind erforderlich.
Merkmale
- Langzeitnullpunktstabilität von <0,2 % des Endwerts pro Jahr
- Einschwingzeit bei Änderungsbefehlen <3 Sekunden mit vernachlässigbaren Unter- und Überschreitungen
- Breiter Durchflussbereich – von 3 sml/min bis zu 30sl/min
- Hochdruckversion mit bis zu 100 bar
- Optional prozessintern verbesserte Oberflächenrauigkeiten - Ra durchschnittlich 0,13 µm
- Beliebige Einbaulage
- Mechanisch und elektrisch kompatibel mit sonstigen Massedurchflussreglern
- TTL-kompatible Ventilübersteuerung (Auf / Zu) zur Spülung und Abschaltung
Ihre Vorteile
- Verbesserte Gasreinheit und Dichtheit durch einen vollständig aus Metall bestehenden Strömungsweg
- Bewährte Langzeitstabilität und -genauigkeit über einen breiten Prozess- und Anwendungsbereich
- Exzellente Rendite durch zuverlässige Leistung
- Wegfall der kontinuierlichen Gasdrucküberwachung und -anpassung dank des abnehmbaren Durchflusssensors
- Unkomplizierte Installation und Wartung mit rein anlogen Ein- und Ausgängen
| Medientyp | Gas |
|---|---|
| Durchflussmessprinzip | Thermal (TMF) |
| Durchflussbereich | 3 sccm - 30,000 sccm |
| Genauigkeitsbereich | 1% F.S. incl. linearity, 1.5% F.S. incl. linearity >20 slpm |
| Ablehnungsquote | 2-3% - 100% |
| Wiederholgenauigkeit | 0.2% of rate |
| Maximaler Druck | 1500 psi |
| Betriebstemperatur | 5°C - 65°C |
| Messen/Steuern | Measure & Control (Controller) |
| Maximaler Durchfluss | 30000 sccm |
| Maximaler Betriebsdruck | 103 bar |
| Maximale Temperatur | 65 celsius |
| Dichtungsoption | Metal |
| Genauigkeit (Endwert) | ±1% FS, ±1.5% FS |
| Konnektivität | Analog (0–5 V) |