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Produkte Massedurchflussregler Elastomergedichtet thermisch Serie SLAMF

Serie SLAMf der elastomergedichteten thermischen Massendurchflussregler

SLAMf MFCs mit einem robusten Gehäuse für präzise Durchflussmessung unter härtesten Bedingungen - jetzt auch verfügbar mit EtherNet/IP™
Verfügbare Modelle SLAMf50 / SLAMf60 / SLAMf51 / SLAMf61 / SLAMf53 / SLAMf63
Ob Staub, Feuchtigkeit oder extreme Temperaturen: Die elastomergedichteten thermischen Massendurchflussregler und -messgeräte der Serie SLAMf halten härtesten Bedingungen stand. Unabhängig von den Außenbedingungen bieten Sie Ihnen präzise Genauigkeit und Langzeitstabilität. Ein speziell entwickeltes IP66-Gehäuse schützt die hochentwickelte digitale Elektronik und stellt so die stabile und genaue Funktion sicher. So können Sie sich auch bei prozesskritischen Massedurchflüssen von Gasen und Flüssigmedien auf absolut exakte Messungen verlassen.

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Rufen Sie an unter: +49 351 215 2040

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Datenblatt Serie SLAMf

Merkmale

• Robustes Gehäuse der Schutzart IP66 (NEMA 4X)
• Großer Durchflussbereich - von 0,003 bis zu 2500 l/min
• Geeignet für ein breites Spektrum von Temperatur- und Druckbedingungen
• Hohe Präzision dank der branchenführenden Sensortechnologie zur thermischen Durchflussmessung
• Programmierbare Multigas/Multirange Fähigkeiten
• Hochentwickelte Selbsttestroutinen und ein unabhängiger Diagnose- und Serviceanschluss zur Fehlerbehebung oder Änderung der Durchflussbedingungen durch den Benutzer, ohne den MFC außer Betrieb zu setzen
• Breites Spektrum an Kommunikationsoptionen einschließlich DeviceNet®, Profibus® und RS-485 sowie Analogschnittstellen

Ihre Vorteile

• Höchste Prozessgenauigkeit und -regelung auch unter härtesten Einsatzbedingungen dank des robusten Gehäuses
• Proprietäre thermische Sensortechnologie für ein optimales Signal-Rausch-Verhältnis schon bei niedrigen Sollwerten
• Die Langzeitstabilität des Sensors reduziert den Wartungsaufwand und die Erfordernis regelmäßiger Neukalibrierungen
• Für ein gewähltes Gerät lassen sich bis zu sechs unterschiedliche Gaskalibrierungen programmieren
• Frei zugänglicher Serviceanschluss zur Erleichterung von Installations-, Fehlerbehebungs- und Diagnosearbeiten
• Die exzellente Genauigkeit stützt sich auf überlegene Messtechniksysteme und Kalibrierungen nach weltweiten Normen
• Vereinfachte Integration in bestehende Systeme dank Multiprotokoll-Kommunikationsschnittstelle

In welchen Bereichen Sie Massendurchflussregler der SLAMf Serie nutzen können

• Pilotanlagen der Chemie und Petrochemie
• Bioreaktoren der Biowissenschaft
• Entwicklung von Gasvorlagen in der Nahrungsmittelverarbeitung
Gerätetyp
Massedurchflussregler
Unterscheidungsmerkmal

NEMA 4X/IP66 Approved Enclosure

Perfect for Hose Down/Wash Down Applications

Hazardous Area Approvals

 

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)
.003 - 2500 slpm
Genauigkeit

17025 Zertifizierte Geräte (einschließlich Linearität, ohne Messunsicherheit des Kalibriersystems, nach SEMI E69)

±0.6% der SP (20-100% FS)

±0.12% der FS (<20% FS)

1100 slpm bis zu 2500 slpm: ±0.6% der FS


Die Genauigkeit beinhaltet die Messunsicherheit von Referenzstandards.

±0.9% der SP (20-100% FS)

±0.18% der FS (2-20% FS)

1100 slpm bis zu 2500 slpm: ±1.0% der FS

Wiederholbarkeit

0.20% SP

Linearität

Included in Accuracy

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<1 second up to 100 lpm

<3 seconds up to 2500 lpm

Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange

Standard

Maximaler Druck

Up to 100 lpm: 1500 psi/100 bar

Up to 50 lpm: 4500psi/310 bar (optional)

100-2500 lpm:  1000 psi/70 bar

Regelbereich

1-50 slpm: 100:1 Turndown for F.S.

50-2500 lpm: 50:1 Turndown for F.S.

Nullstabilität

< 0.2% F.S. per year

Temperaturkoeffizient

Zero: <0.05% of F.S. per °C

Span: < 0.1% of S.P. per °C

Druckkoeffizient

±0.03% per psi (0-200 psi N2)

Ausrichtungsempfindlichkeit

<0.2% F.S. maximum deviation from specified accuracy after re-zeroing

Kennwerte
Maximale Temperatur
65oC
Differenzdruckbereich

Controllers

Up to 50 lpm: 5 psi/0.35 bar min - 1500 psi/103.4 bar max

50-100 lpm: 10 psi/0.69 bar min -  50 psi/3.45 bar max

500 lpm: 7.5 psi/0.52 bar min - 300 psi/20.0 bar max

1000 lpm: 14.5 psi/1.00 bar min - 300 psi/20.0 bar max

2500 lpm: 35.0 psi/2.41 bar min - 300 psi/20.0 bar max

 

Leckrate
1x10-9 atm cc/sec He
Mechanisch

Dichtungsmaterial
Elastomerdichtung
Medienberührte Teile

316L Stainless Steel

High Alloy Stainless Steel

Viton® Fluoroelastomers

Buna-N

Kalrez®

Teflon®/Kalrez®

EPDM

Ventil

Normalerweise geschlossen

Normalerweise geöffnet

Zähler (kein Ventil)

Diagnose

 

Diagnosefähigkeit
Available

Status Leuchten

MFC Health, Network Status

Alarme

Sensor Output

Control Valve Output

Over Temperature

Power Surge/Sag

Network Interruption

Diagnose/Service-Port

RS485 via 2.5mm jack

Elektrisch

Analoge Kommunikation
0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA
Digitale Kommunikation
DeviceNet™
EtherNet/IP™
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
PROFINET
RS-485 
Elektrischer Anschluss

DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B)

Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D
1 x 9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)

Spannungsversorgung

Analog / Profibus® / RS-485

Valve Orifice > 0.032": 8 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5 Watts

Without Valve: 2 Watts

DeviceNet™

Valve Orifice > 0.032": 10 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032":  7 Watts

Without Valve: 4 Watts

Beachtung
Zertifikate und Zulassungen

ISO/IEC 17025:2005

CE: EMC, RoHs, PED

UL Listed/Recognized:

Class 1, Div 2, Group A,B,C,D

Class 1, Zone 2, IIC T4, Class II, Zone 22

ATEX:

II 3 G Ex nA IIC T4 Gc 

II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc

IECEx:

Ex nA IIC T4 Gc 

Ex tc IIIC T 85°C Dc 

KOSHA:

Ex nA IIC T4

Ex tc IIIC T85°C Dc

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

Größe
Large
SLAMf50 SLAMf60 SLAMf51 SLAMf61 SLAMf53 SLAMf63
Gerätetyp Massedurchflussregler Massedurchflussmesser Massedurchflussregler Massedurchflussmesser Massedurchflussregler Massedurchflussmesser
Unterscheidungsmerkmal

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Durchflussbereich (Maximalwert) 0.003 - 50 slpm 0.003 - 50 slpm 15 - 200 slpm 15 - 200 slpm 100 - 2500 slpm 100 - 2500 slpm
Maximaler Druck 1500 psi / 100 bar 1500 psi / 100 bar 1500 psi / 100 bar 1500 psi / 100 bar 1000 psi / 70 bar 1000 psi / 70 bar
Genauigkeit

±0.6% der SP

±0.6% der SP

±0.6% der SP

±0.6% der SP

100 - 1100 lpm

±0.6% der SP

1100 - 2500 lpm

±0.6% der FS

100 - 1100 lpm

±0.6% der SP

1100 - 2500 lpm

±0.6% der FS
Wiederholbarkeit 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil <1 second <1 second <1 second <1 second <3 seconds <3 seconds
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange Standard Standard Standard Standard Standard Standard
Diagnosefähigkeit

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA
Digitale Kommunikation
DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf German English Chinese French
SLA Biotech Serie At-a-Glance pdf German English
Dimensional Drawings Quick Reference Guide SLAMf pdf German English
Installation & Operation Manual pdf English Korean
DeviceNet™ Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf Mass Flow pdf English
EtherNet/IP™ Supplemental Manual (Prod Rev 4) pdf English
EtherNet/IP™ Supplemental Manual (Prod Rev 3) pdf English
EtherNet/IP™ Supplemental Manual (Prod Rev 2) pdf English
Profibus® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
PROFINET Supplemental Manual SLA5800-SLAMf pdf German English
RS485 Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English Korean Russian Romanian Spanish
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English Korean Russian Romanian Spanish

Verwenden Sie den folgenden Leitfaden (Modellcodeinformationen aus dem Datenblatt), um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übertragen. Wenn Sie Fragen haben oder Hilfe benötigen, wenden Sie sich bitte an unsere Anwendungstechniker oder Ihren lokalen Brooks Instrument Vertreter – wir helfen Ihnen gerne.

Beispiel: SLAMf60 - S - B1 - 0 - Y - RevB

Messgerät Serie Digitale Kommunikation I/O
 		Mechanischer Anschluss
(nur Größen 0 & 1)
 		Ventiltyp Analoge Kommunikation I/O
 		Revisionsstand
 SLAMf5x  S - RS485 (select applicable analog I/O)
  B1 - 1/4” tube compression w/Filter
  0 - None (Sensor only)
  Y - 4-20 mA / 0-5 V M20x1.5 Conduit
  RevB
DateinameDateityp
SLAMF50-7-5A-1-A-REVB DXF
SLAMF50-7-5A-1-A-REVB IGS
SLAMF50-7-5A-1-A-REVB STEP
SLAMF51-7-1P-1-A-REVB DXF
SLAMF51-7-1P-1-A-REVB IGS
SLAMF51-7-1P-1-A-REVB STEP
SLAMF51-7-P1-1-A-REVB DXF
SLAMF51-7-P1-1-A-REVB IGS
SLAMF51-7-P1-1-A-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-F-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-F-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-F-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-J-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-J-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-J-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-K-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-K-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-K-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1H-1-Y-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1H-1-Y-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1H-1-Y-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-G-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-G-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-G-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-Y-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-Y-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-Y-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-G-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-G-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-G-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-Y-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-Y-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-Y-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1A-1-G-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1A-1-G-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1A-1-G-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1D-1-K-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1D-1-K-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1D-1-K-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1P-1-K-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1P-1-K-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1P-1-K-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-F-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-F-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-F-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1J-1-G-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1J-1-G-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1J-1-G-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-G-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-G-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-G-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-G-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-G-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-G-REVB IGS
SLAMF53-7-3E-1-A-REVB DXF
SLAMF53-7-3E-1-A-REVB IGS
SLAMF53-7-3E-1-A-REVB STEP
SLAMF53-D-2K-3-A-RevB DXF
SLAMF53-D-2K-3-A-RevB IGS
SLAMF53-D-2K-3-A-RevB STEP
SLAMF53-P-2X-2-A-RevB DXF
SLAMF53-P-2X-2-A-RevB STEP
SLAMF53-S-2E-2-G-REVB DXF
SLAMF53-S-2E-2-G-REVB IGS
SLAMF53-S-2E-2-G-REVB STEP
SLAMF53-S-2M-2-F-REVB DXF
SLAMF53-S-2M-2-F-REVB STEP
SLAMF53-S-2M-2-F-REVB IGS
SLAMF53-S-2P-2-G-REVB DXF
SLAMF53-S-2P-2-G-REVB IGS
SLAMF53-S-2P-2-G-REVB STEP
SLAMF53-S-2P-2-Y-REVB DXF
SLAMF53-S-2P-2-Y-REVB STEP
SLAMF53-S-2P-2-Y-REVB IGS
SLAMF53-S-2X-3-G-REVB DXF
SLAMF53-S-2X-3-G-REVB IGS
SLAMF53-S-2X-3-G-REVB STEP
SLAMF53-S-5C-3-G-REVB DXF
SLAMF53-S-5C-3-G-REVB STEP
SLAMF53-S-5C-3-G-REVB IGS
SLAMF53-S-5D-3-G-REVB IGS
SLAMF53-S-5D-3-G-REVB DXF
SLAMF53-S-5D-3-G-REVB STEP
SLAMF60-7-1E-0-A-REVB DXF
SLAMF60-7-1E-0-A-REVB IGS
SLAMF60-7-1E-0-A-REVB STEP
SLAMF60-P-5B-01-REVB DXF
SLAMF60-P-5B-01-REVB IGS
SLAMF60-P-5B-01-REVB STEP
SLAMF60-Q-1M-0-A-REVB DXF
SLAMF60-Q-1M-0-A-REVB IGS
SLAMF60-Q-1M-0-A-REVB STEP
SLAMF60-S-B1-0-Y-RevB STEP
SLAMF60-S-1G-0-G-RevB STEP
SLAMF60-S-1G-0-G-RevB IGS
SLAMF60-S-1P-0-K-REVB DXF
SLAMF60-S-1P-0-K-REVB IGS
SLAMF60-S-5A-0-Y-REVB DXF
SLAMF60-S-5A-0-Y-REVB IGS
SLAMF60-S-5A-0-Y-REVB STEP
SLAMF61-R-1J-0-A-REVB DXF
SLAMF61-R-1J-0-A-REVB IGS
SLAMF61-S-1G-0-K-REVB DXF
SLAMF61-S-1G-0-K-REVB IGS
SLAMF61-S-1P-0-K-REVB DXF
SLAMF61-S-1P-0-K-REVB STEP
SLAMF61-S-1P-0-K-REVB IGS
SLAMF63-P-2E-0-K-RevB STEP
SLAMF63-P-2E-0-K-RevB IGS
SLAMF63-S-2D-0-G-REVB STEP
SLAMF63-S-2D-0-G-REVB DXF
SLAMF63-S-2D-0-G-REVB IGS
SLAMF63-S-2E-0-K-RevB STEP
SLAMF63-S-2E-0-K-RevB IGS
SLAMF63-S-2G-0-G-REVB DXF
SLAMF63-S-2G-0-G-REVB IGS
SLAMF63-S-2G-0-G-REVB STEP
SLAMF63-S-2M-0-G-REVB IGS
SLAMF63-S-2M-0-G-REVB DXF
SLAMF63-S-2M-0-G-REVB STEP
SLAMF63-S-3J-0-G-RevB STEP
SLAMF63-S-3J-0-G-RevB IGS
SLAMF63-T-2U-0-A-RevB STEP
SLAMF63-T-2U-0-A-RevB IGS
SLAMF64-S-3L-0-K-REVA IGS
SLAMF64-S-3L-0-K-REVA DXF
SLAMF64-S-3L-0-K-REVA STEP
SLAMF64-S-3N-0-K-REVB DXF
SLAMF64-S-3N-0-K-REVB IGS
SLAMF64-S-3N-0-K-REVB STEP
Serie 0250

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Serie 0260

Steuert und überwacht bis zu 30 Geräte, Spannungsversorgung für bis zu 10 Geräte.

Brooks Expert Support Tool (BEST)

Eine Windows™ basierte Anwendung, die eine erweiterte Steuerung von Brooks Instrument MFCs und Druckreglern.

Brooks LabVIEW™ DLL
Mit dieser Software können Sie digitale MFC, Druckregler oder andere Auswertungselektronik von Brooks Instrument ohne lizensierte LabVIEW-Version ansprechen. Für eigene LabVIEW-Applikationen sind DLL erforderlich.
Smart DDE

Smart DDE ist eine Software für den dynamischen Datenaustausch. Sie ermöglicht bidirektionale Links zwischen Ihren Windows-basierten Anwendungen und Brooks® Geräten mit RS485-S-Protokoll.