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Home Produkte Massedurchflussregler Elastomergedichtet thermisch Serie SLAMF

Serie SLAMf elastomergedichtete thermische Massedurchflussregler und -messgeräte

Präzisionsmassedurchflussregelung. Robustes Gehäuse für raueste Einsatzbedingungen
Modelle SLAMf50 / SLAMf60 / SLAMf51 / SLAMf61 / SLAMf53 / SLAMf63
Ob es Umgebungen mit Staub, Feuchtigkeit, Extremtemperaturen oder Nasswäscher sind, die elastomergedichteten thermischen Massedurchflussregler und -messgeräte der Serie SLAMf liefern die präzise Genauigkeit und Langzeitstabilität unserer bewährten Messgeräte- und Reglerbaureihe SLA5800. Ein speziell entwickeltes IP66-Gehäuse schützt die hochentwickelte digitale Elektronik und stellt die stabile und genaue Messung und Regelung prozesskritischer Massedurchflüsse von Gasen und Flüssigmedien sicher.

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Datenblatt Serie SLAMf

Merkmale

• Robustes Gehäuse der Schutzart IP66 (NEMA 4X)
• Weiter Durchflussbereich - von 0,003 bis zu 2500 l/min
• Geeignet für ein breites Spektrum von Temperatur- und Druckbedingungen
• Hohe Präzision dank der branchenführenden Sensortechnologie zur thermischen Durchflussmessung
• Programmierbare Multigas/Multirange Fähigkeiten
• Hochentwickelte Selbsttestroutinen und ein unabhängiger Diagnose- und Serviceanschluss zur Fehlerbehebung oder Änderung der Durchflussbedingungen durch den Benutzer, ohne den MFC außer Betrieb zu setzen
• Breites Spektrum an Kommunikationsoptionen einschließlich DeviceNet®, Profibus® und RS-485 sowie Analogschnittstellen

Vorteile

• Das Robuste Gerätegehäuse stellt unter rauesten Einsatzbedingungen die Prozessgenauigkeit und -regelung sicher
• Die proprietäre thermische Sensortechnologie liefert ein überlegenes Signal-Rausch-Verhältnis schon bei niedrigen Sollwerten
• Die Sensorlangzeitstabilität reduziert den Wartungsaufwand und die Erfordernis regelmäßiger Neukalibrierungen
• Für ein gewähltes Gerät lasen sich bis zu sechs unterschiedliche Gaskalibrierungen programmieren
• Der frei zugängige Serviceanschluss erleichtert Installations-, Fehlerbehebungs- und Diagnosearbeiten
• Die exzellente Genauigkeit stützt sich auf überlegene Messtechniksysteme und weltweit normierte Kalibrierungen
• Die Multiprotokollkommunikationsschnittstelle vereinfacht die Integration in bestehende Systeme

Anwendungen

• Pilotanlagen für Chemie und Petrochemie
• Bioreaktoren in der Biowissenschaft
• Gasvorlagen in der Nahrungsmittelverarbeitung
Gerätetyp
Mass Flow Controller
Unterscheidungsmerkmal

NEMA 4X/IP66 Approved Enclosure

Perfect for Hose Down/Wash Down Applications

Hazardous Area Approvals

 

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)
.003 - 2500 slpm
Genauigkeit

Up to 100 lpm: 0.90% of SP (20-100% FS)

0.18% of FS (2-20% FS, 1-20% FS from 1 - 50 lpm)

100 - 2500 lpm: 0.90% of SP (20-100% FS)

100 - 1100 lpm: 0.18% of FS (2-20% FS)

1100 - 2500 lpm: 1.0% of FS

Wiederholbarkeit

0.20% SP

Linearität

Included in Accuracy

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<1 second up to 100 lpm

<3 seconds up to 2500 lpm

Multi-Gas & Range Configurability

Standard

Maximaler Druck

Up to 100 lpm: 1500 psi/100 bar

Up to 50 lpm: 4500psi/310 bar (optional)

100-2500 lpm:  1000 psi/70 bar

Regelbereich

1-50 slpm: 100:1 Turndown for F.S.

50-2500 lpm: 50:1 Turndown for F.S.

Nullstabilität

< 0.2% F.S. per year

Temperaturkoeffizient

Zero: <0.05% of F.S. per °C

Span: < 0.1% of S.P. per °C

±0.03% per psi (0-200 psi N2)

Ausrichtungsempfindlichkeit

<0.2% F.S. maximum deviation from specified accuracy after re-zeroing

Kennwerte
Maximale Temperatur
65oC
Differenzdruckbereich

Controllers

Up to 50 lpm: 5 psi/0.35 bar min - 1500 psi/103.4 bar max

50-100 lpm: 10 psi/0.69 bar min -  50 psi/3.45 bar max

500 lpm: 7.5 psi/0.52 bar min - 300 psi/20.0 bar max

1000 lpm: 14.5 psi/1.00 bar min - 300 psi/20.0 bar max

2500 lpm: 35.0 psi/2.41 bar min - 300 psi/20.0 bar max

 

Leckrate
1x10-9 atm cc/sec He
Mechanisch

Dichtungsmaterial
Elastomer Seal
Medienberührte Teile

316L Stainless Steel

High Alloy Stainless Steel

Viton® Fluoroelastomers

Buna-N

Kalrez®

Teflon®/Kalrez®

EPDM

Ventil

Normally Closed

Normally Open

Meter (no valve)

Diagnose

 

Diagnosefähigkeit
Available

Statuslampen

MFC Health, Network Status

Alarm

Sensor Output

Control Valve Output

Over Temperature

Power Surge/Sag

Network Interruption

Diagnose/Service-Port

RS485 via 2.5mm jack

Elektrisch

Analoge Kommunikation
0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA



Digitale Kommunikation
DeviceNet™
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
RS485





Elektrischer Anschluss

DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B)

Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D
1 x 9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)

Spannungsversorgung

Analog / Profibus® / RS-485

Valve Orifice > 0.032": 8 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5 Watts

Without Valve: 2 Watts

DeviceNet™

Valve Orifice > 0.032": 10 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032":  7 Watts

Without Valve: 4 Watts

Beachtung
Zertifikate und Zulassungen

ISO/IEC 17025:2005

CE: EMC, RoHs, PED

UL Listed/Recognized:

Class 1, Div 2, Group A,B,C,D

Class 1, Zone 2, IIC T4, Class II, Zone 22

ATEX:

II 3 G Ex nA IIC T4 Gc 

II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc

IECEx:

Ex nA IIC T4 Gc 

Ex tc IIIC T 85°C Dc 

KOSHA:

Ex nA IIC T4

Ex tc IIIC T85°C Dc

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

Größe
Large
SLAMf50 SLAMf60 SLAMf51 SLAMf61 SLAMf53 SLAMf63
Gerätetyp Mass Flow Controller Mass Flow Meter Mass Flow Controller Mass Flow Meter Mass Flow Controller Mass Flow Meter
Unterscheidungsmerkmal

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Durchflussbereich (Maximalwert) 0.003 - 50 slpm 0.003 - 50 slpm 15 - 200 slpm 15 - 200 slpm 100 - 2500 slpm 100 - 2500 slpm
Maximaler Druck 1500 psi / 100 bar 1500 psi / 100 bar 1500 psi / 100 bar 1500 psi / 100 bar 1000 psi / 70 bar 1000 psi / 70 bar
Genauigkeit

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

100 - 2500 lpm: 0.9% S.P. (20-100% F.S.)

100 - 1100 lpm: 0.18% of F.S. (2-20% F.S.)

1100 - 2500 lpm: 1.0% of F.S.

100 - 2500 lpm: 0.9% S.P. (20-100% F.S.)

100 - 1100 lpm: 0.18% of F.S. (2-20% F.S.)

1100 - 2500 lpm: 1.0% of F.S.
Wiederholbarkeit 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil <1 second <1 second <1 second <1 second <3 seconds <3 seconds
Multi-Gas & Range Configurability Standard Standard Standard Standard Standard Standard
Diagnosefähigkeit

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA
Digitale Kommunikation

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485
DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual - Revision B pdf English Korean
Installation & Operation Manual - Revision A pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf Mass Flow pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
Profibus® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
RS485 Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English Korean Russian Romanian Spanish
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English Korean Russian Romanian Spanish

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: SLAMf60 - S - B1 - 0 - Y - RevB

Meter Series
Digital Communications I/O
 		Mechanical Connection
(Body size 0 & 1 only)
 		Valve Type
 		Analog Communications I/O
 		Revision Level
 SLAMf5x  S - RS485 (select applicable analog I/O)
  B1 - 1/4” tube compression w/Filter
  0 - None (Sensor only)
  Y - 4-20 mA / 0-5 V M20x1.5 Conduit
  RevB
 SLAMf6x
 
      

 *See data sheet for more options

 

DateinameDateityp
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-F-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-F-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-F-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-J-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-J-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-J-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-K-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-K-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-K-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1H-1-Y-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1H-1-Y-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1H-1-Y-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-G-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-G-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-G-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-Y-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-Y-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-Y-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-G-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-G-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-G-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-Y-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-Y-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-Y-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1A-1-G-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1A-1-G-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1A-1-G-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1D-1-K-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1D-1-K-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1D-1-K-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1P-1-K-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1P-1-K-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1P-1-K-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-F-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-F-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-F-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1J-1-G-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1J-1-G-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1J-1-G-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-G-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-G-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-G-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-G-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-G-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-G-REVB IGS
SLAMF53-D-2K-3-A-RevB DXF
SLAMF53-D-2K-3-A-RevB IGS
SLAMF53-D-2K-3-A-RevB STEP
SLAMF53-P-2X-2-A-RevB DXF
SLAMF53-P-2X-2-A-RevB STEP
SLAMF53-S-2E-2-G-REVB DXF
SLAMF53-S-2E-2-G-REVB IGS
SLAMF53-S-2E-2-G-REVB STEP
SLAMF53-S-2M-2-F-REVB DXF
SLAMF53-S-2M-2-F-REVB STEP
SLAMF53-S-2M-2-F-REVB IGS
SLAMF53-S-2P-2-G-REVB DXF
SLAMF53-S-2P-2-G-REVB IGS
SLAMF53-S-2P-2-G-REVB STEP
SLAMF53-S-2P-2-Y-REVB DXF
SLAMF53-S-2P-2-Y-REVB STEP
SLAMF53-S-2P-2-Y-REVB IGS
SLAMF53-S-2X-3-G-REVB DXF
SLAMF53-S-2X-3-G-REVB IGS
SLAMF53-S-2X-3-G-REVB STEP
SLAMF53-S-5C-3-G-REVB DXF
SLAMF53-S-5C-3-G-REVB STEP
SLAMF53-S-5C-3-G-REVB IGS
SLAMF53-S-5D-3-G-REVB IGS
SLAMF53-S-5D-3-G-REVB DXF
SLAMF53-S-5D-3-G-REVB STEP
SLAMF60-P-5B-01-REVB DXF
SLAMF60-P-5B-01-REVB IGS
SLAMF60-P-5B-01-REVB STEP
SLAMF60-Q-1M-0-A-REVB DXF
SLAMF60-Q-1M-0-A-REVB IGS
SLAMF60-Q-1M-0-A-REVB STEP
SLAMF60-S-B1-0-Y-RevB STEP
SLAMF60-S-1G-0-G-RevB STEP
SLAMF60-S-1G-0-G-RevB IGS
SLAMF60-S-1P-0-K-REVB DXF
SLAMF60-S-1P-0-K-REVB IGS
SLAMF60-S-5A-0-Y-REVB DXF
SLAMF60-S-5A-0-Y-REVB IGS
SLAMF60-S-5A-0-Y-REVB STEP
SLAMF61-R-1J-0-A-REVB DXF
SLAMF61-R-1J-0-A-REVB IGS
SLAMF61-S-1G-0-K-REVB DXF
SLAMF61-S-1G-0-K-REVB IGS
SLAMF61-S-1P-0-K-REVB DXF
SLAMF61-S-1P-0-K-REVB STEP
SLAMF61-S-1P-0-K-REVB IGS
SLAMF63-P-2E-0-K-RevB STEP
SLAMF63-P-2E-0-K-RevB IGS
SLAMF63-S-2D-0-G-REVB STEP
SLAMF63-S-2D-0-G-REVB DXF
SLAMF63-S-2D-0-G-REVB IGS
SLAMF63-S-2E-0-K-RevB STEP
SLAMF63-S-2E-0-K-RevB IGS
SLAMF63-S-2G-0-G-REVB DXF
SLAMF63-S-2G-0-G-REVB IGS
SLAMF63-S-2G-0-G-REVB STEP
SLAMF63-S-2M-0-G-REVB IGS
SLAMF63-S-2M-0-G-REVB DXF
SLAMF63-S-2M-0-G-REVB STEP
SLAMF63-S-3J-0-G-RevB STEP
SLAMF63-S-3J-0-G-RevB IGS
SLAMF63-T-2U-0-A-RevB STEP
SLAMF63-T-2U-0-A-RevB IGS
SLAMF64-S-3L-0-K-REVA IGS
SLAMF64-S-3L-0-K-REVA DXF
SLAMF64-S-3L-0-K-REVA STEP
SLAMF64-S-3N-0-K-REVB DXF
SLAMF64-S-3N-0-K-REVB IGS
SLAMF64-S-3N-0-K-REVB STEP
Serie 0250

Steuert und Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Serie 0260

Steuert und Überwacht bis zu 30 Geräte, Spannungsversorgung für bis zu 10 Geräte.

Brooks Expert Support Tool (BEST)

Eine Windows-basierte Anwendung, die eine weitreichende Kontrolle über die Massedurchflussregler, Anzeigen und Druckregler der Serien SLA58XX und SLAMfXX bietet.

Brooks LabVIEW™ DLL

Ermöglicht dem Anwender, mit digitalen MFC´s, Druckreglern  und/ oder Auswerteelektroniken von Brooks® zu kommunizieren, ohne eine lizensierte  LabVIEW- Version verwenden zu müssen. Für eigene LabVIEW – Applikationen sind DLL`s  notwendig.

Smart DDE

Smart DDE ist ein Softwareprodukt von Brooks für den dynamischen Datenaustausch. Es ermöglicht bidirektionale Links zwischen Ihren Windows-basierten Anwendungen und den Brooks® RS485-S-Protocol Geräten.