Mechanische Manometer der Serie 122

Zuverlässige, effiziente Überwachung für hochreine Anwendungen Mechanische Manometer der Serie 122
Verfügbare Modelle S122 / C122 / F122
Die mechanischen Manometer der Serie 122 von Brooks Instrument wurden für die anspruchsvollen hochreinen Anwendungen der Halbleiterbranche entwickelt und konstruiert. Aus Edelstahl gefertigt bieten sie eine Genauigkeit von 1% des Endwerts. Diese unverwüstlichen 50-mm-Manometer bieten mit vielfältigen Druckanschlüssen, Druckbereichen und Sockelausrichtungen eine zuverlässige und effiziente Möglichkeit zur lokalen Drucküberwachung.

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Datenblatt Serie 122

Merkmale

  • Höchste Präzision durch Edelstahlmechanik
  • Medienberührte Teile aus Edelstahl 316L
  • In sauerstofffreier Atmosphäre geschweißte Manometer erfüllen strenge Reinheits- und Sicherheitsrichtlinien. 
  • Vielfältige Modelle und Druckbereiche zur Unterstützung spezifischer Konstruktionsanforderungen

Ihr Vorteile

  • Langlebige und effiziente Möglichkeit der lokalen Drucküberwachung 

Manometer der Serie 122 werden für Aufgaben wie diese genutzt:

  • Für die Halbleiterverarbeitung verwendete Gasversorgungssysteme und -geräte wie Gasspeicher, Gassteuerschränke und Gasverteilungsnetze
{0611827E-BDAA-489D-B1E4-90280E983F1C}
Gerätetyp
Mechanical Pressure Gauges
{58EE102D-966D-40FB-847A-4CE8A05E0390}
Unterscheidungsmerkmal

High-Purity

{8C1D9CF4-A047-47E5-8B60-DCA9345494D4}
Leistung
{BCE97E3A-6AB4-4FF9-AA3C-DE8806BC5A98}
Druckbereich

- 30" - 4000 psi

{D5E3CCA9-7DB7-4529-9166-4D98263C7B70}
Genauigkeit
1% Full Scale
{9BF3C762-3A99-476E-8803-5B5699122EDA}
Berstdruck
400%
{3FDCA61E-85EA-41BA-B093-4E1BE6D8043D}
Druckfest
110%
{96AFF225-26AB-415C-B9DD-B3204F27C8F7}
Kennwerte
{0702E29E-FE1E-4AAA-9CCA-87C8CADD4615}
Sicherheitsstellung
Unrestricted rear blow-out plug
{F38B86EC-6DA4-400F-85C7-C2DD796D2180}
Helium Lecktest
4 x 10-9 Inboard Std. cc/sec
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Sauberkeit
Cleaned for oxygen service to ANSI B40.1 level IV specifications
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Mechanisch
{2CE03364-084A-4FAE-A477-74D832523BA3}
Gehäuse
300 Series Stainless Steel, electropolished
{278E35B0-C665-4348-B821-7A4AD6F2999E}
Lünette und Linsenmaterial
One-piece polycarbonate, screw-on
{CE3DA0D6-5A16-4487-89C1-649516DAC2DC}
Sockelmaterial
316L Stainless Steel
{D19E13DD-8E08-4337-B30A-586282BCE0FC}
Bewegung

300 Series Stainless Steel

{A5558470-8BFF-42B5-B293-834A69FA1BC4}
Röhrenmanometer
316L Stainless Steel
{AF45CDCD-7B72-41C9-A00D-3FFB5A402667}
Prozessanschluss

Face-seal male, Face-seal swivel male,

Face-seal swivel female and 1/4" NPT male

{057116C4-C19C-4EB0-8FC9-120C57D0B2AC}
Wählen
White with Black markings, "Use no Oil" is red
{C7C38FE5-5267-483D-9763-8BFD673565A7}
Oberflächenbeschaffenheit

Not Applicable

S122 C122 F122
Unterscheidungsmerkmal Socket Orientation Socket Orientation Socket Orientation
Druckbereich Vacuum - 4,000 psi Vacuum - 4,000 psi Vacuum - 4,000 psi
Genauigkeit 1% FS 1% FS 1% FS
Sockelausrichtung Stem Mounted

Center Back Mounted

Center Back Mounted with SS Front Flange

Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English