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Mechanische Druckmessgeräte der PG-Serie

Zuverlässige und effiziente lokale Drucküberwachung für hochreine Anwendungen.
Verfügbare Modelle PG15 (C15 & S15) / PG20 (C20 & S20)

Die mechanischen Druckmessgeräte PG15 und PG20 wurden speziell für die anspruchsvollen Hochreinigkeitsanwendungen der Halbleiterindustrie entwickelt. Diese robusten Druckmessgeräte aus Edelstahl mit Mehrfachskala sind in den Zifferblattgrößen 1,5" und 2" sowie mit verschiedenen Prozessanschlüssen, Druckbereichen und Anschlussausrichtungen erhältlich und bieten eine zuverlässige und effiziente Möglichkeit zur lokalen Drucküberwachung. Erzielen Sie präzise und leistungsstarke Ergebnisse mit dem weltweit führenden Anbieter von Druckmessgeräten.


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Datenblatt Serie PG

Merkmale

  • Uhrwerk aus Edelstahl für präzise Leistung.
  • Mit 316L-Edelstahl in Kontakt kommende Teile
  • Messgeräte werden in sauerstofffreien Kammern verschweißt, um strenge Reinheits- und Sicherheitsrichtlinien zu erfüllen.

Vorteile

  • Mechanische Druckmessgeräte bieten langlebige und effiziente Möglichkeiten zur lokalen Drucküberwachung.

Anwendungen

  • Gasversorgungssysteme und Werkzeuge, die in der Halbleiterfertigung eingesetzt werden, darunter:
    • Gas in großen Mengen
    • Gasschränke
    • Gasverteilung
{0611827E-BDAA-489D-B1E4-90280E983F1C}
Gerätetyp
Mechanische Manometer
{58EE102D-966D-40FB-847A-4CE8A05E0390}
Unterscheidungsmerkmal

Hochrein

{8C1D9CF4-A047-47E5-8B60-DCA9345494D4}
Leistung
{BCE97E3A-6AB4-4FF9-AA3C-DE8806BC5A98}
Druckbereich

15 - 4.000 PSI

{D5E3CCA9-7DB7-4529-9166-4D98263C7B70}
Genauigkeit
PG15: 3/2/3% oder Klasse B, PG20: 2/1/2% oder Klasse A
{9BF3C762-3A99-476E-8803-5B5699122EDA}
Berstdruck
400%
{3FDCA61E-85EA-41BA-B093-4E1BE6D8043D}
Druckfest
110 % des vollen Umfangs
{96AFF225-26AB-415C-B9DD-B3204F27C8F7}
Kennwerte
{0702E29E-FE1E-4AAA-9CCA-87C8CADD4615}
Sicherheitsstellung
Uneingeschränkter hinterer Ausblasschutzstopfen
{F38B86EC-6DA4-400F-85C7-C2DD796D2180}
Helium Lecktest
4 x 10-9 Innenbordmotor Standard cc/sec
{9E1347BE-6B8B-4E22-8450-248E460C1061}
Sauberkeit
ASME B40.1 Stufe IV
{6DED59C7-53DC-4A73-86C1-5D4199D961C3}
Mechanisch
{2CE03364-084A-4FAE-A477-74D832523BA3}
Gehäuse
Edelstahl der Serie 300, elektropoliert
{278E35B0-C665-4348-B821-7A4AD6F2999E}
Lünette und Linsenmaterial
Transparentes Polycarbonat, zum Aufstecken oder Anschrauben.
{CE3DA0D6-5A16-4487-89C1-649516DAC2DC}
Sockelmaterial
316L Edelstahl
PG15 (C15 & S15) PG20 (C20 & S20)
Unterscheidungsmerkmal 1,5 Zoll Zifferblattgröße 2" Zifferblattgröße
Druckbereich 15 - 4.000 PSI 15 - 4.000 PSI
Genauigkeit 3/2/3% oder Klasse B 2/1/2% oder Klasse A
Sockelausrichtung Mittig hinten oder am Vorbau montiert 2/1/2% oder Klasse A
Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation and Operation Manual pdf English

Verwenden Sie den folgenden Beispielcode, um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übersetzen. Sollten Sie Hilfe benötigen oder nicht finden, wonach Sie suchen, wenden Sie sich bitte an die Anwendungsentwicklung oder Ihren zuständigen Brooks Instrument-Vertreter vor Ort.

Beispiel: C - 15 - CS

Ausrichtung der Buchse  Modell

Verbindung

C

 15

CS - 1,125" C-Dichtung - Nur 1,5" Zifferblatt