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Serie XacTorr® Kapazitätsmanometer

Drift und thermische Einflüsse minimieren. Ergebnisse der Vakuumprozesse maximieren.
Modelle CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3
Maximieren Sie die Effizienz und Leistungsfähigkeit Ihrer im Vakuum ablaufenden Prozesse: Wählen Sie die digitalen Vakuumkapazitätsmanometer der Serie XacTorr® von Brooks Instrument. Die Geräte der Serie XacTorr® ist mit branchenführenden Merkmalen ausgestattet, die die Zuverlässigkeit der Messungen verbessern, Drift minimieren, Membrankontaminationen widerstehen und thermische Einflüsse minimieren.

Der hochentwickelte Sensor der vierten Generation besitzt eine für die  Druckmessung nicht genutzte Teiloberflächen – an diesen Stellen können sich Partikel und kondensierfähige Dämpfe anlagern. Dies reduziert die Erfordernis von Nullpunktneueinstellungen und verlängert die Sensorlebensdauer ohne das Risiko einer Sensordrift. Zusätzlich bietet ein optionaler schnellansprechender Sensor eine überlegene , hochleistungsfähige Regelfunktionalität.

Das Ergebnis: Extrem genaue, wiederholbare und effiziente Vakuummessungen, die für jedes Evakuieren einer Kammer das Erreichen des präzisen Solldrucks sicherstellen, der für einen reinen, kontaminationsfreien Produktionsprozess erforderlich ist.

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Rufen Sie an unter: +49 351 215 20410

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Datenblatt Serie XacTorr®

Merkmale

  • Für Prozessbereiche von 0,1 Torr bis 1000 Torr (0,13 mBar bis 1333 mBar) verfügbar
  • Mehrere Genauigkeitsstufen verfügbar
  • Patentierter Sensor der vierten Generation
  • Digitale Architektur ermöglicht den Betrieb über einen breiten Dynamikbereich mit extrem hoher Genauigkeit
  • Zwei-Zonen-Temperaturregelung verbessert die Messstabilität und Wiederholbarkeit
  • Digitale Multidekadenkalibrierung bietet einen weiten Anwendungsbereich in bekannter Genauigkeit
  • Nullpunkteinstellung mit Intelli-touch
  • Unabhängiger und einfach zugänglicher Diagnose- und Serviceanschluss
  • DeviceNet® und analoge Kommunikationsoptionen

Vorteile

  • Geringe Drift, überlegener Schutz vor der Abscheidung von Prozessgasen
  • Wegfall von manuellen Potentiometern und der mit diskreten Bauteilen verbundenen Drift
  • Kurze Aufwärmphase, enge Temperaturregelung, schnelle Reaktion auf Änderungen
  • Digitale Multidekadenkalibrierung bietet einen weiten Anwendungsbereich in bekannter Genauigkeit. Kompensation von Umgebungstemperatureinflüssen in Echtzeit
  • Kein Nullpunktabgleich möglich, wenn der Druck zu hoch ist oder die gewünschte Temperatur nicht erreicht wird
  • Diagnoseanschluss ermöglicht gleichzeitig mit dem Gerätebetrieb für Kammer- und Geräteübereinstimmung die Überwachung und Datenaufzeichnung zusammen mit hochentwickelter Fehlerbehebung in Echtzeit.

Anwendungen

  • Halbleiterfertigung
  • Dünnschichtabscheidungsprozesse – Glas-, Gewebe- und optische Beschichtungen
  • Gefriertrocknung leichtverderblicher Materialien
  • Hightech-Beschichtungen medizinischer Instrumente (chirurgische Instrumente, Zahnbohrer)
Gerätetyp
Capacitance Manometer
Unterscheidungsmerkmal

Heated or Unheated

Analog or Digital

 

Leistung
Temperatur

CMX0 Ambient

CMX1 45°C

CMX2 100°C

CMX3 160°C

Druckbereich

0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr

mBar & Pascal References Available

Genauigkeit

CMX0: 0.25% of Reading

CMX1, CMX2: 1 to 1000 Torr Ranges = 0.15% of Reading

CMX1, CMX2: < 1 Torr Ranges = 0.25% of Reading

Messspanne
4 Decades
Temperatureinfluss

On Zero

0.002% FS / °C

 

On Span

0.02% FS / °C

Mechanisch
Exposed Materialien
Inconel® and/or AISI 316L Stainless Steel
Zulässiger Maximaldruck
17 psia or 125% of Full Scale, whichever is greater
Größe
Large
Elektrisch
Analoge Kommunikation
0-10 Vdc 5k Ohm load
Digitale Kommunikation

DeviceNet™

RS485

Elektrischer Anschluss

Analog/RS485 via 9-Pin or 15-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Various cable adaptors available. See product data sheet for more information.

Spannungsversorgung

CMX0 power required is 200 mA @ ±15 Vdc

Power Input at Initial Warm-up Analog Models, Typical Values1: CMX1 - 270 mA@±15 Vdc (±5%); CMX2 - 620 mA @ ± 15 Vdc (±5%)

Power Input at Steady State Analog Models, Typical Values1:CMX1 - 175 mA @ ±15 Vdc (±5%);     CMX2 - 350 mA @ ± 15 Vdc (±5%)

Power Input at Initial Warm-up DeviceNet Models, Typical Values: CMX1 - 400 mA @ 24 Vdc;        CMX2 - 900 mA @ 24 Vdc

Power Input at Steady State DeviceNet Models, Typical Values: CMX1 - 300 mA @ 24 Vdc               CMX2 - 600 mA @ 24 Vdc

1. 15-Pin Male Sub D Model requires an additional 40 mA to power the internal relays (if energized).

Zertifikate und Zulassungen
EMV
Fully CE Certified to EMC Directive 89/336/EEC
CMX0 CMX1 CMX2 CMX3
Temperatur Ambient 45oC 100oC 160oC
Druckbereich 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr 0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr 0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr
Genauigkeit

0.25% of Reading

0.15% of Reading

1 - 1000 Torr Ranges

 

0.25% of Reading

<1 Torr Ranges

0.15% of Reading

1 - 1000 Torr Ranges

 

0.25% of Reading

<1 Torr Ranges

0.50% of Reading

1000 Torr Ranges

 

0.25% of Reading

10 - 100 Torr Ranges

 

0.35% of Reading

1 - 2 Torr Ranges

 

Analoge Kommunikation

0 - 10 Vdc

RS485

0 - 10 Vdc

RS485

0 - 10 Vdc

RS485

0 - 10 Vdc

RS485

Digitale Kommunikation

RS485

DeviceNet

RS485

DeviceNet

RS485

DeviceNet

RS485

DeviceNet

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Data Sheet - CMX160 pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Supplemental Manual - DeviceNet™ pdf English

Eine unabhängige Möglichkeit der Kommunikation mit dem Kapazitätsmanometer, ohne die Werkzeugkommunikation unterbrechen zu müssen.