型号 PC115 / PC125
PC100 金属密封压力控制器
PC100 系列压力控制器和压力表结合大量高性能技术特点，为高要求的半导体、气相沉积和其他超精密制造工艺提供了新的压力控制准确度和可靠性水平。
建立于可靠的 Brooks GF100 质量流量控制器技术之上，PC100 系列特有高纯度全金属流路，专门设计的增强传感器技术以消除传感器漂移，以及用户界面和设备诊断能力，可使设备评价和故障排除更容易，产生有限的维修中断和减少停机时间。
特点
- 响应时间：<1 秒
- 满量程流速高达 10 slm
- 传感器压力范围：1000 Torr FS
- 全金属密封流路：5µ 英寸 Ra 表面抛光
- PC125 使用嵌入式流量计，包括与高速 ARM 处理器结合在一起的高耐腐蚀性 Hastelloy® C-22 流量传感器
- 快速作用无隔膜阀组件
- 带有易接近按钮的高可视性 LCD 显示屏，用于流量、温度和网络地址本地指示
- 独立的诊断/维护端口
- DeviceNet™ 协议
优势
- 高性能部件可提供快速响应和设置时间以改进压力控制
- 减少旁通排气气体消耗以及相关减排成本
- 遵从 SEMI F20 的全金属耐腐蚀接液流路与整体减少的表面积及未波及体积一起确保在清洗步骤更快干透
- 长期热或压力传感器设备稳定性最大限度提高产量和吞吐量
- 用于要求缓慢上升压力控制过程的用户可编程启动功能
| 最大工作压力 | 1000 torr |
|---|---|
| 重复性 | < ±0.2% F.S. |
| 精度 | Pressure Reading: ± 1% of reading | Pressure Control: ± 0.2% of F.S. <10% F.S.; ± 1% of reading >10% to 100% F.S. | Flow Reading: ± 0.35% of F.S. 2-35% F.S. ; ± 1% of reading >35% F.S |
| 连接方式 | RS485, DeviceNet |
| 工作温度 | 10°C - 50°C |
| 压力控制范围 | 50:1 |
| 流量范围 | 10 slpm (N2 or H2 only) |
| 最大流量 | 10 slpm |
| 最高温度 | 50 celsius |
| 精度（满量程） | ±1% FS |
| 密封选项 | Metal |
| 測量/控制 | Measure & Control (Controller) |
| 技术原理 | Pressure Control |
| 介质类型 | Pressure |
Use the following guide, based on model code information from the data sheet, to translate the filename of the CAD drawings available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Example: GF120xHT (model) - CX (fitting) - G1 (connector)
| Model | Fitting | Connector |
| GF120xHT | BX - 1-1/2” body width, 92 mm W Seal | BX - Cable adapter to 15-pin D adapts G1 base |
| CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal | *DX - DeviceNet™ 5-pin micro | |
| LX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal w/Poke Yoke | EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks adapts GX base | |
| VX - 1-1/8” body width, 124 mm 1-1/4” VCR male | GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”), display and overlay 180 degree orientation | |
| WX - 1-1/8” body width, 92 mm W Seal | G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”) | |
| HX - Adapter to cardedge adapts to G1 base | ||
| IX - Adapter to cardedge adapts to GX base | ||
| JX - Cable adapter with 9-pin STEC pin-out & jack screws (w/VTP) adapts SX base | ||
| KX - Cable adapter to MKS 15-pin D, adapts G1 base | ||
| QX - Adapter to cardedge (w/out VTP) adapts to SX base | ||
| SX - 9-pin D with STEC pin-out (w/VTP) (units “S“, “Q“) | ||
| UX - Cable adapter to 15-pin D (w/VTP) adapts SX base |