型号 5866RT
5866RT 弹性体密封压力控制器和流量计
功能丰富，适用于各种流量测量范围的高压应用
布鲁克斯 5866RT 型金属或弹性体密封压力控制器和流量计能够控制压力并测量流速。5866RT 型可接收远程压力传感器信号并利用可调节的积分式 PID 控制电子元件和控制阀，将压力维持在目标值。凭借着密封选件、电抛光接液表面以及较宽的压力和流量测定范围，5866RT 型设备可为各种工艺提供可靠的测量结果。
特点
- 一体化压力传感器
- 响应时间：<0.8 秒
- 流量测量范围宽，满量程流速测量范围可达 0 - 3 sccm 至 0 – 30,000 sccm
- 满量程压力测量范围宽（最大压力可达 1500 psig）
- 可以使用选配的金属密封件
- 电抛光接液表面（可选）
- 电致动阀复位
- 适用于阀前或阀后控制
- 模拟接口
优势
- 消除衰减、滞后和提升现象
- 高泄漏完整性
- 更好地控制压力和流量
- 可通过顶部安装的 DIP 开关进行动态精细调节
| 流量测量原理 | Pressured-based (P-MFC) |
|---|---|
| 技术原理 | Pressure Control |
| 測量/控制 | Measure & Control (Controller) |
| 最大流量 | 30000 sccm |
| 最大压力 | 1500 psi |
| 压力控制范围 | 100:1 |
| 最大工作压力 | 103 bar |
| 最高温度 | 65 celsius |
| 密封选项 | Elastomer, Metal |
| 精度（满量程） | ±1% FS, ±5% FS |
| 精度 | ±1% F.S. including linearity at the calibration conditions | ±1.5% F.S. for flow rates greater than 20 slm |
| 连接方式 | Analog (0–5 V) |
| 重复性 | ±0.25% of rate |
| 流量范围 | 0 to 3 sccm/0 to 30,000 sccm |
| 介质类型 | Pressure |
| 工作温度 | 0°C - 65°C |