型号 5850EM / 5851EM
5850EM 金属密封式质量流量控制器
经验证长期稳定，超纯洁净体系，适用于高压应用
5850EM 系列金属密封热质量流量控制器的性能基于广泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC，可在高洁净环境下测量和控制高压气体流量并具有经验证的稳定性。该产品的金属密封结构和电镀抛光接液表面可确保出色的流量完整性并有助于整体提升过程效率，这得益于设备无需对气体压力进行连续监测和重新调节即可保证流量稳定。
特点
- 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%
- 能够根据命令变化在 3 秒内完成设置并且过冲/下冲可忽略不计
- 流量范围宽 - 3 sccm 至高达 30,000 slpm
- 高压额定值 - 高达 1,500 psi
- 可选增强型内部后处理工艺 - 5µ 英寸 Ra（平均值）
- 可拆卸式流量传感器
- 不受安装角度影响
- 其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容
- TTL 兼容型"阀关闭"和吹扫功能
优势
- 全金属流路可确保气体纯度并降低泄漏风险
- 在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的长期稳定性和准确性
- 由于性能可靠，因此投资回报率出众
- 采用可拆卸式流量传感器，因此无需对气压进行连续监测和重新调节
- 由于模拟量仅为输入/输出，因此易于安装和保养
| 介质类型 | Gas |
|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | 3 sccm - 30,000 sccm |
| 精度范围 | 1% F.S. incl. linearity, 1.5% F.S. incl. linearity >20 slpm |
| 拒绝率 | 2-3% - 100% |
| 重复性 | 0.2% of rate |
| 最大压力 | 1500 psi |
| 工作温度 | 5°C - 65°C |
| 測量/控制 | Measure & Control (Controller) |
| 最大流量 | 30000 sccm |
| 最大工作压力 | 103 bar |
| 最高温度 | 65 celsius |
| 密封选项 | Metal |
| 精度（满量程） | ±1% FS, ±1.5% FS |
| 连接方式 | Analog (0–5 V) |