前回のブログでは測定流量(PV値)とバルブ開度の同時モニターは、機器異常の早期発見、予防保全に非常に有効であるとお話しました。
PV値とバルブ開度の同時モニターは、半導体や自動車製造工場、半導体製造装置メーカーなどのハイエンドのプロセス管理はもちろん、その他の多くの産業でも徐々にその必要性が認知されてきています。
従来のアナログタイプのマスフローコントローラをご使用のお客様も、最新のマスフローコントローラに入れ替えていただくと容易にバルブ開度の同時モニターが可能です。ガス配管の面間寸法などは従来と変わりません。
既存の電気配線にアダプターを取付ければデジタル信号を取り出すことが可能です。
デジタル信号からバルブ開度の情報を得るにはインターフェースモジュールの追加とプログラミングが必要ですが、Brooksはより簡単にバルブ開度モニターを導入頂けるよう、別売のモニターボックスを提供しています。
標準仕様は下記のとおりです。仕様はカスタマイズ可能です。
■取得可能なパラメーター
・バルブ開度の他、SV・PV値、センサー温度など
■データ出力
・アナログ出力（電圧、電流）
■出力チャンネル数
・４チャンネル。８チャンネルまで拡張可。
■オプション機能
・データ保存機能。
※データ保存オプションを選択した場合、アナログ出力機能の省略が可能です。
・データのWi-Fi/イーサーネット取出し
■外形寸法(標準アナログ4CH仕様)
・W210mm, H132mm, D230mm
モニターボックス外観(標準アナログ4CH仕様)
モニターボックスの詳細仕様、カスタマイズ、その他ご不明な点につきましては
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