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流量だけのモニターで充分でしょうか?

バルブ開度の同時モニターのご推奨

マスフローコントローラーは従来、0-5VDCや4-20 mAなどのアナログ信号で制御されていて、入力値は設定流量(SV値)、出力値は測定流量(PV値)です。

プロセス管理としてPV値の情報のみで充分でしょうか?
下図はよくあるマスフローコントローラーのトラブルの例ですが、
このトラブルをPV値の情報のみで知ることは出来るでしょうか?


一見PV値が変化していない場合でも、実際は下記のようなトラブルが発生していて、実流量は変化している場合があります。

・流量センサーが故障している
・内部の閉塞で分流が変化している
・フィルターのつまりで圧損が生じている

下図はPV値とバルブ開度の同時モニターの例です。

MFC3の系統でプロセス異常が発生しました。PV値は3台のマスフローコントローラーで同じでしたが、MFC3のバルブ開度が異なる傾向を示していました。

もしバルブ開度のモニターを行っていなかったならば、その系統のガス供給ラインをすべてチェックする必要があり、膨大なダウンタイムが必要でした。 また常時モニターしてデータを蓄積していたため、どの段階で不具合が発生したのかを特定することが出来、迅速な品質管理のトレースにも役立ちました。

 

PV値とバルブ開度の同時モニターは半導体や自動車製造工場、半導体製造装置メーカーなどのハイエンドのプロセス管理はもちろん、その他の多くの産業でも徐々にその必要性が認知されてきています。

従来のアナログタイプのマスフローコントローラーをご使用のお客様も、最新のマスフローコントローラーに入れ替えていただくと容易にバルブ開度の同時モニターが可能です。

ガス配管の面間寸法などは従来と変わりません。既存の電気配線に信号線の取り出しアダプターを取付け、別売のモニターボックスに接続するだけです。

詳細については次回の記事にてご説明させていただきます。
また、オンラインにてのご説明も承ります。

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ITWジャパン株式会社
ブルックスインスツルメント

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