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Produkte Massendurchflussmesser Metallgedichtete Massendurchflussregler Serie GP200

Metallgedichtete, druckbasierte Massendurchflussregler der Serie GP200

Volle Leistung, keine Kompromisse
Die GP200-Serie ist der erste seiner Art: Ein komplett druckunempfindlicher, druckbasierter Massendurchflussregler (P-MFC), der speziell für fortschrittliche Ätz- und Abscheidungsprozesse in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde.

Die P-MFCs der Serie GP200 verwenden eine patentierte Architektur, die die Beschränkungen herkömmlicher P-MFCs überwindet. Selbst bei Zufuhr von Prozessgasen mit niedrigem Dampfdruck ermöglichen sie eine äußerst präzise Prozessgaszufuhr. Viele Konstruktionsmerkmale der Serie sind einzigartig, wie zum Beispiel der integrierte Differenzdrucksensor mit nachgeschaltetem Ventil. Diese Konstruktion erlaubt die auf dem Markt derzeit präziseste Prozessgaszufuhr unter sehr unterschiedlichen Betriebsbedingungen.

Da die GP200-Serie ein so breites Spektrum an Prozessbedingungen unterstützt, kann sie als Drop-in-Ersatz und Upgrade für viele herkömmliche P-MFCs und thermische MFCs verwendet werden. Sie macht das Gasversorgungssystem weniger komplex und gleichzeitig kostengünstiger, da sie ohne Komponenten wie Druckregler und Messwandler auskommt.

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Datenblatt Serie GP200

Merkmale

  • Echte Differenzdruckmessung
  • Betrieb mit niedrigerem Eingangsdruck
  • Nachgeschaltete Ventilanordnung
  • Angepasstes Einschwingverhalten
  • Zero Leak-by-Regelventil
  • Die MultiFlo™-Technologie bietet unvergleichliche Flexibilität – ein Gerät kann für Tausende verschiedener Gase und Durchflussbereiche konfiguriert werden, ohne dass der MFC von der Gasleitung entfernt werden muss oder die Genauigkeit beeinträchtigt wird
  • Lokales Display zeigt Durchfluss, Temperatur, Druck und Netzwerkadresse an
  • DeviceNet™, EtherCAT®, RS-485 L-Protokoll und analoge Schnittstellen

Ihre Vorteile

  • Die GP200-Differenzdrucktechnologie macht die Anpassung und Kompensation von zwei separaten Drucksensoren überflüssig und reduziert so die Messunsicherheit zugunsten einer besseren Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Driftleistung.
  • Da der GP200-Differenzdrucksensor speziell für die Messung niedriger Differenzdrücke optimiert ist, kann ein P-MFC jetzt auch bei niedrigeren Eingangsdrücken sicher betrieben werden.
  • Die Konstruktion mit nachgeschaltetem Ventil stellt sicher, dass die Genauigkeit unabhängig vom nachgeschalteten Druck ist und ermöglicht die Durchflussmessung bei einem Druck von bis zu 1200 Torr. Das schnell schließende Ventil verhindert unproduktive Rezepturwartezeiten oder "Nachlaufeffekte", die bei vorgelagerten MFC-Ventilkonstruktionen sonst auftreten, weil sie längere Zeit zum Entlüften ihres internen Gasvolumens benötigen.
  • Die ultraschnelle, hochgradig wiederholbare Stabilisierungszeit für ansteigende und abfallende Strömungen ermöglicht eine genauere Prozesssteuerung bei fortschrittlichen Abscheidungs- und Ätzprozessen mit schnellen Zyklen.
  • 100-fache schnellere Ventilabschaltung
  • Mit MultiFlo™ kann der MFC-Durchflussbereich bei voller Skalierung typischerweise um den Faktor 3:1 verkleinert werden, ohne dass dies gemäß der Spezifikationen Auswirkungen auf die Genauigkeit, den Regelbereich oder die Leckage hat. Das garantiert optimale Prozess- und Bestandsflexibilität. 
    Komfortables Benutzerdisplay und separater Diagnose-/Serviceanschluss erleichtern die Installation, Überwachung und Fehlerbehebung des Geräts
     

Einsatzbereiche

  • Halbleiter-Produktion
  • Ätzen
  • Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
  • Gasflusssteuerungsanwendungen, die einen hochreinen Strömungsweg aus Vollmetall erfordern
     
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Gerätetyp

Massendurchflussregler

{C1C2B1B1-D63C-4597-B230-34F8A27096A9}
Unterscheidungsmerkmal

Vollständig druckunempfindlicher P-MFC

Präziseste Prozessgaszufuhr über einen weiten Bereich von Betriebsbedingungen

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Leistung
{0CE6BA5F-82D2-4A23-A562-F0F2CF5BBDE9}
Durchflussbereich (Maximalwert)

3 sccm – 50.000 sccm

{01282299-7D13-416A-BCAD-22621F93803F}
Genauigkeit

Dicht schließendes Ventil

<±1% S.P. (5-100% F.S.)

<±0.05% F. S. (0.5-5% F.S.)

 

Metallgedichtetes Ventil

<±1% S.P. (5-100% F.S.)

<±0.05% F. S. (2-5% F.S.)

 
{2F0B3742-3DC0-46F9-AE8D-D1B0E4B5D92C}
Wiederholbarkeit
< ±0.15% S.P.
{617316A7-AF88-4EB8-AB73-11C5BB8569B0}
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

280 ± 20 ms 

Angepasstes Einschwingverhalten, für jeden ansteigenden oder abfallenden Nicht-Null-Sollwert

{29CF3459-F83C-4996-A2ED-73F9100F89F1}
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
MultiFlo™ Standard
{1D855B08-B1AF-4382-A649-FE952A8F9DB6}
Druckschwankungsabhängigkeit

<± 1% S.P. up to 40 psi/sec Eingangsdruckspitze

{BD160C6D-8161-4E0C-BE70-17C759559B69}
Regelbereich

Dicht schließendes Ventil

0.5 - 100% F.S.

 

Metallgedichtetes Ventil

2 - 100% F.S.

{AF592619-6639-46C3-B295-AE52F5C3D244}
Anzahl der Gerätegrundgrößen

9 Standardgrößen (bins)

{CB39301E-7A4A-4726-8283-4B8E7BC2A408}
Nullstabilität
< ±0.15% F.S. pro Jahr
{C0CA7DCC-7003-41AE-959B-F802EE80DE4F}
Temperaturkoeffizient

Zero: 0.005% F.S. per °C

Span: 0.05% S.P. per °C

{07A5BDB4-36C5-4CA4-9C09-4400CFA7A37E}
Mechanisch
{9098CC70-D40E-4EA6-9C81-84FDD6E9FBA7}
Dichtungsmaterial

Metall

{86EDE3E7-6B3B-44E7-98CD-5BC16D18200E}
Reinheitsgrad
5µ inch Ra im Durchschnitt
{FE35F248-521C-4500-98BA-099B82732385}
Medienberührte Teile

Edelstahl 316L

Hastelloy C-22

Edelstahl 316/316L 

Edelstahl 304 

KM-45

PCTFE

{B70F8148-7658-41D9-87E2-F2AC3D7C3A10}
Ventil

Normalerweise geschlossen

{29A84077-A29E-476F-92E1-BC8CAA8D5B90}
Kennwerte
{BFE5A757-6EB1-41FF-80F4-ECE1A20F311F}
Maximale Temperatur
60°C
{4FE0BC41-AFB1-4E8A-BA02-361310FCDF46}
Differenzdruckbereich

Min. 7psid

Max. bis zu 50 psid

{66BABDD1-831E-474D-A215-788B58C91EAC}
Maximaler Druck

150 psia

{2C4DC457-3ED4-424D-A5D6-14ECE9872D91}
Diagnose und Anzeige
{C67DFCEB-FEDC-4469-8124-096E14D7A0D8}
Diagnosefähigkeit
Verfügbar

{AD849A65-486D-47A6-B656-65089BD92530}
Status Leuchten

DeviceNet

MFC Zustand

Netzwerkstatus

 

EtherCAT

Betrieb

Fehler

Stromversorgung

Netzwerkstatus

 

RS-485 (analog)

Netzwerkstatus

{5B74CA8C-5F62-4686-B6D4-D12031C50884}
Alarme

Störungen der Prozesssteuerung

Durchfluss

Temperatur

(Vollständige Liste der Alarme im ergänzenden Kommunikationshandbuch)

 
{D3AC9C04-9967-4F68-B1A4-ABD34FBB5CB1}
Diagnose/Service-Port

RS-485 über Micro-USB

{0A47F7DB-5E54-4482-8BDF-22BA94C0F7AF}
Anzeigen

Obenliegendes integriertes LCD-Display

Anzeigewinkel: Drehbar

Anzeigeabstand: 3 m

Anzeigeeinheiten: Durchfluss (%), 

Temperatur (°C), Druck (psia, kPa)

Auflösung: 0.1 Einheiten

{35FDEB38-EDC3-468B-8328-0FC5283DD7CC}
Elektrisch
{394DECA1-6F9A-4696-A51E-7FDA4BEF0D89}
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

{323B4E7F-7A59-45EC-BCB7-35B0B0CF0EDD}
Digitale Kommunikation

DeviceNet™

EtherCAT®

RS-485 L-Protokoll

{A16772F9-BB39-4EBC-B10B-13A6E106A95F}
Elektrischer Anschluss

Analog/RS-485 über 9-pin-Stecker

DeviceNet™ über 5-pin „M12“ Verbinder

EtherCAT® über RJ45 Stecker, Strom über 

5-pin „M8“-Verbinder

{EEACA90E-E709-45B6-9A80-A50561C69A52}
Spannungsversorgung

Analog/RS-485 L-Protokoll: 6 Watt max. bei ±15 Vdc (±10%) oder +24 Vdc (±10%)

DeviceNet™ 545 mA max. bei +11-25 Vdc, 250 mA max. bei 24 Vdc

EtherCAT® 360 mA max. bei +18-30 Vdc, 270 mA max. bei 24 Vdc

(bei normalen Betriebsbedingungen)

{48A177B5-FADD-4FFF-BC32-A221C7701131}
Beachtung
{2EFFEC5B-05E3-46D1-A562-5981B2FE61C2}
EMV

2014/30/EU EMC Directive EN:61326-1: 2013

{253814E8-11B5-4429-B11A-276E7E9A59AF}
Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Richtlinien 2011/65/EU & 2015/863/EU 

REACH Richtlinie EC 1907/2006

Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English Japanese Korean
Installation and Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GP200 Series pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GP200 Series pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GP200 Series pdf English

Verwenden Sie den folgenden Leitfaden (Modellcodeinformationen aus dem Datenblatt), um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übertragen. Wenn Sie Fragen haben oder Hilfe benötigen, wenden Sie sich bitte an unsere Anwendungstechniker oder Ihren lokalen Brooks Instrument Kontakt – Wir helfen Ihnen gerne.

Beispiel: GF125 - WX (Montage) - GX (Stecker) - STEP

Messgeräte -Serie
 Fitting Anschluss Dateitype
 GF1xx AS - 1-1/2” body width, 92 mm 0.440” large bore C Seal (only for bins SH45-SH50) BX - Cable adapter to 15 pin D Brooks (Unit “B”,”N”) adapts G1 base  STEP
  CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal
 *DX - DeviceNet™ 5 pin micro  
  VX - 1-1/2” body width, 124mm 1/4” VCR male EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks (Unit”E”; IN “L”, “R”) adapts GX base  
  WX - 1-1/8” body width, 92mm W Seal GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”); display and overlay 180 degree orientation  
    G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)  
    SX - 9 pin D with STEC pin-out (w/VTP) (Unit”S”,”Q”)  
Serie 0250
Serie 0250

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Brooks Expert Support Tool (BEST)
Brooks Expert Support Tool (BEST)

Eine Windows™ basierte Anwendung, die eine erweiterte Steuerung von Brooks Instrument MFCs und Druckreglern.