Verdampfer und Dampferzeuger für optimale Dampfbereitstellung

Die Verdampfer und Dampferzeuger von Brooks Instrument sind eigenständige Module für die optimale Bereitstellung von ultrareinem Wasserdampf. Ob verbesserte Genauigkeit, höhere Durchflussraten, größerer Regelbereich oder niedrigerer Energieverbrauch: Mit unseren Geräten optimieren Sie Ihre Dampferzeugung und erzielen bessere Ergebnisse.

Für diese Bereiche können Sie Verdampfer und Dampferzeuger einsetzen: 

• Siliziumhalbleiter-Prozesse nach dem Metallätzen
• Metallabtragungsprozess auf Siliziumhalbleitern
• Ultrareine Befeuchtung in Unterdruckumgebungen

Setzen Sie mit Brooks Instrument Verdampfern und Dampferzeugern das volle Potenzial Ihrer Prozesse frei.