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Thermische Hochtemperatur-Massedurchflussregler und -messgeräte

Strömungsweg mit hoher Oberflächengüte für anspruchsvolle Hochtemperaturanwendungen
Viele der heutigen hochentwickelten Fertigungsprozesse elektronischer Geräte erfordern eine extrem genaue und in hohem Maße wiederholbare Messung und Regelung wertvoller ultrareiner Gase und flüssiger Vorprodukte. Brooks Instrument erfüllt diese Anforderungen mit den hochtemperaturfesten metallgedichteten thermischen Massedurchflussreglern und -messgeräten. Die präzise Chemieregelung wird durch die Kombination extrem stabiler, hochgenauer Messsensoren, schneller Präzisionsregelventile und leistungsfähiger digitaler Elektronik erreicht. Unsere hochdichte, ultrahochreine Konstruktion mit einem vollständig aus Metall bestehendem Strömungsweg sichert die Reinheit der Prozesschemie. Schädliche Verunreinigungen von außen wie Feuchtigkeit und Sauerstoff werden vom Prozessmedium ferngehalten.

Wesentliche Anwendungen

  • LWL-Herstellung - MCVD
  • Herstellungsverfahren für Siliziumhalbleitergeräte
  • CVD (Vorproduktbereitstellung in Dampfform)
  • Abtragen (Wasserdampf)
  • uml;tzen (Wasserdampf für die Passivierung)

PRODUKTE

Serie 5850EMH
Serie 5850EMH
Serie 9861
Serie 9861
Gerätetyp Mass Flow Controller Mass Flow Controller
Unterscheidungsmerkmal

Highest Flow Range

Proven, reliable technology

Highest Flow Accuracy

Highest Operating Temperature

Digital Communication

Durchflussbereich (Maximalwert) 100 slm (N2 equivalent) 10 slm (N2 equivalent)
Dichtungsmaterial Metal Metal
Reinheitsgrad 4 μ inch Ra
Genauigkeit

1% of FS

1% of SP@ 35 - 100% FS

0.35% of FS @ <35% FS

Wiederholbarkeit <±0.25% SP <±0.15% FS
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

<1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

Maximaler Druck

1 MPa (145 psi)

620 kPa (90 psi)

Maximale Temperatur 105oC 150oC
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)