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질화 티타늄 코팅을 위한 정확하고 안정적인 가스 및 액체 공급 공급

8/23/2022

티타늄은 대상 제품에 극도로 단단한 질화 티타늄(TiN) 코팅을 생성하기 위해 이러한 응용 분야에서 자주 사용됩니다. 금색 외관으로 인해 TiN 코팅은 장식용으로 보석, 가정용 비품 및 자동차 트림에 자주 사용됩니다. 유사한 코팅은 의료 기기 및 장비의 무독성 표면으로도 사용됩니다. 이러한 유형의 코팅은 현재 생체 내 바이오센서를 포함한 첨단 생체의학 장치 응용 분야에도 적용되고 있습니다.

CVD 공정을 사용한 질화 티타늄 코팅

신청 요건

CVD 공정은 일반적으로 질화 티타늄 코팅을 만드는 데 사용됩니다. 이 과정에서 여러 화학 물질(TiC14, N2 and H2)이 용광로에 공급되어 고온에서 반응하여 TiN을 생성하고 코팅으로 표면에 증착됩니다. 코팅의 무결성, 적절한 두께 및 균일성에 중요한 것은 이러한 재료를 용광로에 정확하게 전달하는 것입니다.

TiC14 는 액체 형태이며 일관된 결과를 보장하기 위해 다른 가스와 적절하게 반응하도록 기화되어야 합니다.

코팅의 무결성에 영향을 줄 수 있는 오염을 최소화하기 위해 주의를 기울여야 합니다. 시스템의 누출 또는 O-링 침투로 인해 실내 공기가 오염될 수 있습니다.TiC144의 부적절한 기화로 인해 오염된 가스 혼합물이 퍼니스로 전달될 수 있습니다.  

프로세스 솔루션

Brooks Instrument SLA5800 시리즈 질량 유량 컨트롤러 & 미터(MFC) 가스 구성 요소의 정확하고 반복 가능한 전달을 위한 탁월한 솔루션을 제공합니다. 다양한 신호 옵션을 사용할 수 있습니다. 아날로그(0-5VDC 또는 4-20mA) 또는 다음을 포함한 수많은 디지털 프로토콜 Ethernet/IP and PROFINET.이를 통해 제어 시스템에 대한 다양한 인터페이스가 가능합니다.

높은 정확도, 반복성 및 우수한 장기 제로 안정성을 제공하는 SLA 시리즈 MFC는 CVD 시스템에 중요한 매우 안정적이고 누출이 없는 구성 요소를 제공하여 CVD 프로세스의 전체 수명 동안 초기 시작 시 우수한 결과를 제공합니다. SLA 시리즈에는 다양한 공정 연결에서 위험 지역 등급에 이르기까지 MFC를 특정 응용 분야에 맞게 조정하는 데 사용할 수 있는 많은 옵션이 있습니다. SLAMf 시리즈 질량 유량 컨트롤러 및 미터

A Brooks Instrument Quantim® Coriolis 질량 유량 컨트롤러 TiC144의 액체 공급을 제어하는 데 사용됩니DLI 기화기와 같은 기화기,Brooks Instrument에서 개발하고 라이선스 계약에 따라 Ceres Technologies를 통해 사용할 수 있습니다. 이 기화기 시스템은 부드러운 기화 기술을 사용하여 퍼니스로의 TiC144 공급의 높은 무결성을 보장합니다. 기화기에 공급되는 액체는 N2와 같은 운반 가스와 결합되어 TiCl4를 기화시키는 데 필요한 열을 줄입니다. 이것은 과도한 열로 인한 TiC144의 분해를 제거하여 용광로에 일관된 증기를 제공합니다..

응용 분야가 습기에 민감하거나 고순도가 필요한 경우 Brooks Instrument는 이러한 요구 사항에 맞는 다양한 솔루션을 제공합니다.

저자 소개

Steve Brown
수석 애플리케이션 엔지니어

Steve는 펜실베니아주 햇필드에 있는 Brooks Instrument 글로벌 본부의 수석 애플리케이션 엔지니어입니다.

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당사의 애플리케이션 엔지니어링 전문가와 상담하십시오:

전화 +82 31 708 2591

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