ブルックス レガシー製品
マスフローコントローラ
面積式流量計(ローターメータ)
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プレッシャコントローラ
気化器製品

直接流体注入(DLI)気化器
モデル: DLIFS, DLIHVN, DLIHVP, DLIHVV, DLIHV, DLIWV, DLIWS, DLIWM, DLIWL
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ダウンロードデータシート- HV Series