ブルックス レガシー製品
マスフローコントローラ
5800TR シリーズ
SLA5800 シリーズ Revision A
面積式流量計（ローターメータ）
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プレッシャコントローラ
気化器製品
直接流体注入（DLI）気化器
モデル: DLIFS, DLIHVN, DLIHVP, DLIHVV, DLIHV, DLIWV, DLIWS, DLIWM, DLIWL
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ダウンロードデータシート- HV Series
