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ブルックス レガシー製品

マスフローコントローラ

Brooks 5850S Mass Flow Controller

5800S シリーズ

エラストマシール マスフローコントローラ

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Brooks Model 5816-Ex

モデル 5816-EX, 5864-EX

Ex-Proof マスフローコントローラ

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Brooks SLA5850 RevA mass flow meter

SLA5800 シリーズ Revision A

モデル 5835, 5836, 5837, 5838

Brooks MF Smart Series

MF Smart シリーズ

エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ

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面積式流量計(ローターメータ)

プレッシャコントローラ

Brooks 5866 メタルシールプレッシャーコントローラ

モデル 5866M

Brooks 8606, 8607 pressure regulator

モデル 8606, 8607

メカニカルプレッシャーレギュレータ

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Brooks GCS404 Cylinder Scale

GCS400シリーズ

気化器製品

Brooks direct liquid injection vaporizer plate system

直接流体注入(DLI)気化器