気化器製品

先進的な気化テクノロジーにより、清浄度の高い効率的な蒸気生成を可能にします

さまざまな工業プロセスや半導体プロセスでは、水や流体プリカーサを含む液体をコントロールされた清浄度の高い蒸気(気化ガス)に変換する必要があります。 気化とは、液体の相から気体(ガス)の相に状態が移行することを指します。つまり、気化器とは、液体材料を気体の状態に変えるシステムのことです。気化にはさまざまな方法がありますが、近年使用されている気化器にはすべてに共通する特性があります。

  • 液体の温度を上昇させる、または液体の周囲圧力を低下させる
  • 蒸気フローを回収し、制御する密閉システム
  • フィードバックとコントロールループシステムを使用して、気化速度を調節

主な用途

  • 水蒸発/加湿
  • 化学蒸着
  • 薄膜を蒸着することで、熱特性、光学特性、強度特性を高める
  • 真空ポリマー膜蒸着用のモノマー気化
  • キャリブレーション用蒸気の生成
  • 液化炭化水素の気化
Brooks vapor products illustration
Enthalpy of System -
  • Plasma etch and photoresist strip equipment vapor delivery
  • UHP DI water vapor applications
  • Sub atmospheric process chambers only
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製品タイプ
DI Water Vapor Delivery Module
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差別化要因

High Purity DIW Vapor Delivery

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT Digital Communications

Enhance User Interface

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Vaporization Method
Vapor Draw
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流体タイプ
蒸留水(DIW)
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Vapor Capacity

3000 sccm(蒸留水-DIW)

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最高圧力
200 Torr
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