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気化器製品

先進的な気化テクノロジーにより、清浄度の高い効率的な蒸気生成を可能にします

さまざまな工業プロセスや半導体プロセスでは、水や流体プリカーサを含む液体をコントロールされた清浄度の高い蒸気(気化ガス)に変換する必要があります。 気化とは、液体の相から気体(ガス)の相に状態が移行することを指します。つまり、気化器とは、液体材料を気体の状態に変えるシステムのことです。気化にはさまざまな方法がありますが、近年使用されている気化器にはすべてに共通する特性があります。

  • 液体の温度を上昇させる、または液体の周囲圧力を低下させる
  • 蒸気フローを回収し、制御する密閉システム
  • フィードバックとコントロールループシステムを使用して、気化速度を調節

主な用途

  • 水蒸発/加湿
  • 化学蒸着
  • 薄膜を蒸着することで、熱特性、光学特性、強度特性を高める
  • 真空ポリマー膜蒸着用のモノマー気化
  • キャリブレーション用蒸気の生成
  • 液化炭化水素の気化
Brooks vapor products illustration

Enthalpy of System,
  • Plasma etch and photoresist strip equipment vapor delivery
  • UHP DI water vapor applications
  • Sub atmospheric process chambers only
機種
DI Water Vapor Delivery Module
特長

High Purity DIW Vapor Delivery

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT Digital Communications

Enhance User Interface

Vaporization Method
Vapor Draw
流体タイプ
DI Water
Vapor Capacity

3000 sccm (DI Water) 

最大圧力
200 Torr