さまざまな工業プロセスや半導体プロセスでは、水や流体プリカーサを含む液体をコントロールされた清浄度の高い蒸気（気化ガス）に変換する必要があります。
気化とは、液体の相から気体（ガス）の相に状態が移行することを指します。つまり、気化器とは、液体材料を気体の状態に変えるシステムのことです。気化にはさまざまな方法がありますが、近年使用されている気化器にはすべてに共通する特性があります。
- 液体の温度を上昇させる、または液体の周囲圧力を低下させる
- 蒸気フローを回収し、制御する密閉システム
- フィードバックとコントロールループシステムを使用して、気化速度を調節
主な用途
- 水蒸発/加湿
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- 化学蒸着
- 薄膜を蒸着することで、熱特性、光学特性、強度特性を高める
- 真空ポリマー膜蒸着用のモノマー気化
- キャリブレーション用蒸気の生成
- 液化炭化水素の気化