VDM300 脱イオン水蒸気デリバリーモジュールをリリース

先進的なストリップ、および金属エッチング後のパッシベーションプロセス向けに作られたVDM300は、フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。

この度、VDM300の日本語版データシートを準備させて頂きました。
下記リンクよりダウンロードの上、ご覧ください。(※ダウンロードには、ログインが必要です。)

    [▶ VDM300 日本語版データシートダウンロードはこちら]

     

    VDM300の特長
    1. 流量レンジ:3 slpm(DIW蒸気)
    2. 優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定
    3. プラント内純水供給装置に直接接続
    4. 最低温度(非過熱状態)でも動作可能
    5. 水洗および排水用に最適な設計
    6. EtherCATデジタルコミュニケーション
    7. Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース

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    VDM300 脱イオン水蒸気デリバリーモジュール