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Verdampfer VDM300 zur Dampfbereitstellung

Höchste Genauigkeit für Ihre Wasserdampf-Regelung Modell: VDM300
Verfügbare Modelle VDM300

Die VDM Verdampfer (VDM = Vapor Delivery Module) von Brooks Instrument sind eigenständige Hochleistungsmodule zur Bereitstellung von ultrareinem (DI) Wasserdampf. VDM verfügen über ein energieeffizientes Design. So können Sie auch bei niedrigen Temperaturen ultrareinen Dampf erzeugen. Die bewährte Technik zur Dampfbereitstellung wird hier mit einer digitalen Regelung und integrierten Diagnosefunktionen kombiniert.

Ob verbesserte Genauigkeit, höhere Durchflussraten, breitere Regelbereiche oder niedrigerer Energieverbrauch: VDM von Brooks Instrument sind speziell für die hohen Anforderungen in Abtragungs- und Passivierungsprozessen entwickelt.

Unsere Verdampfer der Serie VDM300 basieren auf den bewährten thermischen Messtechniken für Massendurchfluss. Sie produzieren Dampf im nichtüberhitzten Dampfzustand und reduzieren so die aggressiven Wirkungen entionisierten Wassers.

Dank umfangreicher Datenaufzeichnungs- und Diagnosefunktionen können Sie Ihren Prozess zudem leicht und unkompliziert über einen separaten Serviceanschluss kontrollieren. Für Sie bedeutet das: höchste Zuverlässigkeit und ein absolut sauberer Betrieb.

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Sprechen Sie mit einem unserer Anwendungsexperten, wir helfen Ihnen gerne:

Rufen Sie an unter: +49 351 215 2040

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Datenblatt VDM300

Merkmale

  • Durchflussbereich: 3 sl/min (DI - Wasserdampf)
  • Hochpräzise Wasserdampfdirektmessung
  • Direktanschluss an entionisiertes Wasser
  • Arbeitet bei niedrigen Temperaturen (kein überhitzter Zustand)
  • Für Spülen und Entleeren optimierte Konstruktion
  • Digitale Kommunikation via EtherCAT
  • Grafische Bedienerschnittstelle über Brooks Expert Support Tool (BEST)

Ihre Vorteile

  • Bewährte, zuverlässige thermische Techniken für Massendurchflussmessung und -regelung
  • Tolerant gegenüber Druckänderungen im Wasserzulauf
  • Verbesserte Korrosionsbeständigkeit
  • Absolut saubererer Betrieb
  • Kommunikation über analoge oder digitale Schnittstelle
  • Verbesserte Datenaufzeichnung und Fehlerdiagnose

Für welche Aufgaben Verdampfer und Dampferzeuger der Serie VDM300 eingesetzt werden:

  • Siliziumhalbleiter-Prozesse nach dem Metallätzen
  • Metallabtragungsprozess auf Siliziumhalbleitern
  • Ultrareine Befeuchtung in Unterdruckumgebungen


Gerätetyp

DI Water Vapor Delivery Module

 

Unterscheidungsmerkmal

Ultra High Purity DIW Vapor

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT interface

Verdampfungsmethode
Vapor Draw
Art des Mediums
UHP DI Water
Durchflussbereich (Maximalwert)

3000 sccm

Messberichsdynamik
20:1
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<2 sec

Genauigkeit

±1% SP @ >10% FS

±0.2% FS @ 5 - 10% FS

Linearität
±0.5% of FS
Wiederholbarkeit
<±0.2% FS
Temperaturkoeffizient
0.05% per °C zero and span
Schleichmengen-Unterdrückung

Normally Closed Valve: <0.5% FS

Elektrisch
Analoge Kommunikation

0 to 5-24 Vdc

Digitale Kommunikation

EtherCAT via dual RJ-45 jacks

Diagnostic (RS485) via  microUSB

Elektrischer Anschluss

208-230 Vac, 50/60 Hz, 290 Watts Nominal (tank heater)

± 15 Vdc, ± 5% @ 1.2 amp (MFC heater and PCBA)

Status Leuchten

Zero

Device Ready

Warm Up

Device Fault

ECAT Error

EtherCAT Run

EtherCAT Link Active

Diagnose/Service-Port

RS-485 via microUSB

Verschraubung

Outlet Vapor: 1/2" Female VCR

Inlet DI Water: 1/4" Male VCR or Tube Compression

DI Water Drain: 1/8" Instant Tube Fitting

Montageausrichtung
Vertical with DIW inlet fittings down
Kennwerte
Maximaler Druck

Vapor Outlet: 200 torr

Versorgungsdruck

DI Water: 10 - 40 psig

N2 Purge: 10 - 40 psig

15 - 45°C
Totvolumen
0 to 95% RH, non-condensing
Beachtung
EMV
Electromagnetic Compatibility (EMC): Fully Compliant to Directive 2004/108/EC (EN: 61326-1:2013)

Low Voltage Directive (LVD): Fully Compliant to Directive 2006/95/EC (EN: 61010-1:2010)

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

SEMI E54.20-1108: Standard for Sensor/Actuator Network Communication for EtherCAT®

VDM300

Durchflussbereich (Maximalwert)

3000 sccm (DIW Vapor)

Power Input 208-230 Vac, 50/60 Hz, 290 Watts nominal
Genauigkeit

±1% SP @ >10% FS

±0.2% FS @ 5 - 10% FS

Regelbereich 20:1
Versorgungsdruck 10 - 40 psig
Linearität <0.5% of FS
Maximaler Druck 200 torr
Montageausrichtung Vertical (inlet down)
Wiederholbarkeit <±0.2% FS
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<2 sec

Analoge Kommunikation

0 to 5-24 Vdc

Digitale Kommunikation

EtherCAT via dual RJ-45 jacks

Diagnostics (RS-485) via microUSB

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
VDM300-At-a-Glance pdf English Chinese
Data Sheet pdf English Japanese
Installation & Operation Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - VDM300 pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

Verwenden Sie den folgenden Leitfaden (Modellcode aus dem Datenblatt), um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übertragen. Wenn Sie Fragen haben oder Hilfe benötigen, wenden Sie sich bitte an unsere Anwendungstechniker oder Ihren lokalen Brooks Instrument Ansprechpartner – wir helfen Ihnen gerne.

Example: VDM3 - 1

Series
  Inlet Fitting
VDM3
  1 - 1/4” VCR Male
    2 - 1/4” Tube Compression

 

DateinameDateityp
VDM3-1 STEP
VDM3-2 STEP

Mit dieser Windows-basierten Software können Sie alle Massendurchflussregler  und die Druckregler der Serien SLA5800 und SLAMf steuern und konfigurieren.