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VDM300 Dampfbereitstellungsmodule

Höchste Durchflussgenauigkeit zur Regelung von entionisiertem, ultrareinem (DI) Wasserdampf.
Modelle VDM300
Das Dampfbereitstellungsmodul von Brooks Instrument (VDM, Vapor Delivery Module) ist ein eigenständiges Hochleistungsmodul für die Bereitstellung von ultrareinem (DI) Wasserdampf. Das VDM – Modul verfügt über ein energieeffizientes Design zur Erzeugung von ultrareinem Dampf bei niedrigen Temperaturen. Es verwendet eine bewährte Dampfbereitstellungstechnik und kombiniert diese mit hochentwickelter digitaler Regelung und integrierten Diagnosefunktionen in einem kleinen, komfortablen Gehäuse.

Entwickelt für die hochentwickelten Abtragungs- und dem Metallätzen nachfolgenden Passivierungsprozesse, liefert das VDM verbesserte Genauigkeit, höhere Durchflussraten, breitere Regelbereiche und niedrigere Energieverbräuche im Vergleich mit Entspannungsverdampfungssystemen. Basierend auf bewährten thermischen Messtechniken für Massedurchfluss produziert das VDM Dampf im nichtüberhitzten Dampfzustand und reduziert so die aggressiven Wirkungen entionisierten Wassers für eine verbesserte Zuverlässigkeit und saubereren Betrieb.

Es bietet auch benutzerfreundliche Datenaufzeichnungs- und Diagnosefunktionen über einen unabhängigen Serviceanschluss sowie eine intuitive grafische Bedienerschnittstelle.

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Datenblatt VDM300

Merkmale

  • Durchflussbereich: 3 sl/min (DI - Wasserdampf)
  • Wasserdampfdirektmessung mit überlegener Durchflussgenauigkeit
  • Wird direkt am Hausanschluss für entionisiertes Wasser angeschlossen.
  • Arbeitet bei niedrigeren Temperaturen (kein überhitzter Zustand)
  • Für Spülen und Entleeren optimierte Konstruktion
  • Digitale Kommunikation via EtherCAT
  • Grafische Bedienerschnittstelle über Brooks Expert Support Tool (BEST)

Vorteile

  • Verwendet bewährte, zuverlässige thermische Techniken für Massedurchflussmessung und -regelung
  • In hohem Maße tolerant gegenüber Druckänderungen im Wasserzulauf
  • Verbesserte Korrosionsbeständigkeit
  • Sicherstellung eines saubereren Betriebs
  • Kommunikation über analoge oder digitale Schnittstelle
  • Direkte Benutzerschnittstelle zur verbesserten Datenaufzeichnung oder Fehlersuche

Anwendungen

  • Dem Metallätzen nachfolgende Sliziumhalbleiterprozesse
  • Metallabtragungsprozess auf Siliziumhalbleitern
  • Ultrareine Befeuchtung in Unterdruckumgebungen


Gerätetyp

DI Water Vapor Delivery Module

 

Unterscheidungsmerkmal

Ultra High Purity DIW Vapor

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT interface

Verdampfungsmethode
Vapor Draw
Art des Mediums
UHP DI Water
Durchflussbereich (Maximalwert)

3000 sccm

Messberichsdynamik
20:1
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<2 sec

Genauigkeit

±1% SP @ >10% FS

±0.2% FS @ 5 - 10% FS

Linearität
±0.5% of FS
Wiederholbarkeit
<±0.2% FS
Temperaturkoeffizient
0.05% per °C zero and span
Schleichmengenunterdrückung

Normally Closed Valve: <0.5% FS

Elektrisch
Analoge Kommunikation

0 to 5-24 Vdc

Digitale Kommunikation

EtherCAT via dual RJ-45 jacks

Diagnostic (RS485) via  microUSB

Elektrischer Anschluss

230 Vac, 50/60 Hz, 290 Watts Nominal (tank heater)

± 15 Vdc, ± 5% @ 1.2 amp (MFC heater and PCBA)

Statuslampen

Zero

Device Ready

Warm Up

Device Fault

ECAT Error

EtherCAT Run

EtherCAT Link Active

Diagnose/Service-Port

RS-485 via microUSB

Verschraubung

Outlet Vapor: 1/2" Female VCR

Inlet DI Water: 1/4" Male VCR or Tube Compression

DI Water Drain: 1/8" Instant Tube Fitting

Montageausrichtung
Vertical with DIW inlet fittings down
Kennwerte
Maximaler Druck

Vapor Outlet: 200 torr

Versorgungsdruck

DI Water: 10 - 40 psig

N2 Purge: 10 - 40 psig

15 - 45°C
Totvolumen
0 to 95% RH, non-condensing
Beachtung
EMV
Electromagnetic Compatibility (EMC): Fully Compliant to Directive 2004/108/EC (EN: 61326-1:2013)

Low Voltage Directive (LVD): Fully Compliant to Directive 2006/95/EC (EN: 61010-1:2010)

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

SEMI E54.20-1108: Standard for Sensor/Actuator Network Communication for EtherCAT®

VDM300

Durchflussbereich (Maximalwert)

3000 sccm (DIW Vapor)

Power Input 230 Vac, 50/60 Hz, 290 Watts nominal
Genauigkeit

±1% SP @ >10% FS

±0.2% FS @ 5 - 10% FS

Regelbereich 20:1
Versorgungsdruck 10 - 40 psig
Linearität <0.5% of FS
Maximaler Druck 200 torr
Montageausrichtung Vertical (inlet down)
Wiederholbarkeit <±0.2% FS
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<2 sec

Analoge Kommunikation

0 to 5-24 Vdc

Digitale Kommunikation

EtherCAT via dual RJ-45 jacks

Diagnostics (RS-485) via microUSB

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
VDM300-At-a-Glance pdf English Chinese
Data Sheet pdf English French Korean Russian Romanian Spanish
Installation & Operation Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - VDM300 pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: VDM3 - 1

Series
  Inlet Fitting
VDM3
  1 - 1/4” VCR Male
    2 - 1/4” Tube Compression

 

DateinameDateityp
VDM3-1 STEP
VDM3-2 STEP

Eine Windows-basierte Anwendung, die eine weitreichende Kontrolle über die Massedurchflussregler, Anzeigen und Druckregler der Serien SLA58XX und SLAMfXX bietet.