Verdampfer und Dampferzeuger

Hochentwickelte Verdampfertechnologie für eine reine und effiziente Dampferzeugung

Mit unseren Verdampfern und Dampferzeugern überführen Sie flüssige Vorprodukte in Dämpfe – kontrolliert und absolut rein.

Verdampfung ist der Phasenübergang von der flüssigen zur Gasphase. Daher bezeichnet man jedes System, das ein Flüssigmedium in den Gaszustand überführt, als Verdampfer. Moderne Dampferzeuger und Verdampfer weisen folgende Merkmale auf:

  • Erhöhung der Temperatur und/oder Reduzierung des Umgebungsdrucks des Flüssigmediums
  • Geschlossenes System zum Auffangen und Regeln des Dampfdurchflusses
  • Anwendung von Rückmelde- und Regelkreissystemen zur Regelung der Verdampfungsrate

In diesen Bereichen werden Verdampfer verwendet:

  • Bei der Wasserverdampfung und Befeuchtung
  • Zur chemischen Gasphasenabscheidung
  • Zur Ausfällung dünner Schichten für verbesserte thermische, optische oder Härteeigenschaften
  • Zur Monomerverdampfung für Polymerschichtverteilung im Vakuum
  • Bei der Herstellung von Kalibrierdampf
Brooks vapor products illustration
Enthalpie des Systems -
  • Plasma etch and photoresist strip equipment vapor delivery
  • UHP DI water vapor applications
  • Sub atmospheric process chambers only
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Gerätetyp
DI Water Vapor Delivery Module
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Unterscheidungsmerkmal

High Purity DIW Vapor Delivery

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT Digital Communications

Enhance User Interface

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Verdampfungsmethode
Vapor Draw
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Art des Mediums
DI Water
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Dampfbereich

3000 sccm (DI Water) 

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Maximaler Druck
200 Torr
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