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Metallgedichtete thermische Massedurchflussregler und -messgeräte

Hochreiner Strömungsweg. Extrem präzise, kontaminationsfreie Regelung
Viele der heutigen hochentwickelten Fertigungsprozesse erfordern eine extrem genaue und reproduzierbare Messung und Regelung wertvoller ultrareiner Gase und flüssiger Vorprodukte. Brooks Instrument erfüllt diese Anforderungen mit den bahnbrechenden metallgedichteten thermischen Massedurchflussreglern und -messgeräten. Die präzise Medienregelung wird durch die Kombination extrem stabiler, hochgenauer Messsensoren, schneller Präzisionsregelventile und leistungsfähiger digitaler Elektronik erreicht. Unsere hochdichte, ultrahochreine Konstruktion mit einem vollständig aus Metall bestehendem Strömungsweg sichert die Reinheit der Prozesschemie. Schädliche Verunreinigungen von außen wie Feuchtigkeit und Sauerstoff werden vom Prozessmedium ferngehalten.

Wesentliche Anwendungen

  • Fertigungsprozesse für Siliziumhalbleitergeräte – Ätzen, Abtragen, CVD, ALD, PVD, Epi, Diffusion, Implantation und RTP
  • Fertigungsprozesse für Halbleiterverbundgeräte – MOCVD
  • Präzisionsgefertigte Oberflächenbeschichtungen
  • Analysesysteme
  • Vakuumprozessanwendungen
Wählen Sie das Massedurchflussgerät, das Ihre Prozessanforderungen am besten erfüllt.

PRODUKTE

Serie GF135
Serie GF135
Serie GF125
Serie GF125
Serie GF100
Serie GF100
Serie GF80
Serie GF80
Serie 5850EM
Serie 5850EM
Gerätetyp Mass Flow Controller

Mass Flow Controller

Mass Flow Controller

Mass Flow Controller

Mass Flow Controller
Unterscheidungsmerkmal

Real-Time Flow Error Detection

Advanced Diagnostics

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

High Purity/Ultra-High Purity

Standard GF Series

High Flow GF Series

High Purity

Large installed base with proven long term performance

Durchflussbereich (Maximalwert)

3 sccm - 5 slm (N2 Eq.)

3 sccm - 300 slm

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

3 sccm - 300 slm .06 sccm - 30,000 sccm
Dichtungsmaterial

Metal

Metal

Metal Metal Metal
Reinheitsgrad 4µ inch Ra
4 - 5µ inch Ra 4 - 10µ inch Ra 16µ inch Ra

316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel

Genauigkeit

±1% S.P. 10-100% F.S.

±1% S.P. plus ±0.04% F.S. 2-10% F.S.

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F. S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. < 5-35%

1% F.S. incl. linearity

1.5% F.S. incl. linearity >20 slpm

Wiederholbarkeit < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.2% S.P.

0.2% of rate

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<300 ms (<860 sccm N2 equivalent)

<400 ms (861-5000 sccm N2 equivalent)

(to within ±2% FS)

<300 ms (<860 sccm N2 equivalent)

<400 ms (861-5000 sccm N2 equivalent)

(to within ±2% FS)

<300 ms (<860 sccm N2 equivalent)

<400 ms (861-5000 sccm N2 equivalent)

(to within ±2% FS)

300ms - < 1 sec

Normally Closed Valve: 700 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

Normally Closed Valve: <1 sec

Normally Closed Valve: <3 sec

Optional: 600 msec

Druckschwankungsabhängigkeit

< 1% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike

<5% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike

Multi-Gas & Range Configurability

MultiFlo™ Standard (most models) MultiFlo™ Standard (most models) MultiFlo™ Available

Diagnosefähigkeit Available

Available

Available

Available

Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

4-20 mA

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

DeviceNet™

RS485

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

DeviceNet™ 

Profibus®

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

RS485 A-Protocol (GF081)