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Metallgedichtete thermische Massendurchflussregler

MFC mit hochreinem Strömungsweg – für präzise, kontaminationsfreie Regelung
Metallgedichtete thermische Massendurchflussregler ermöglichen Ihnen eine extrem genaue und reproduzierbare Durchflussmessung und Regelung ultrareiner Gase und flüssiger Vorprodukte. Die MFCs von Brooks Instrument erfüllen die hohen Anforderungen hochentwickelter Fertigungsprozesse und halten schädliche Verunreinigungen durch Feuchtigkeit und Sauerstoff vom Prozessmedium fern.

Ob extrem stabile, hochgenaue Messsensoren, schnelle Präzisionsregelventile oder leistungsfähige digitale Elektronik: Unsere Massendurchflussregler sind mit der modernsten Technik ausgestattet, um Ihre Medienregelung zu präzisieren. Dank der hochdichten, ultrareinen Konstruktion mit einem vollständig aus Metall bestehendem Strömungsweg erhalten Sie in der Prozesschemie absolut reine Ergebnisse.

Für welche Aufgaben metallgedichtete MFCs eingesetzt werden

  • Fertigungsprozesse für Siliziumhalbleitergeräte (Ätzen, Abtragen, CVD, ALD, PVD, Epi, Diffusion, Implantation und RTP)
  • Fertigungsprozesse für Halbleiterverbundgeräte (MOCVD)
  • Präzisionsgefertigte Oberflächenbeschichtungen
  • Analysesysteme
  • Vakuumprozessanwendungen
Wählen Sie das Massendurchflussgerät, das Ihre Prozessanforderungen am besten erfüllt.

PRODUKTE

Serie GF125
Serie GF125
Modell GF100 EtherCAT
Modell GF100 EtherCAT
Serie GF100
Serie GF100
Serie GF80
Serie GF80
Serie 5850EM
Serie 5850EM
Gerätetyp

Massedurchflussregler

Massedurchflussregler

Massedurchflussregler

Massedurchflussregler

Massedurchflussregler
Unterscheidungsmerkmal

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

EtherCAT Communication

High Purity/Ultra-High Purity

Embedded Diagnostics

Ultra-stable Flow Sensor

Improved Valve Shutdown

High Purity/Ultra-High Purity

Standard GF Series

High Flow GF Series

High Purity

Large installed base with proven long term performance

Durchflussbereich (Maximalwert)

3 sccm - 300 slm

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

3 sccm - 300 slm .06 sccm - 30,000 sccm
Dichtungsmaterial

Metal

Metal Metal Metal Metal
Reinheitsgrad 4 - 5µ inch Ra

5 - 10µ inch Ra

4 - 10µ inch Ra 16µ inch Ra

316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel

Genauigkeit

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F. S. 2-35%

Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%

High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. < 5-35%

1% Vollausschlag inklusive Linearität

1.5% Vollausschlag inklusive Linearität >20 slpm

Wiederholbarkeit < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.2% S.P.

0.2% of rate

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

300ms - < 1 sec

Normalerweise geschlossen: 300 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

Normalerweise geschlossen: 700 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

Normalerweise geschlossen: <1 sec

Normalerweise geschlossen: <3 sec

Optional: 600 msec

Druckschwankungsabhängigkeit

<5% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike

Specific models

Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange MultiFlo™ Standard (most models) MultiFlo™ Standard (most models) MultiFlo™ Standard (most models) MultiFlo™ Available

Diagnosefähigkeit Available

Verfügbar

Verfügbar

Verfügbar

Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

4-20 mA

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

EtherCAT®

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

DeviceNet™ 

Profibus®

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

RS485 A-Protocol (GF081)