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Die Serie GF80 der metallgedichteten thermischen Massendurchflussregler

MFCs für höchste Leistungsfähigkeit und Wirtschaftlichkeit

Für viele Industrie- und Halbleiterprozesse sind sowohl die Leistungsfähigkeit als auch die Wirtschaftlichkeit ausschlaggebend. Die metallgedichteten Massendurchflussregler und -messgeräte der Serie GF80 liefern Ihnen beides.

Die zuverlässigen Durchflussmesser sind mit einem schnell-ansprechenden Sensor und der patentierten MultiFlo™ Technologie ausgestattet. Für Sie bedeutet das: Höchste Leistung zu einem fairen Preis.

Da keine Sauerstoffpermeation nötig ist, bestehen keine Einschränkungen für die verwendbaren Gase. Durch die Elastomere ist zudem eine verbesserte Gasreinheit gegeben. Die Metalldichtungen sind sehr stabil, sodass sich der Wartungsaufwand stark reduziert.


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Datenblatt Serie GF80