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Produkte Halbleiterprodukte für die Elektronikfertigung Hochreine und ultrareine Gas-Massendurchflussregler für die Halbleiterindustrie Serie GF80

Serie GF80

Verfügbare Modelle GF80

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Rufen Sie an unter: +49 351 215 2040

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Merkmale

  • Langzeitnullpunktstabilität von <±0,5 % des Endwerts pro Jahr
  • Einschwingzeiten <1 Sekunde
  • Maximaler Durchfluss bis zu 300 sl/min
  • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg - Oberflächenrauigkeit Ra 0,4 µm
  • Der korrosionsbeständige Hastelloy® Sensor kann für Gase, die anfällig für thermische Zersetzung sind, bei niedrigeren Temperaturen arbeiten.
  • Kompatibel mit MultiFlo™: Sie können eine Vielzahl an Gas-Arten und Durchflusswerten mit nur einem Gerät messen
  • Beste Temperaturkoeffizient-Spezifikation seiner Klasse dank aktiver Temperaturkompensation
  • Eingebaute Selbsttestroutinen und unabhängiger Diagnose-/Serviceanschluss
  • Schlankes Gehäuse mit VCR-Verschraubungen oder Downport
  • DeviceNet™, Profibus®, RS-485- und analoge Schnittstellen

IhreVorteile

  • Keine Gasverschwendung oder Prozessschwankungen dank der schnellen Durchflusseinschwingzeit von <1 Sekunde
  • Keine Elastomerdichtungen, die wegen möglicher Sauerstoffpermeation nach gewisser Zeit auszutauschen sind
  • MultiFlo™ vereinfacht und beschleunigt den Prozessgaswechsel — Keine Demontage und Kalibrierung der Massedurchflussregler erforderlich
  • Neue Gase und/oder Bereiche lassen sich in weniger als 60 Sekunden einstellen.
  • Keine Beeinflussung der Messgenauigkeit durch Temperaturschwankungen
  • Maximale Verfügbarkeit durch komfortabel zugänglichen Diagnoseanschluss
  • Kompakte Bauform erleichtert die Integration in engen Gasversorgungsschränken; hervorragende Wahl für Nachrüstungen
  • Die Multiprotokoll-Kommunikationsschnittstelle vereinfacht die Integration in bestehende Systeme

In diesen Bereichen können Sie Massendurchflussregler der GF80 Serie einsetzen

  • Zur wirtschaftlichen Umrüstung/Nachrüstung älterer Massendurchflussregler-Versionen in generalüberholten Halbleiterprozessgeräten
  • Zur Verringerung des Massedurchflussregler-Lagerbestands in der Halbleiterfabrikation
  • In MOCVD-Verfahren für die LED- und Leistungshalbeiter-Fertigung
  • In Systemen für chemische Solar-/Dünnschicht-Gasphasenabscheidungsprozesse (CVD)
  • Als analytische OEM-Ausrüstung
Gerätetyp

Massedurchflussregler

Unterscheidungsmerkmal
High Purity
Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)
3 sccm - 300 slm
Genauigkeit

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. < 5-35%

Wiederholbarkeit
< ±0.2% S.P.
Linearität

±0.5% F.S. (included in accuracy)

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen: <1 sec

Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
MultiFlo™ Available
Druckschwankungsabhängigkeit
—
Regelbereich

< 5% - 100%

Anzahl der Gerätegrundgrößen

Standard GF Series: 11 bins

High Flow GF Series: 4 bins

Schleichmengen-Unterdrückung

Standard GF Series: < 1% F.S.

High Flow GF Series: < 4% of Standard Configuration F.S. @ 30psig/atm out N2 equiv.

Nullstabilität
< ±0.5% F.S. per year
Mechanisch
Dichtungsmaterial
Metal
Reinheitsgrad
16µ inch Ra
Medienberührte Teile

316 Stainless Steel

Hastelloy C-22

17-7 PH

430SS

KM-45

Ventil

Normalerweise geschlossen

Zähler (kein Ventil)

Kennwerte
Maximale Temperatur
50oC
Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-50000 sccm = 25-45 psid

51-300 slm = 30-90 psid

(typical pressure drops)

Maximaler Druck

Standard GF Series: 150 psig (10 bar)

High Flow GF Series: Meter = 75 psig (5 bar), Controller = 150 psig (10 bar)

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Diagnose und Anzeige
Diagnosefähigkeit
Verfügbar

Status Leuchten
MFC Gesundheit & Netzwerkstatus
Alarme

Control Valve Output, Network Interruption

Diagnose/Service-Port

RS485 via 2.5mm jack (all models)

 

Elektrisch
Analoge Kommunikation

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

Digitale Kommunikation

DeviceNet™ 

Profibus®

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

RS485 A-Protocol (GF081)

Elektrischer Anschluss

Profibus/Analog via 9-Pin "D" connector

RS485/Analog via 9-Pin"D" connector, 15-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Spannungsversorgung

Standard GF Series:   RS485 from +12 Vdc to +24 Vdc = 7 Watts max

                                       Profibus from +13.5 Vdc to +27 Vdc = 7 Watts max

                                       DeviceNet™ from +11 Vdc to +25 Vdc = 13.6 Watts max

High Flow GF Series: RS485 from +12 Vdc to +24 Vdc = 3.3 Watts max

                                       Profibus from +13.5 Vdc to +27 Vdc = 3.3 Watts max

                                       DeviceNet™ from +11 Vdc to +25 Vdc = 3.3 Watts max

Beachtung
EMV

CE: EN6126: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Einhaltung von Umweltvorschriften

Safety EN61010-1

RoHS

GF80
Unterscheidungsmerkmal

High Purity

Low Flow Rate
Durchflussbereich (Maximalwert) 3 sccm - 55 slm
Oberflächenbeschaffenheit 16µ inch Ra
Genauigkeit

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%
Wiederholbarkeit < ± 0.2% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen

<1 sec
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange MultiFlo™ Available
Druckschwankungsabhängigkeit —
Diagnosefähigkeit

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung
Analoge Kommunikation

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc
Digitale Kommunikation

Profibus

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

 
DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English Japanese
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 A-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 S-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English Korean Russian Romanian Spanish

Verwenden Sie die Modellcodeinformationen aus dem Datenblatt, um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übertragen. Wenn Sie Fragen haben oder Hilfe benötigen, wenden Sie sich bitte an unsere Anwendungstechniker oder Ihren lokalen Brooks Instrument Vertreter – wir helfen Ihnen gerne.

Messgeräte-Serie  Fitting
  Anschluss
GF080  VX - 1/4” VCR

  S5 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V)15-Pin Male D (Brooks® Protocol)
Serie 0250

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Serie 0260

Steuert und überwacht bis zu 30 Geräte, Spannungsversorgung für bis zu 10 Geräte.

MultiFlo™ Konfigurator
Smart DDE

Smart DDE ist eine Software für den dynamischen Datenaustausch. Sie ermöglicht bidirektionale Links zwischen Ihren Windows-basierten Anwendungen und Brooks® Geräten mit RS485-S-Protokoll.