Hochreine und ultrareine Gas-Massendurchflussregler für die Halbleiterindustrie
Wenn dagegen die Drift die definierten Sollwerte überschreitet, steht die Produktion still. Erfordern neue Fertigungsprozesse mehrere Gase und verschiedene Massendurchflussregler, legt dies Ihren Prozess schnell für mehrere Tage lahm.
Die Lösung dafür sind MultiFlo®-fähige Massendurchflussregler der Serie GF. Die metallgedichteten Massendurchflussregler und -messgeräte führen genau und wiederholbar Prozessgase in ultrahoher Reinheitsstufe zu. Die Serie GF wurde dafür im Dauerbetrieb auf einem Zuverlässigkeits-Level getestet, das dem Siebenfachen des Halbleiterindustriestandards entspricht. Ein vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg und der korrosionsbeständige Hastelloy®-Sensor garantieren Ihnen höchste Gasreinheit und feuchtefreien Durchfluss.
Dank modernster MultiFlo® Technologie unterstützen diese Massendurchflussregler unzählige Gasarten und -kombinationen. So erhöhen sie nicht nur Ihre Prozessflexibilität und -effizienz, sondern profitieren auch von höchster Reinheit und Produktivität
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Gerätetyp |
Massedurchflussregler |
Massedurchflussregler |
Unterscheidungsmerkmal |
High Purity/Ultra-High Purity Standard GF Series High Flow GF Series Ultra-Fast Response Time Pressure Transient Insensitivity |
EtherCAT Communication High Purity/Ultra-High Purity Embedded Diagnostics Ultra-stable Flow Sensor Improved Valve Shutdown |
Dichtungsmaterial | Metal | Metal |
Reinheitsgrad | 4 - 10µ inch Ra |
5 - 10µ inch Ra |
Durchflussbereich (Maximalwert) |
Standard GF Series: 3 sccm - 55 slpm High Flow GF Series: 55 slpm - 300 slpm |
Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm |
Genauigkeit |
±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35% |
Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20% High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35% |
Maximaler Druck |
Standard GF Series: 500 psia max High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter) |
Standard GF Series: up to 500 psia max High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter) |
Maximale Temperatur | 50oC | 50oC |
Analoge Kommunikation |
0-5 Vdc |
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Digitale Kommunikation |
DeviceNet™ RS485 L-Protocol |
EtherCAT® |