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Flüssigmedium- und Dampfbereitstellungstechnologie für die Halbleiterfertigung

Reine Flüssigmedienverdampfung in der Halbleiterbranche

Viele konventionelle Verdampfersysteme wie „Bubbler“ oder Dampfauszuggeräte machen es Ihnen nicht leicht: Sie sind kompliziert zu starten, erfordern eine genaue Kontrolle von Temperatur und Druck und sind ineffizient. „Flash-Verdampfer“ wiederum, die das Flüssigmedium über eine heiße Metalloberfläche verdampfen, sind ebenfalls ineffizient und können die flüssige Vorstufe sogar zersetzen. Beide Systeme können nicht zuverlässig verhindern, dass Flüssigkeit verschleppt und der Prozess kontaminiert wird.

Direct Liquid Injection (DLI) Verdampfer von Brooks Instrument dagegen machen Ihnen eine optimale Flüssigmedienverdampfung einfach. Die Geräte setzen Heißgas zur Verdampfung ein. Das Flüssigmedium wird dabei beim Eintritt in die Heißgaskammer durch den Kontakt zum Trägergas sofort vernebelt. So erhalten Sie chemisch reinen Dampf, absolut frei von Nebenprodukten oder Verschleppungen des Flüssigmediums.

Das Ergebnis: Anlagen mit DIL-Verdampfern von Brooks Instrument erlauben eine optimale Reinheit und Dampfmassedurchflussregelung.  Halbleiterabscheidungsprozesse mit Dampferzeugung schaffen dadurch den maximalen Durchsatz und erzielen höchste Wafer-Qualität. 

Module für die Dampfbereitstellung
Module für die Dampfbereitstellung
Gerätetyp DI Water Vapor Delivery Module
Unterscheidungsmerkmal

High Purity DIW Vapor Delivery

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT Digital Communications

Enhance User Interface

Verdampfungsmethode Vapor Draw
Art des Mediums DI Water
Dampfbereich

3000 sccm (DI Water) 

Heizleistung
Maximaler Druck 200 Torr
Maximale Temperatur