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Kapazitätsmanometer der Serie CMC

Hochreiner Strömungsweg für hohe Wiederholbarkeit und Stabilität
Verfügbare Modelle CMC

ie Kapazitätsmanometer der Serie CMC von Brooks Instrument liefern Ihnen zuverlässige und genaue Vakuummesswerte über einen weiten Betriebstemperaturbereich. Dank kompakter Bauform und hoher Leistungsfähigkeit können Sie Ihre vorhandenen Geräte einfach nachrüsten, wenn ein kleinformatiges Vakuummessgerät erforderlich ist.

Die verschweißte Ganzmetallausführung und die medienberührten Flächen aus Inconel® garantieren Ihnen auch bei aggressiven Prozessen einen zuverlässigen und wiederholbaren Betrieb.

Kapazitätsmanometer der Serie CMC kombinieren Präzisionskomponenten mit einem breiten temperaturkompensierten Betriebsbereich. So erhalten Sie optimale Messstabilität und die besten Nullpunkt- und Endwert-Temperaturkoeffizienten dieser Klasse.

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Datenblatt Serie CMC

Merkmale

  • Für Prozessbereiche von 10 Torr bis 1000 Torr (1,33 mBar bis 133 mBar)
  • Zwei Genauigkeitsstufen: 0,25 % oder 0,50 % des Messwerts 
  • Herausragende Leistung über einen breiten Betriebstemperaturbereich
  • 40 % kleiner als herkömmliche nicht beheizte Kapazitätsmanometer
  • verschweißte Ganzmetallausführung und medienberührte Flächen aus Inconel®

Ihre Vorteile

  • Hochpräzise Kalibrierung
  • Beste Nullpunkt- und Endwert-Temperaturkoeffizienten dieser Klasse
  • Kompaktes Design
  • Optimale Messwertwiederholbarkeit

Für welche Aufgaben Kapazitätsmanometer der CMC Serie eingesetzt werden:

  • Halbleiterfertigung
  • Dünnschichtabscheidungsprozesse – Glas-, Gewebe- und optische Beschichtungen
  • Gefriertrocknung leichtverderblicher Materialien
  • Hightech-Beschichtungen medizinischer Instrumente (chirurgische Instrumente, Zahnbohrer)
Gerätetyp
Capacitance Manometer
Unterscheidungsmerkmal

Unheated

Leistung
Temperatur
Ambient
Druckbereich

10, 20, 50, 100, 500 and 1000 Torr Full Scale

Genauigkeit

Type A = 0.25% of Reading

Type B = 0.50% of Reading

Messspanne
4 Decades
Temperatureinfluss

On Zero

0.002% FS / °C

 

On Span

0.027% FS / °C

Mechanisch
Exposed Materialien
Inconel
Zulässiger Maximaldruck
45 psia
Größe
Compact
Elektrisch
Analoge Kommunikation

0-10 Vdc (<10k Ohm load)

Digitale Kommunikation

Elektrischer Anschluss

15-Pin DSub on 6” cable

9-Pin DSub

5-Pin terminal strip

Spannungsversorgung
< 200 mW
Zertifikate und Zulassungen
EMV

CE

Directive 89/336/EEC

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

CMC
Temperatur Ambient
Druckbereich 10, 20, 50, 100, 500, 1000 Torr
Genauigkeit

±0.25% of reading

±0.50% of reading (optional)

Analoge Kommunikation 0 - 10 Vdc
Digitale Kommunikation
DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English