Kapazitätsmanometer der Serie CMC

Hochreiner Strömungsweg für hohe Wiederholbarkeit und Stabilität
Verfügbare Modelle CMC

ie Kapazitätsmanometer der Serie CMC von Brooks Instrument liefern Ihnen zuverlässige und genaue Vakuummesswerte über einen weiten Betriebstemperaturbereich. Dank kompakter Bauform und hoher Leistungsfähigkeit können Sie Ihre vorhandenen Geräte einfach nachrüsten, wenn ein kleinformatiges Vakuummessgerät erforderlich ist.

Die verschweißte Ganzmetallausführung und die medienberührten Flächen aus Inconel® garantieren Ihnen auch bei aggressiven Prozessen einen zuverlässigen und wiederholbaren Betrieb.

Kapazitätsmanometer der Serie CMC kombinieren Präzisionskomponenten mit einem breiten temperaturkompensierten Betriebsbereich. So erhalten Sie optimale Messstabilität und die besten Nullpunkt- und Endwert-Temperaturkoeffizienten dieser Klasse.

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Datenblatt Serie CMC

Merkmale

  • Für Prozessbereiche von 10 Torr bis 1000 Torr (1,33 mBar bis 133 mBar)
  • Zwei Genauigkeitsstufen: 0,25 % oder 0,50 % des Messwerts 
  • Herausragende Leistung über einen breiten Betriebstemperaturbereich
  • 40 % kleiner als herkömmliche nicht beheizte Kapazitätsmanometer
  • verschweißte Ganzmetallausführung und medienberührte Flächen aus Inconel®

Ihre Vorteile

  • Hochpräzise Kalibrierung
  • Beste Nullpunkt- und Endwert-Temperaturkoeffizienten dieser Klasse
  • Kompaktes Design
  • Optimale Messwertwiederholbarkeit

Für welche Aufgaben Kapazitätsmanometer der CMC Serie eingesetzt werden:

  • Halbleiterfertigung
  • Dünnschichtabscheidungsprozesse – Glas-, Gewebe- und optische Beschichtungen
  • Gefriertrocknung leichtverderblicher Materialien
  • Hightech-Beschichtungen medizinischer Instrumente (chirurgische Instrumente, Zahnbohrer)
{0DF4297E-595A-44FD-AF65-9A934C31ACAC}
Gerätetyp
Capacitance Manometer
{B1A08C84-A267-4F23-945B-F1A5ADBD3FB5}
Unterscheidungsmerkmal

Unheated

{C26839BD-140E-42BA-854A-0C59280A15D3}
Leistung
{5916886C-D125-4AA9-82E7-82A77FD490B8}
Temperatur
Ambient
{BDCEAC2C-5A26-44CA-9B51-EE0F6B898DD9}
Druckbereich

10, 20, 50, 100 and 1000 Torr Full Scale

{280A2B6A-8F5D-434B-AE37-1DD9E164F1C4}
Genauigkeit

Type A = 0.25% of Reading

Type B = 0.50% of Reading

{F474B181-6C3E-47D8-9152-CE6C09E7DF33}
Messspanne
4 Decades
{022E9C74-CEB5-4C37-A4C1-40B63D4B6338}
Temperatureinfluss

On Zero

0.002% FS / °C

 

On Span

0.027% FS / °C

{DA8BE2AB-1119-47C3-8E0F-ED250337BF0E}
Mechanisch
{19A71DCF-81CB-46CD-9657-9B99487CB454}
Exposed Materialien
Inconel
{A8E6AD51-9742-4D19-8150-1BD03E4F5181}
Zulässiger Maximaldruck
45 psia
{42FDCA39-1BB2-4ECB-8209-1E36F04CC65E}
Größe
Compact
{D42451F7-6334-475D-83D6-B40E1FC56F09}
Elektrisch
{90CDF7B1-B174-4717-B96F-B12D23BCE802}
Analoge Kommunikation

0-10 Vdc (<10k Ohm load)

{FB0DFCA3-2D5A-4921-9568-A3C547C07CA8}
Digitale Kommunikation

{13455EAA-890F-438F-98A6-9CD19D845BAF}
Elektrischer Anschluss

15-Pin DSub on 6” cable

9-Pin DSub

5-Pin terminal strip

{7E9A7594-928B-41E4-9C30-C34A5F686A73}
Spannungsversorgung
< 200 mW
{2A1D4FF4-7EBC-4539-8374-8FD1FC582CA2}
Zertifikate und Zulassungen
{47264937-B8AD-4FB5-AB52-3ED06FA84DD9}
EMV

CE

Directive 89/336/EEC

{DF2C7048-E381-48D2-B90B-7DC86F0941FF}
Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

CMC
Temperatur Ambient
Druckbereich 10, 20, 50, 100 and 1000 Torr Full Scale
Genauigkeit

±0.25% of reading

±0.50% of reading (optional)

Analoge Kommunikation 0 - 10 Vdc
Digitale Kommunikation
Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English Korean Romanian Russian Spanish