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Serie CMC Kapazitätsmanometer

Modelle CMC
Die Kapazitätsmanometer der Serie CMC von Brooks Instrument liefern über einen weiten Betriebstemperaturbereich zuverlässige, genaue Vakuummesswerte und stellen eine wirtschaftliche Alternative für größere unbeheizte Premiummanometer dar. Mit ihrer kompakten Bauform und bewährten Leistungsfähigkeit erleichtern sie auf ideale Weise die Nachrüstung vorhandener Geräte, wenn ein kleinformatiges Vakuummessgerät erforderlich ist.

Durch die verschweißte Ganzmetallausführung und mit den medienberührten Flächen aus Inconel® wird auch in den meisten aggressiven Prozessen ein zuverlässiger und wiederholbarer Betrieb sichergestellt. Mit der Kombination aus Präzisionskomponenten und einem breiten temperaturkompensierten Betriebsbereich liefert Brooks für optimale Messstabilität die in dieser Klasse besten Nullpunkt- und Endwerttemperaturkoeffizienten.  

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Datenblatt Serie CMC

Merkmale

  • Für Prozessbereiche von 10 Torr bis 1000 Torr (1,33 mBar bis 133 mBar)
  • Verfügbar sind zwei Genauigkeitsstufen: 0,25 % oder 0,50 % des Messwerts 
  • Herausragende Leistung über einen weitgespannten Betriebstemperaturbereich
  • 40 % kleiner als herkömmliche nicht beheizte Kapazitätsmanometer
  • verschweißte Ganzmetallausführung und medienberührte Flächen aus Inconel®

Vorteile

  • Die Präzision der optionalen Hochgenauigkeitskalibrierung entspricht der von teureren, nicht beheizten Premiummanometern.
  • Die in dieser Klasse besten Nullpunkt- und Endwerttemperaturkoeffizienten 
  • Durch raumsparendes Design lässt sich das Gerät in enge Maschinenräume einpassen.
  • Optimale Messwertwiederholbarkeit im Vergleich mit anderen Konstruktionen, die anfällig für fehlerverursachende interne Beanspruchungen sind

Anwendungen

  • Halbleiterfertigung
  • Dünnschichtabscheidungsprozesse – Glas-, Gewebe- und optische Beschichtungen
  • Gefriertrocknung leichtverderblicher Materialien
  • Hightech-Beschichtungen medizinischer Instrumente (chirurgische Instrumente, Zahnbohrer)
Gerätetyp
Capacitance Manometer
Unterscheidungsmerkmal

Unheated

Leistung
Temperatur
Ambient
Druckbereich

10, 20, 50, 100, 500 and 1000 Torr Full Scale

Genauigkeit

Type A = 0.25% of Reading

Type B = 0.50% of Reading

Messspanne
4 Decades
Temperatureinfluss

On Zero

0.002% FS / °C

 

On Span

0.02% FS / °C

Mechanisch
Exposed Materialien
Inconel
Zulässiger Maximaldruck
45 psia
Größe
Compact
Elektrisch
Analoge Kommunikation

0-10 Vdc (<10k Ohm load)

Digitale Kommunikation

Elektrischer Anschluss

15-Pin DSub on 6” cable

9-Pin DSub

5-Pin terminal strip

Spannungsversorgung
< 200 mW
Zertifikate und Zulassungen
EMV

CE

Directive 89/336/EEC

CMC
Temperatur Ambient
Druckbereich 10, 20, 50, 100, 500, 1000 Torr
Genauigkeit

±0.25% of reading

±0.50% of reading (optional)

Analoge Kommunikation 0 - 10 Vdc
Digitale Kommunikation
DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English