Kapazitätsmanometer von Brooks Instrument
Für das Ergebnis Ihres Vakuumprozesses ist das Erreichen eines präzisen Druckniveaus notwendig. Kapazitätsmanometer von Brooks Instrument bieten Ihnen genau das: Höchste Präzision für dauerhafte Vakuumgenauigkeit.
Die hochentwickelten Manometer sind nicht nur extrem zuverlässig, sie minimieren auch thermische Einflüsse und Drift. Darüber hinaus widerstehen Kapazitätsmanometer Membrankontaminationen und eignen sich so auch für schwierige Vakuumanwendungen.
In welchen Bereichen Kapazitätsmanometer eingesetzt werden:
- Halbleiterfertigung
- Dünnschichtabscheidungsprozesse – Glas-, Gewebe- und optische Beschichtungen
- Gefriertrocknung leichtverderblicher Materialien
- Hightech-Beschichtungen medizinischer Instrumente (chirurgische Instrumente, Zahnbohrer)
PRODUKTE
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| Gerätetyp | Capacitance Manometer | Capacitance Manometer |
| Unterscheidungsmerkmal |
Unheated
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Heated or Unheated Analog or Digital
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| Druckbereich |
10, 20, 50, 100 and 1000 Torr Full Scale |
0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr mBar & Pascal References Available |
| Genauigkeit |
Type A = 0.25% of Reading Type B = 0.50% of Reading |
CMX0: 0.25% of Reading CMX1, CMX2: 1 to 1000 Torr Ranges = 0.15% of Reading CMX1, CMX2: < 1 Torr Ranges = 0.25% of Reading |
| Temperatur | Ambient |
CMX0 Ambient CMX1 45°C CMX2 100°C CMX3 160°C |
| Analoge Kommunikation |
0-10 Vdc (<10k Ohm load) |
0-10 Vdc 5k Ohm load |
| Digitale Kommunikation |
— |
DeviceNet™ RS485 |
| Größe | Compact | Large |