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Produkte Halbleiterprodukte für die Elektronikfertigung Hochreine und ultrareine Gas-Massendurchflussregler für die Halbleiterindustrie Serie GF80

Serie GF80

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Merkmale

  • Langzeitnullpunktstabilität von <±0,5 % des Endwerts pro Jahr
  • Einschwingzeiten <1 Sekunde
  • Maximaler Durchfluss bis zu 300 sl/min
  • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg - Oberflächenrauigkeit Ra 0,4 µm
  • Der korrosionsbeständige Hastelloy® Sensor kann für Gase, die anfällig für thermische Zersetzung sind, bei niedrigeren Temperaturen arbeiten.
  • Kompatibel mit MultiFlo™: Sie können eine Vielzahl an Gas-Arten und Durchflusswerten mit nur einem Gerät messen
  • Beste Temperaturkoeffizient-Spezifikation seiner Klasse dank aktiver Temperaturkompensation
  • Eingebaute Selbsttestroutinen und unabhängiger Diagnose-/Serviceanschluss
  • Schlankes Gehäuse mit VCR-Verschraubungen oder Downport
  • DeviceNet™, Profibus®, RS-485- und analoge Schnittstellen

IhreVorteile

  • Keine Gasverschwendung oder Prozessschwankungen dank der schnellen Durchflusseinschwingzeit von <1 Sekunde
  • Keine Elastomerdichtungen, die wegen möglicher Sauerstoffpermeation nach gewisser Zeit auszutauschen sind
  • MultiFlo™ vereinfacht und beschleunigt den Prozessgaswechsel — Keine Demontage und Kalibrierung der Massedurchflussregler erforderlich
  • Neue Gase und/oder Bereiche lassen sich in weniger als 60 Sekunden einstellen.
  • Keine Beeinflussung der Messgenauigkeit durch Temperaturschwankungen
  • Maximale Verfügbarkeit durch komfortabel zugänglichen Diagnoseanschluss
  • Kompakte Bauform erleichtert die Integration in engen Gasversorgungsschränken; hervorragende Wahl für Nachrüstungen
  • Die Multiprotokoll-Kommunikationsschnittstelle vereinfacht die Integration in bestehende Systeme

In diesen Bereichen können Sie Massendurchflussregler der GF80 Serie einsetzen

  • Zur wirtschaftlichen Umrüstung/Nachrüstung älterer Massendurchflussregler-Versionen in generalüberholten Halbleiterprozessgeräten
  • Zur Verringerung des Massedurchflussregler-Lagerbestands in der Halbleiterfabrikation
  • In MOCVD-Verfahren für die LED- und Leistungshalbeiter-Fertigung
  • In Systemen für chemische Solar-/Dünnschicht-Gasphasenabscheidungsprozesse (CVD)
  • Als analytische OEM-Ausrüstung
{D432A024-FD6D-4D0D-8432-19B05A1CCA13}
Gerätetyp

Massedurchflussregler

{2C550224-B97F-4DE4-B757-EF5484427245}
Unterscheidungsmerkmal
High Purity
{110069DA-4E2B-4345-B267-9E451F782B73}
Leistung
{848E0FCF-F6B5-45DA-88CC-6862AE45D45F}
Durchflussbereich (Maximalwert)
3 sccm - 55 slm
{D553B057-B95A-4BA8-9193-1273F30CE5A7}
Genauigkeit

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. < 5-35%

{6C1BC7DF-C09C-486E-960C-5D599253FB34}
Wiederholbarkeit
< ±0.2% S.P.
{4ABE7CC0-99EB-4217-A4F9-64CF32C74B2F}
Linearität

±0.5% F.S. (included in accuracy)

{9DB4CDB8-E5AB-4ACB-8BC1-5E4315E62FC8}
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen: <1 sec

{9CF02FC0-2204-4093-88FA-52EBBDC7D623}
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
MultiFlo™ Available
{0FA4C489-9A52-4D5B-B79A-E149517231C9}
Druckschwankungsabhängigkeit
—
{60D5A322-228A-4D87-B2C5-475F76D32510}
Regelbereich

< 5% - 100%

{F4356269-ACF9-40D4-BBA7-B2E226BA6D85}
Anzahl der Gerätegrundgrößen

Standard GF Series: 11 bins

High Flow GF Series: 4 bins

{6E6C1666-A619-43CE-B88A-21ECF842967B}
Schleichmengen-Unterdrückung

Standard GF Series: < 1% F.S.

High Flow GF Series: < 4% of Standard Configuration F.S. @ 30psig/atm out N2 equiv.

{A1267C6A-DE3B-4D99-AB81-A8C4C4359AC0}
Nullstabilität
< ±0.5% F.S. per year
{235F1B79-9C09-4AD7-933A-5B843BCA46B2}
Mechanisch
{5F8EF69E-B337-4B75-8382-2EECDB3CA850}
Dichtungsmaterial
Metal
{CB49665F-45EB-4001-82D9-24B3458FE4B9}
Reinheitsgrad
16µ inch Ra
{5E760402-0FC0-4473-B186-A2CCF304A696}
Medienberührte Teile

316 Stainless Steel

Hastelloy C-22

17-7 PH

430SS

KM-45

{470140BD-78B7-4A06-9B68-51132A02390A}
Ventil

Normalerweise geschlossen

Zähler (kein Ventil)

{919D73CA-704D-4514-BCCE-E50118E270B7}
Kennwerte
{0B26914D-1709-4EAB-BAAD-91454FD8A3E6}
Maximale Temperatur
50oC
{43955F46-2780-4EF9-B145-8D3A2031409E}
Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-50000 sccm = 25-45 psid

51-300 slm = 30-90 psid

(typical pressure drops)

{FD782E82-4D8E-4AAC-ADBA-1A58FE7B6E01}
Maximaler Druck

Standard GF Series: 150 psig (10 bar)

High Flow GF Series: Meter = 75 psig (5 bar), Controller = 150 psig (10 bar)

{886AE7FF-B3BE-47C5-9962-81D5B4635CA1}
Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
{4ABD037A-F4A5-4EEA-9219-7054E013756F}
Diagnose und Anzeige
{121E5169-A858-436C-8DFA-A93D50333F66}
Diagnosefähigkeit
Verfügbar

{1966DF4C-7899-43C1-B47B-0D1443DEF920}
Status Leuchten
MFC Gesundheit & Netzwerkstatus
{C236791C-5D40-451A-8332-37F5BA6B3E6E}
Alarme

Control Valve Output, Network Interruption

{4052899F-02FF-442F-8AF6-ADA42B2EEF9B}
Diagnose/Service-Port

RS485 via 2.5mm jack (all models)

 

{3FC1A843-1F8D-486C-95D5-28BC775C2157}
Elektrisch
{A6BF0885-99D5-4124-9666-990B6364074E}
Analoge Kommunikation

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

{E602561E-72AC-4165-A244-E0DBFE3D5C3D}
Digitale Kommunikation

DeviceNet™ 

Profibus®

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

RS485 A-Protocol (GF081)

{D31228BC-D47E-41C3-A90C-0B9804D06221}
Elektrischer Anschluss

Profibus/Analog via 9-Pin "D" connector

RS485/Analog via 9-Pin"D" connector, 15-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

{931D6DC4-DF29-4BEC-AA66-1B27BF9836BD}
Spannungsversorgung

Standard GF Series:   RS485 from +12 Vdc to +24 Vdc = 7 Watts max

                                       Profibus from +13.5 Vdc to +27 Vdc = 7 Watts max

                                       DeviceNet™ from +11 Vdc to +25 Vdc = 13.6 Watts max

High Flow GF Series: RS485 from +12 Vdc to +24 Vdc = 3.3 Watts max

                                       Profibus from +13.5 Vdc to +27 Vdc = 3.3 Watts max

                                       DeviceNet™ from +11 Vdc to +25 Vdc = 3.3 Watts max

{5A9ACE4D-CF92-4B8C-A128-2331B6DA4BE6}
Beachtung
{8D98D6AF-A0E4-4137-83E9-1B71CC1C283E}
EMV

CE: EN6126: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

{9BABA9A5-4BE9-4EE6-AAD6-8F0E1661B294}
Einhaltung von Umweltvorschriften

Safety EN61010-1

RoHS

Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English Japanese
DeviceNet™ Supplemental Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual pdf English
RS485 A-Protocol Supplemental Manual pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual pdf English
RS485 S-Protocol Supplemental Manual pdf English

Verwenden Sie die Modellcodeinformationen aus dem Datenblatt, um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übertragen. Wenn Sie Fragen haben oder Hilfe benötigen, wenden Sie sich bitte an unsere Anwendungstechniker oder Ihren lokalen Brooks Instrument Vertreter – wir helfen Ihnen gerne.

Messgeräte-Serie  Fitting
  Anschluss
GF080  VX - 1/4” VCR

  S5 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V)15-Pin Male D (Brooks® Protocol)
Serie 0250
Serie 0250

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Serie 0260
Serie 0260

Steuert und überwacht bis zu 30 Geräte, Spannungsversorgung für bis zu 10 Geräte.

MultiFlo™ Konfigurator
MultiFlo™ Konfigurator
MultiFlo™ Konfigurator
Smart DDE
Smart DDE

Smart DDE ist eine Software für den dynamischen Datenaustausch. Sie ermöglicht bidirektionale Links zwischen Ihren Windows-basierten Anwendungen und Brooks® Geräten mit RS485-S-Protokoll.