Die neue GP200-Serie ist der erste komplett druckunempfindliche, druckbasierte Massendurchflussregler, der speziell für die anspruchsvollen Ätz- und Phasenabscheidungsprozesse in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde.
Die GP200-Serie von Brooks Instrument bewältigt extreme Schwankungen des Versorgungsdrucks und regelt dabei gleichzeitig präzise den Massendurchfluss zur Prozesskammer.
HATFIELD, Pa. (USA) 01.11.2021 — Brooks Instrument stellt auf der SEMICON Europa (16. bis 19. November in München) seinen neuen druckbasierten Massendurchflussregler (P-MFC) der Serie GP200 vor (Stand B1572).
Mit einer Prozessgasgenauigkeit von ≤ ±1 % und einer Wiederholbarkeit von ≤ ±0,15 % vom Messwert erfüllt die ultraschnelle GP200-Serie die kritischen Anforderungen für Ätzprozesse mit hohem Aspektverhältnis für TSV, MEMS und kontinuierliche Plasmaprozesse mit hohem Durchsatz.
Die GP200-Serie verwendet ein revolutionäres neues Verfahren.
Der GP200 verfügt über eine patentierte Architektur, die die Beschränkungen herkömmlicher P-MFCs überwindet. Er ist so konzipiert, dass er einen präzisen Durchfluss von Gasen mit niedrigem Dampfdruck und hohem Druck in Prozessen aufrechterhält, die im Hochvakuum über dem Atmosphärendruck arbeiten. Im Vergleich dazu benötigen herkömmliche P-MFCs hohe Versorgungsdrücke und niedrige Ausgangsdrücke, da ihre Leistung sonst schnell nachlässt. Die GP200-Serie bietet eine größere Flexibilität als herkömmliche P-MFCs und ist damit die erste universelle druckbasierte Lösung und ein Upgrade für herkömmliche P-MFCs und thermische MFCs.
Die extreme Druckunempfindlichkeit des GP200 und sein dicht schließendes Ventil („Zero-leak-by-Technologie“) machen Druckregler und -wandler überflüssig. So ermöglicht der GP200 es Entwicklungsingenieuren, das Gaspanel kleiner, weniger komplex und damit günstiger auszulegen.
Neben dem P-MFC der Serie GP200 präsentiert Brooks Instrument am Stand B1572 weitere wichtige Produkte wie Vakuum- und Druckmesssensoren, Messgeräte und Instrumente, die in Wafer-Prozessanlagen und in der Gasverteilung in Fabriken eingesetzt werden.
Das Verfahren des GP200 wird in diesem Video erläutert https://youtu.be/ZWB03A_9fo8
Über Brooks Instrument:
Seit 1946 ist Brooks Instrument führend in der Präzisionsmessung und -steuerung von Fluiden. Das Unternehmen bietet Messtechnik für Durchfluss und Druck sowie Dampferzeugung und beliefert damit Kunden in den Bereichen Pharmazie, Biopharmazie, Faseroptik, Dünnschicht, Solarzellen, LED, alternativen Energien, Öl und Gas, Chemie, Petrochemie und Halbleiterfertigung. Die breite Produktpalette umfasst Marken wie UNIT Instruments, Tylan, und Celerity.
Mit Produktions-, Vertriebs- und Servicestandorten in Nord- und Südamerika, Europa und Asien verfügt Brooks Instrument über die weltweit größte Installationsbasis von Massendurchflussreglern. Seit 2009 betreibt Brooks Instrument ein Sales- und Servicecenter in Dresden und unterstützt von dort aus Kunden im gesamten deutschsprachigen Raum.
Weitere Informationen finden Sie auch auf unserer Website www.BrooksInstrument.de oder auf LinkedIn (www.linkedin.com/company/Brooks-Instrument) und YouTube (www.youtube.com/user/Brooks407).