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  1. 高纯和超高纯压力开关与变送器

    超高纯半导体压力开关和变送器能提供久经考验的压力测量和控制仪表,提高压力控制。

  2. 超高纯压力传感器与变送器

    布鲁克斯的超高纯半导体压力转换器和变送器能使工艺过程中气体压力管控更宽广。

  3. 高纯和超高纯压力控制器

    布鲁克斯仪器的半导体压力控制技术结合了久经考验和行业领先的精度来加强工艺过程的结果。

  4. 直接真空测量

    布鲁克斯用于半导体工艺腔室的直接真空测量技术能帮助支持晶圆生产力,并减少设备的宕机时间。

  5. 半导体液体和蒸汽输送技术

    Semiconductor liquid and vapor delivery technology from Brooks use unique atomization and heat exchanger technologies for the highest purity vapor

  6. 服务和支持

    100%的布鲁克斯工厂认证的专家:请相信我们能维修,服务和校准你们的布鲁克斯质量流量控制计,流量计,压力和蒸发类产品。

  7. 高纯和超高纯气体质量流量控制器与流量计

    Semiconductor ultra-high purity mass flow controllers and meters combine a high-purity flow path and ultra-fast response times to maximize tool efficiency.

  8. 压力和真空产品

    已被验证的压力控制计,压力计和真空计为半导体和工业工艺应用提供了灵活和优质表现的产品。

  9. Terms & Conditions of Sale - Brooks Instrument GmbH

    Brooks Instrument GmbH Terms & Conditions of Sale

  10. Key Instruments – Now Part of Brooks Instrument

    访问与布鲁克斯仪器相对应的Key仪器流量计