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GF80 系列金属密封热质量流量控制器和仪表

提升价值驱动型金属密封应用的性能标准
型号 GF80 / GF81

对于许多工业和半导体加工过程,性能和成本效率同样重要。GF80 系列金属密封质量流量控制器拥有以下两个特点:设计采用与最畅销的 GF100 系列响应速度相同的传感器以及第四代 MultiFlo™ 专利技术,该产品绝对是高性价比运营的正确选择。另外,金属密封的 MFC 拥有 MultiFloTM 多气体/多量程功能所带来的全部优势,原因是可用气体方面没有限制并且由于不会发生弹性体氧渗透而提升了气体纯度,同时还由于金属密封件有效期相当长而减少了维护工作量。

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GF80 系列数据表

特点

  • 长期零点稳定性,每年变动小于满量程的 ± 0.5%
  • 1 秒内稳定
  • 满量程流速高达 300 slpm
  • 全金属密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面处理
  • 耐腐蚀 Hastelloy® 传感器可在较低温度下工作,适用于易发生热分解的气体
  • 可编程 MultiFloTM 功能 - 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求,无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
  • 通过有源温度补偿实现的一流温度系数规范
  • 内嵌式常规自检功能和独立的诊断/维护端口
  • 带有 VCR 配件的细线体设计
  • DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模拟接口

优势

  • 1 秒完成流量稳定,消除废气和过程变量影响
  • 未采用会发生氧渗透并且使用一定时间之后需要进行更换的弹性体密封件
  • MultiFloTM 精简了过程气体切换操作 — 无需再拆除并重新校准 MFC
  • 60 秒内即可完成新气体和/或量程的设定操作
  • 测量精度不受温度变化影响
  • 可轻松访问诊断端口以实现运行时间最大化
  • 规格紧凑,可轻松集成至紧张的设备空间内;设备改型的绝佳选择
  • 多协议通信接口可简化向现有系统的集成操作

应用

  • 对翻新后的半导体加工工具中的原有 MFC 进行经济高效的改型/升级
  • 减少六英寸/八英寸半导体工厂的 MFC 库存
  • 用于 LED 和功率器件生产的 MOCVD
  • 太阳能/薄膜化学气相沉积 (CVD) 系统
  • 分析用 OEM 设备
产品类型

Mass Flow Controller

区别
High Purity
性能
流量范围-满量程容量
3 sccm - 300 slm
精度

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. < 5-35%

重复性
< ±0.2% S.P.
线性

±0.5% F.S. (included in accuracy)

响应时间-常闭

Normally Closed Valve: <1 sec

多气体多量程
MultiFlo™ Available
瞬时压力波动不敏感
控制范围

< 5% - 100%

Bin的数量

Standard GF Series: 11 bins

High Flow GF Series: 4 bins

阀门关闭

Standard GF Series: < 1% F.S.

High Flow GF Series: < 4% of Standard Configuration F.S. @ 30psig/atm out N2 equiv.

零点稳定性
< ±0.5% F.S. per year
机械
密封材料
Metal
纯净等级
16µ inch Ra
接液材料

316 Stainless Steel

Hastelloy C-22

17-7 PH

430SS

KM-45

阀门

Normally Closed

Meter (no valve)

等级
最大温度
50oC
压差范围

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-50000 sccm = 25-45 psid

51-300 slm = 30-90 psid

(typical pressure drops)

最大压力

Standard GF Series: 150 psig (10 bar)

High Flow GF Series: Meter = 75 psig (5 bar), Controller = 150 psig (10 bar)

漏率
1x10-10 atm cc/sec He
诊断和显示
诊断能力
Available

状态灯
MFC Health, Network Status
报警

Control Valve Output, Network Interruption

诊断/服务端口

RS485 via 2.5mm jack (all models)

 

电气
模拟通讯

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

数字通讯

DeviceNet™ 

Profibus®

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

RS485 A-Protocol (GF081)

电气连接

Profibus/Analog via 9-Pin "D" connector

RS485/Analog via 9-Pin"D" connector, 15-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

电源-功耗

Standard GF Series:   RS485 from +12 Vdc to +24 Vdc = 7 Watts max

                                       Profibus from +13.5 Vdc to +27 Vdc = 7 Watts max

                                       DeviceNet™ from +11 Vdc to +25 Vdc = 13.6 Watts max

High Flow GF Series: RS485 from +12 Vdc to +24 Vdc = 3.3 Watts max

                                       Profibus from +13.5 Vdc to +27 Vdc = 3.3 Watts max

                                       DeviceNet™ from +11 Vdc to +25 Vdc = 3.3 Watts max

承诺
电磁兼容性

CE: EN6126: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

符合环保要求

Safety EN61010-1

RoHS

GF80 GF81
区别

High Purity

Low Flow Rate

High Purity

High Flow Rate

流量范围-满量程容量 3 sccm - 55 slm 51 - 300 slm
表面抛光 16µ inch Ra 16µ inch Ra
精度

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. 5-35%

重复性 < ± 0.2% S.P.

0.15% S.P.

响应时间-常闭

Normally Closed Valve

<1 sec

Normally Closed Valve

<1 sec

多气体多量程 MultiFlo™ Available

瞬时压力波动不敏感
诊断能力

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Control Valve Output, Network Interruption

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Control Valve Output, Network Interruption

模拟通讯

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

数字通讯

Profibus

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

 

Profibus

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

RS485 A-Protocol

DeviceNet™

 

FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 A-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 S-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
Use the model code information from the data sheet to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Controls and powers up to 4 devices
A comprehensive gas database enabling you to configure your MultiFlo™ capable MFC for thousands of gas types and ranges without removing it from the gas line.

Dynamic Data Exchange software allows user to make bi-directional links between Windows® based applications and Brooks Instrument RS485 S-Protocol devices.