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最快速、最精准的MFC

加强了拥有EtherCAT®的速度
型号 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126

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EtherCAT® GF100 Series Flyer

针对半导体工艺的完美性能

  • 嵌入式诊断利用实时以太网数据采集能力
  • 超稳定流量传感器(每年≤设定值0.15%的漂移)使低流量更精准,同时减少维修的需求
  • 改进的阀门关闭(≤bin范围的0.15%)减少阀门内漏,从而改善第一片晶圆效应
  • 新增强的抗压力瞬时波动在持续流体传输中降低了串扰流敏感度

特点

  • 每年<满量程的±0.15%的长期零点稳定性
  • 响应稳定时间: 300毫秒 - <1秒
  • 最大流量可达到300 slpm
  • 全金属密封的流体通路:可选5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度
  • 抗腐蚀的哈氏合金升温传感器在温度升高时改善了测量的重复性
  • MultiFloTM 气体和量程的可编程性—一台表,几千种气体和量程的组合,无需把MFC从管路上拆除,也不会影响精度
  • 方便的用户显示和独立的诊断/服务端口可帮助仪表安装,监测和故障排查
  • GF120 安全传输系统(SDS®)是布鲁克斯最先进的低压降质量流量控制计,用于离子注入和刻蚀工艺的负压安全传输系统的气体传输 

优势

  • 超常的性能
    • 快速反应时间改进应用效率
  • 灵活的拓扑
    • 几乎无限的网络拓扑可能
  • 简单、坚固
    • 配置,诊断以及维护
  • 负担能力
    • 标准的以太网端口

应用

  • 半导体刻蚀设备
  • 薄膜化学气相沉积系统 (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • 物理气相沉积 (PVD) 系统
  • 外延工艺系统

产品类型
区别

EtherCAT Communication

High Purity/Ultra-High Purity

Embedded Diagnostics

Ultra-stable Flow Sensor

Improved Valve Shutdown

性能
流量范围-满量程容量

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

精度

Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%

High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%

重复性
< ±0.15% S.P.
响应时间-常闭
响应时间-常开
瞬时压力波动不敏感

Specific models

多气体多量程
MultiFlo™ Standard (most models)
控制范围

Standard GF Series:  2-100%

High Flow GF Series: 5-100%

Bin的数量

Standard GF Series: 11 bins

High-Flow GF Series: 4 bins

阀门关闭

Standard GF Series: < 0.15% F.S.

High Flow GF Series: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

零点稳定性

< ±0.15% F.S. per year

温度系数

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

机械
密封材料
Metal
纯净等级

5 - 10µ inch Ra

接液材料

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

阀门
等级
最大温度
50oC
压差范围
最大压力

Standard GF Series: up to 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

漏率
1x10-10 atm cc/sec He
诊断和显示
诊断能力
状态灯

Run

Error

Power

Network Status

报警

Control Valve Output

Network Interruption

Temperature High/Low

Pressure High/Low

Power Surge/Sag

诊断/服务端口

Micro USB

显示

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

电气
模拟通讯

数字通讯

EtherCAT®

电气连接

Power via 5-pin M8 Connector, EtherCAT via twin RJ45

电源-功耗

24 Vdc, 7 Watts

(Under typical operating conditions)

GF100 GF101 GF120 GF120XSD GF120XSD GF121 GF125 GF126
区别

High Purity

High Purity

High Flow Rate

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

SDS Gas Delivery

SDS Gas Delivery

Ultra-High Purity

High Flow Rate

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response

Pressure Transient Insensitivity

High Flow Rate

流量范围-满量程容量 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

3 sccm - 55 slm 4 - 25 sccm >25 sccm - 1 slm

55 slm - 300 slm

3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

表面抛光 10µ inch Ra 10µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

精度

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

重复性 < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.
响应时间-常闭
响应时间-常开
多气体多量程 MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard
瞬时压力波动不敏感

±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike

Ability to measure inlet pressure

诊断能力
数字通讯

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

FilenameFile TypeDocuments By Language
Flyer pdf English
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF1xx pdf English
Controls and powers up to 4 devices
A comprehensive gas database enabling you to configure your MultiFlo™ capable MFC for thousands of gas types and ranges without removing it from the gas line.