5850EM 系列金属密封热质量流量控制器

经验证长期稳定,超纯洁净体系,适用于高压应用
型号 5850EM / 5851EM

5850EM 系列金属密封热质量流量控制器的性能基于广泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC,可在高洁净环境下测量和控制高压气体流量并具有经验证的稳定性。该产品的金属密封结构和电镀抛光接液表面可确保出色的流量完整性并有助于整体提升过程效率,这得益于设备无需对气体压力进行连续监测和重新调节即可保证流量稳定。

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5850EM 系列数据表

特点

  • 长期零点稳定性,每年变动小于满量程的 0.2%
  • 能够根据命令变化在 3 秒内完成设置并且过冲/下冲可忽略不计
  • 流量范围宽 - 3 sccm 至高达 30,000 slpm
  • 高压额定值 - 高达 1,500 psi
  • 可选增强型内部后处理工艺 - 5µ 英寸 Ra(平均值)
  • 可拆卸式流量传感器
  • 不受安装角度影响
  • 其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容
  • TTL 兼容型"阀关闭"和吹扫功能

优势

  • 全金属流路可确保气体纯度并降低泄漏风险
  • 在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的长期稳定性和准确性
  • 由于性能可靠,因此投资回报率出众
  • 采用可拆卸式流量传感器,因此无需对气压进行连续监测和重新调节
  • 由于模拟量仅为输入/输出,因此易于安装和保养

应用

  • 光端机
  • LED/MOCVD
  • 半导体
  • 太阳能
{3141C6E8-E1A9-438D-B5C4-D63EFAB1992A}
产品类型
Mass Flow Controller
{713B1CBC-7AC7-4571-B26E-32616A724893}
区别

Large installed base with proven long term performance

{80D240C2-0FDE-46F9-9F84-1390C806AF3F}
性能
{16DFC781-A8E5-4DF7-B59A-A7D8AD6EC46D}
流量范围-满量程容量
.06 sccm - 30,000 sccm
{F4EDA08B-FE9E-4633-9B02-1B79CAA46CD8}
精度

1% F.S. incl. linearity

1.5% F.S. incl. linearity >20 slpm

{E7F55DC5-8163-4F49-87AE-44538F4E21D0}
重复性

0.2% of rate

{80387D91-59AF-41A4-A923-069F68153DC3}
线性

±0.5% F.S. (included in accuracy)

{4643DD93-C8B4-408F-81B5-849F5D8C9F80}
响应时间-常闭

Normally Closed Valve: <3 sec

Optional: 600 msec

{DC3E88E8-CE65-4F1A-B4D3-A49224429ADD}
多气体多量程

{5BA547FE-F01D-4C7E-8C31-C2383EF04A1E}
瞬时压力波动不敏感
{2B00ACC8-97F0-4B4F-B173-E896B7E106A8}
控制范围

2-3% - 100%

{B76DA73A-A60B-429A-AF8F-1ABCDDDC23CB}
Bin的数量

N/A

{7FF3A25B-6A9F-472C-A128-D4812238D575}
阀门关闭

N/A

{9B475C49-52FB-4400-B3DD-A3E6F63E01F6}
零点稳定性
< ±0.5% F.S. per year
{1066F28B-8754-4281-9B21-C2DDB64C77AA}
机械
{1D4BD45E-5C3B-4C43-8B3B-A95C0870359B}
密封材料
Metal
{17DC294D-5BD8-4BDD-9B81-BE1988283AB7}
纯净等级

316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel

{51B2E417-C5D5-48ED-894D-9CE40119746B}
接液材料

Valve Seat: 316L, Viton® fluoroelastomers, Buna-N, Kalrez® or Teflon®

{3041890D-EFFD-4198-B5A4-B065DB876ACA}
阀门

Normally Closed, Normally Open

Meter (no valve)

{33B32B4A-2FE4-4B3F-84C1-10AB6A7FE7B1}
等级
{C8A94F7F-0EB5-4591-9E19-D9221FEF8823}
最大温度
65oC
{CF7C75B3-9B99-400F-8AA5-9084A9F3F353}
压差范围

5 - 50 psi (gas and range dependent)

{C190B420-32F2-4DC8-9822-088452814F4C}
最大压力

1500 psi

{7C1A9165-54B5-4700-B1C9-E382A7B7CACD}
漏率
1x10-10 atm cc/sec He
{4133F208-C666-415C-B6FE-F1877422381C}
诊断和显示
{97D761CA-2851-4ED0-A1CD-F42559FF6030}
诊断能力

{0162F6AA-B99D-4CB8-9AD4-A95DDA3E04C3}
状态灯
MFC Health, Network Status
{B9B24DC5-A4D2-4CBE-AD51-7E26B18618BC}
报警

Control Valve Output, Network Interruption

{AF6D6F2E-63AD-4F06-93C0-AAF8E2AC9783}
诊断/服务端口

N/A

 

{73BEBF95-6EB5-42F0-AC39-EDC8D38EC382}
电气
{69999E75-097B-4696-A63F-A89263BBA3E2}
模拟通讯

4-20 mA

0-5 Vdc

{0303F12A-37EB-420A-BF47-53D86C711922}
数字通讯

{BC195D12-9EB6-454A-86DE-F0B51AC868DE}
电气连接

15 Pin D Connector (DA-15P)

{D6A6D2FA-C38B-49FA-9514-158EAF2DFE65}
电源-功耗

Normally Closed valve: 3.25 watts

Normally Open valve: 10.5 watts

{7153A00C-56D3-4DFD-8862-3144B0058333}
承诺
{4AEEF581-7C84-4BF3-A1BF-B46966DF9571}
电磁兼容性

(89/336/EEC) per 61326

{69EA7516-24C1-40C6-BDA0-2E27979519B9}
符合环保要求

N/A

5850EM 5851EM
区别
流量范围-满量程容量

.06 sccm - 30,000 sccm

10 - 100 slpm Nitrogen
表面抛光

5 Ra internal finish (optional)

Electropolished wetted surfaces (optional)

Electropolished wetted surfaces (optional)

Enhanced process (5 Ra avg.) internal surface finish(optional)

High purity VAR 316L Stainless Steel

精度

1% F.S. including linearity

1.5% F.S. including linearity (>20 slpm)

1 % F.S. including linearity

重复性

0.25% Rate

0.2% Rate

响应时间-常闭

Normally Closed Valve

<3 sec

Normally Closed Valve

<3 sec

多气体多量程

N/A

N/A

瞬时压力波动不敏感

.008% per psi Nitrogen

0.03% per psi up to 150 psig

诊断能力

MFC Health, Network Status

MFC Health, Network Status

模拟通讯

4-20 mA

0-5 Vdc

4-20 mA

0-5 Vdc

数字通讯

N/A

 

Profibus

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

 

文件名 文件类型 文档语言
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual - 5850EM pdf English
Installation & Operation Manual - 5851EM pdf English
0250 读数应用
Controls and powers up to 4 devices