质量流量控制器和仪表

质量流量控制技术,前所未有的过程精度

为真正实现对每个过程的控制,用户必须精确测量进行中的过程 — 范围涉及馈线、仓室等每一处 — 然后利用所得到的实时信息确保过程准确按照目标执行并达到目标产率。

作为一家在液体精确测量与控制方面全球领先的企业,布鲁克斯仪器数十年来不断坚持创新热质量流量技术,推出新产品并不断提升现有系统性能以突破现有热质量流量技术在准确性、响应速度、精度和重现性方面的限制。

布鲁克斯质量流量设备在全球得到广泛应用的关键原因:

  • 拥有业内种类最齐全的产品系列可满足各种应用需求
  • 创新型 MultiFlo™ 技术可使一台设备完成气体类型和量程的切换工作并且无需从系统中拆除设备,同时还能够提升过程气体的测量准确性
  • 产品范围全面,包括弹性体密封和金属密封选件
  • 超高纯度设备,专为满足薄膜、半导体以及其他高科技行业需求而设计

关键应用

  • 热处理、切割等其他热过程
  • 半导体和 LED 生产工具
  • 薄膜淀积系统
  • 用于生物制药的生物反应器
  • 石化和化工气体和液体试验工厂
  • 吹扫气体、过程分析和分析用流量测定
Download Published MFC White Paper How to Choose a Mass Flow Controller
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  • 最宽的流量和压力适用范围
  • 长期稳定性保障设备使用价值
  • 包括经认证适用于危险区域的产品
  • 可清洗/冲洗的设备外壳
{18886FAC-2FF5-450F-8969-7D17F1954F23}
流体类型
Gas
{FF1F572E-D25F-41B7-8A12-E6D0153C9FBC}
流量范围-满量程容量
3 sccm - 2500 lpm
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精度
± 0.6% of SP
{5926F692-5544-4A73-B01B-FAD04C270B7C}
最大压力
4500 psig
{3E832D90-A88A-4F1F-A695-A417A3E4EFFA}
温度
65oC
{936BB9F8-90E4-435D-8978-2534DBC0C8A8}
输出类型
Analog & Digital
  • 适用于对湿度或氧气敏感的过程
  • 高纯度流路可最大限度降低过程污染,提高产率
  • 超快速响应能力
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流体类型
Gas
{1978A936-D391-47B0-9DD8-781560753BC4}
流量范围-满量程容量
.06 sccm - 300 slm
{A1450FED-5D83-44A4-9A36-DFB8499490BF}
精度
SP ±1%
{34182DC6-D16A-437F-8683-DC2BFDE0E72E}
最大压力
150 psig
{6CC6EE13-EA1C-4D01-A096-93E9C793477A}
温度
50oC
{3EB75C7E-C7A1-457B-917D-CFC92B29932C}
输出类型
Analog & Digital
  • 最高工作温度
  • 高精度和可重复性
  • 超高纯度结构
{8D4C6DBA-EEEC-42DC-B954-E469E88923F8}
流体类型
Gas, Vapor
{4D034DB9-C880-4604-94EE-751326470C7D}
流量范围-满量程容量

3 sccm - 10 slm

{966F2288-31A6-4FB2-A59C-8E96D9889977}
精度
SP ±1%
{14561F9A-1D52-4C64-B9CF-2F16451C4D6F}
最大压力
145 psig
{9617F8FC-A12B-4574-BA30-40FE1069F592}
温度
150oC
{9286B4B5-6608-448F-93A4-ECC445D47307}
输出类型
Analog & Digital
  • 超低流量过程可达到的最高精度
  • 内置式液体密度计
  • 同时适用于液体和气体应用的设备

 

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流体类型
Gas, Liquids
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流量范围-满量程容量

10 - 27,000 gram/hr

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精度
0.2% - 0.5% of Rate
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最大压力
4500 psi
{35273F94-A47A-4174-AD0C-694431AD18A5}
温度
65oC
{76912886-3FBE-4651-B213-E0787EE15BF8}
输出类型
Analog & Digital