Skip To Content

Pressure & Vacuum Control Instruments

혁신적인 진공 및 압력 측정 기기. 세계적인 수준의 정확성과 안정성.

산업 응용 분야의 압력 제어 방법이 궁금하십니까? 언제든지 유량을 측정할 경우에는 분명히 압력이나 진공을 측정해야 할 것입니다. 여기서 저희가 도움을 드릴 수 있습니다. 수십 년 동안 Brooks Instruments는 유량 측정 및 제어 기술을 선도해왔습니다. 현재 저희는 가장 까다로운 공정 요건을 만족하는 입증된 압력 기기 및 진공 트랜스듀서, 게이지, 컨트롤러, 레귤레이터, 커페시턴스 마노미터 포트폴리오를 포함한 정밀 유체 측정 및 제어 분야의 글로벌 리더입니다.

세계 최고의 정확성과 반복성을 갖춘 저희 진공 및 압력 제어 제품은 귀사의 공정 성과를 미세 조정하도록 도움을 드릴 수 있습니다.

저희 진공 및 압력 컨트롤러 기술은 박막 증착 시스템, 하이테크 전문 노를 포함한 반도체 OEM, 가스 캐비넷 공급업체, 진공 컨트롤러 시스템 제조사에 의해 이용됩니다. 저희 포트폴리오에는 진공부터 3000 psi까지 정교하게 압력을 측정하고 제어하는 레귤레이터와 센서가 포함되어 있습니다. 저희는 다음을 이용하여 귀사의 가스와 진공 감지 및 조절을 해결해드릴 기술을 갖추고 있습니다:

  • 가장 엄격한 가스 측정 과제를 해결할 수 있는 초고순도 압력 및 진공 트랜스듀서
  • 정확하고 비용 효과적인 로컬 측정을 위한 스테인리스강 압력 제어 게이지, 스위치 및 트랜스미터
  • 가장 까다로운 진공 공정을 제어하기 위한 업계를 선도하는 고정밀 정전용량 마노미터
Brooks Instrument SolidSense II 압력 변환기
SolidSense II® - 압력 변환기
{CF8B04E0-A6E5-48D5-8F84-09E5C1068DE7}
최대 압력
500 psig
{F2821B7C-4CE5-4773-B41D-7841E464D9CF}
온도
65°C 
{262157F8-8307-4717-9BFA-FDA3DCBAD71E}
최대 압력
4500 psia
{9323D055-7373-4A2C-BE85-632CB83C776F}
최고 온도
65°C 
{707FF7FA-586A-4973-8576-D53278DB922B}
압력 범위
100 mTorr- 1000 Torr 
{D194DD87-9B67-4022-BD9C-9263278778C4}
정확도
Reading의 0.15 - 0.2% 
{7B1ED68C-8968-44E2-AB13-C2042424D85F}
온도 범위
주위 온도 - 160 °C
{356B79A7-863B-4B19-98B0-658ACA0B847B}
압력 범위
-15 psi - 4,000 psi
{739E7747-2A7E-4788-BE13-9B3AAF0DDA27}
정확도
1% Full Scale
{D534F9F0-7A45-4293-B998-A6917B55D8D7}
구성 재료
Aluminum or Stainless Steel
{BA074B6A-485A-4CE3-A3EB-5C04C9C4F7DC}
압력 범위
-15 psi - 3000 psi 
{7157D8A9-445E-4F69-8B1E-918539254A72}
정확도
0.25 % Full Scale 
{F30150AF-2490-4CA2-A1C3-3291C494E184}
인증/승인
CE, FM 및 ATEX