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MultiFlo™ Configurator

개요

Windows™ 운영 체제용 MultiFlo™ Configurator 소프트웨어는 사용자에게 가스 라인에서 제거하지 않고 GF100 시리즈, GF40 시리즈, GF80 시리즈 및 Celerity/Unit 브랜드 질량 유량 컨트롤러에서 가스 및 범위를 재프로그래밍하는 빠르고 간단한 방법을 제공합니다

MultiFlo™ 기술은 Brooks Instrument에서 특허를 받았으며 프로세스 엔지니어에게 다음과 같은 고유한 리소스를 제공합니다.

사용하기 쉬운 MultiFlo™ Configurator 응용 프로그램은 시장에서 가장 포괄적인 가스 데이터베이스를 통해 향상된 공정 가스 정확도를 제공하므로 가장 광범위한 응용 분야에서 MultiFlo™ 지원 MFC를 사용할 수 있습니다.

MultiFlo™ 및 FloCom 데이터베이스를 처음 사용하는 경우 각 소프트웨어 패키지의 최신 버전을 다운로드하십시오. MFC에 이전 버전의 MultiFlo™ 소프트웨어 또는 FloCom 데이터베이스가 이미 설치되어 있는 경우 먼저 제거한 다음 MultiFlo™ Configurator 및/또는 FloCom 데이터베이스의 최신 버전을 설치해야 합니다.

MultiFlo™ Configurator 및 FloCom 데이터베이스의 각 새 버전에는 GF100 시리즈 및 Celerity/Unit 브랜드 장치에 대한 정확한 내용을 복사할 수 있는 변경 사항이 있을 수 있습니다. 회사에서 정확한 절차를 따르는 경우 이러한 변경 사항이 승인될 때까지 현재 승인된 버전을 계속 사용하는 것이 좋습니다. 최신 버전의 MultiFlo™ Configurator로 업데이트하지 않는 한 데이터베이스 소프트웨어를 업데이트하지 마십시오.

드라이버

대부분의 경우 MultiFlo Configurator를 설치할 때 드라이버가 자동으로 설치됩니다. 그러나 그렇지 않은 경우가 몇 가지 있습니다. 이 문제가 발생하면 아래에서 올바른 드라이버를 다운로드하십시오.

MultiFlo™ Configurator 및/또는 FloCom 데이터베이스에 대한 질문이 있는 경우 기술 서비스 또는 지역 Brooks Instrument 담당자에게 문의하여 도움을 받으십시오.

관련서류

파일 이름 파일 형식 언어별 문서
Quick Start Guide pdf English
FloCom Database db220418 - GF40 Gas Listing xls English
FloCom Database db220418 - GF1XX Gas Listing xls English

버전

MultiFlo™ Configurator Driver for GF100 EtherCAT MFCs

GF100 EtherCAT MFC의 경우 Multiflo Configurator를 사용하여 장치와 통신하는 데 마이크로 USB 진단 케이블이 사용됩니다.  일반적으로 Microsoft Windows는 드라이버를 자동으로 로드합니다.  그렇지 않은 경우 이 드라이버를 다운로드하여 설치하십시오.  드라이버를 설치하고 마이크로 USB 케이블을 연결한 다음 소프트웨어를 실행해야 합니다.

MultiFlo™ Configurator Driver for Devices Using USB 2.5mm Cable

USB-2.5mm 진단 케이블(778Z010ZZZ)을 사용하는 제품도 드라이버를 설치해야 합니다. 일반적으로 Microsoft Windows는 드라이버를 자동으로 로드합니다. 그렇지 않은 경우 이 드라이버를 다운로드하여 설치하십시오. 드라이버를 설치하고 USB 케이블을 연결한 다음 소프트웨어를 실행해야 합니다.

MultiFlo™ Configurator V5.34

버전 5.34에는 다음과 같은 새로운 기능이 포함되어 있습니다:

  • Mac ID를 128보다 크게 설정하고 MultiFlo™를 통해 Mac ID가 최대 239인 장치에 연결하는 기능
  • PC115/PC125에 대한 DNET 설정에 액세스하는 기능 및 1.5L 대 2L 장치에 대한 라벨 인쇄 수정 사항
  • 추가 생산자 및 소비자 옵션 사용 가능, DNET 구성 옵션에 대한 데이터 단위 및 데이터 유형 추가
  • 저장소 SH51-SH54인 장치를 구성하는 기능

버전 5.34에는 GF100 시리즈 및 Celerity/Unit 브랜드 장치에 대한 정확한 의미를 복사할 수 있는 변경 사항이 있습니다. 회사에서 정확한 복사 절차를 따르는 경우 이러한 변경 사항이 승인될 때까지 V5.32를 계속 사용하는 것이 좋습니다.

MultiFlo™ Configurator FloCom Database db220418

피처링:

  • 다음 가스/혼합물이 데이터베이스에 추가되었습니다. SEMI 가스 코드 124, 193, 205, 265, 304, 323, 328, 376, 401, 403, 404, 558, 588, 623, 631, 687, 1058, 5021, 5024, 5027
  • GF40 & 다음 가스/혼합물에 대한 GF100 시리즈 SA/SH Bin 테이블(40-49): SEMI 가스 코드 205, 265, 304, 403, 558, 588, 623, 631, 687, 1058, 5021
  • GF40 & 다음 가스/혼합물에 대한 GF100 시리즈 SA/SH Bin 테이블(41-49): SEMI 가스 코드 124, 323, 328, 376, 401, 404, 5024, 5027
  • 다음 가스/혼합물에 GF100 시리즈 고유량 SA/SH 빈(50-54)을 추가했습니다: SEMI 가스 코드 124, 193, 205, 265, 297, 304, 323, 328, 376, 401, 403, 404, 542, 558, 588, 623, 631, 687, 963, 1058, 5021, 5024, 5027
  • 다음 가스/혼합물에 GF100 시리즈 고유량 SH 빈(48-54)을 추가했습니다. SEMI 가스 코드 147

MultiFlo™ Configurator FloCom Database db190701

피처링:

  • 다음 가스/혼합물이 데이터베이스에 추가되었습니다. SEMI 가스 코드 267, 1053, 1054, 1055
  • GF40 & 다음 가스/혼합물에 대한 GF100 시리즈 SA/SH Bin 테이블(40-54): SEMI 가스 코드 251, 267, 1053, 1054, 1055
  • 다음 가스/혼합물에 GF100 시리즈 고유량 SA/SH 빈(49-54)을 추가했습니다. SEMI 가스 코드 22, 23, 589

MultiFlo™ Configurator FloCom Database db181213

피처링:

  • 다음 가스/혼합물이 데이터베이스에 추가되었습니다: SEMI 가스 코드 723, 817, 955, 1050, 1051, 1052, 5025
  • 다음 가스/혼합물에 GF40 및 GF100 시리즈 SA/SH Bin 테이블(40-54)을 추가했습니다. SEMI 가스 코드 723, 817, 955, 1050, 1051, 1052, 5025
  • 다음 가스/혼합물에 GF100 시리즈 고유량 SA/SH 빈(49-54)을 추가했습니다. SEMI 가스 코드 100, 701

MultiFlo™ Configurator FloCom Database db180326

피처링:

  • 다음 가스/혼합물이 데이터베이스에 추가되었습니다: SEMI 가스 코드 131, 149, 213, 310, 397, 580, 1049
  • 다음 가스/혼합물에 GF40 및 GF100 시리즈 SA/SH Bin 테이블(40-54)을 추가했습니다. SEMI 가스 코드 131, 149, 213, 310, 397, 580, 1049
  • 다음 가스/혼합물에 GF100 시리즈 고유량 SA/SH 빈(49-54)을 추가했습니다. SEMI 가스 코드 25, 27, 31, 42, 48, 69, 99, 190, 1049

MultiFlo™ Configurator FloCom Database db170725

피처링:

  • 다음 가스/혼합물이 데이터베이스에 추가되었습니다: SEMI 가스 코드 266, 393, 556, 561, 562, 564, 566, 567, 568, 569, 629, 661, 669, 720, 746, 754, 755, 756, 757, 758, 759, 760, 761, 1048
  • 다음 가스/혼합물에 GF40 및 GF100 시리즈 SA/SH Bin 테이블(40-54)을 추가했습니다. SEMI 가스 코드 266, 393, 556, 561, 562, 564, 566, 567, 568, 569, 629, 630, 641, 720, 746, 754, 755, 756, 757, 758, 759, 760, 761, 1048
  • 다음 가스/혼합물에 GF100 시리즈 고유량 SA/SH 빈(49-54)을 추가했습니다. SEMI 가스 코드 607