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제품 Pressure & Vacuum Manometers XacTorr® Series

XacTorr® Series Capacitance Manometers

드리프트와 열 영향을 최소화합니다. 진공 공정 성과를 극대화합니다.

귀사의 진공을 이용한 공정의 효율성과 성과를 극대화합니다. Brooks Instrument가 제공하는 XacTorr® 시리즈 디지털 진공 정전용량 마노미터를 선택하십시오. XacTorr® 시리즈 기기는 측정 신뢰도를 개선하고 드리프트를 최소화하며 다이어프램 오염을 방지하고 열 영향을 최소화하는 업계 최상의 기능을 통합하였습니다.

고급 Mark-IV 센서는 압력 측정에 이용되지 않는 표면이 포함되어 있어 입자와 응결 증기를 모을 수 있는 공간을 제공합니다. 이를 통해 게이지의 영점을 다시 조정할 필요를 줄이고 센서 드리프트의 위험 없이 센서 수명을 늘립니다. 또한 고속 응답 센서 옵션을 이용하여 우수한 폐쇄 루프 제어 성능을 이용할 수 있습니다.

그 결과로 반복 가능하고 효율적인 초정밀 진공 측정을 통해 챔버를 비울 때마다 깨끗하고 오염 없는 생산에 필요한 정확한 Torr를 달성할 수 있습니다.

질문?

당사의 애플리케이션 엔지니어링 전문가와 상담하십시오:

전화 +82 31 708 2591

가격 정보:

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XacTorr® 시리즈 데이터 시트

특징

  • 0.10 Torr ~ 1000 Torr 공정 범위 이용 가능
  • 여러 정확도 수준 이용 가능
  • 특허를 획득한 Mark IV 센서
  • 디지털 아키텍처는 뛰어난 정확도로 다양한 동적 범위에서 작동 가능
  • 이중 구역 온도 제어를 통해 측정 안정성과 반복성을 개선합니다
  • 수십 년 간의 디지털 보정을 통해 우수한 정확도 확인 능력을 제공
  • 지능적인 무접촉 조정
  • 독립되어 있으며 쉽게 접근 가능한 진단/서비스 포트
  • DeviceNet® 및 아날로그 통신 옵션

장점

  • 낮은 드리프트, 우수한 공정 가스 증착 보호
  • 전자기기에 관련된 수동 전위차계 및 드리프트 제거
  • 빠른 워밍업, 근접 온도 제어, 빠른 변화 대응
  • 수십 년 기간의 보정을 통해 뛰어난 정확도 확인 기간, 주위 온도 영향의 실시간 보상을 제공합니다.
  • 압력이 너무 높거나 원하는 온도에 도달하지 않은 경우 영점 조정을 할 수 없습니다
  • "실시간" 고급 문제해결과 함께 진단 포트를 통해 챔버 및 도구 매칭을 위한 장치 작동으로 동시에 모니터링과 데이터 획득을 수행할 수 있습니다.

적용

  • 반도체 제조
  • 박막 증착 공정 - 유리, 웹 및 광학 코팅
  • 부패가 발생하는 재료의 동결 건조
  • 의료기기용 하이테크 코팅(수술 기구, 치과용 드릴 등)
{E516FCA2-81B7-441B-B484-225BA0604E08}
상품 유형
정전용량 마노미터
{3ED288AF-A2E2-4C3B-83E5-EA02D412DE91}
특장점
가열 또는 비가열 
 
아날로그 또는 디지털 
 
{D9140193-6316-4718-9D61-B5724C06FFD2}
성능
{15515C69-B08F-442D-95B7-AAA376B3D5FE}
온도
CMX0 주위 온도 

CMX1 45°C 
 
CMX2 100°C 

CMX3 160°C 
{91106E3C-5444-43F8-95FC-8EB77BC5D68E}
압력 범위
0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr 
 
mBar 및 Pascal 레퍼런스 이용 가능 
{B440319F-06CE-4FBD-81AA-2A0866FF6931}
정확도
CMX0: 판독값의 0.25% 
 
CMX1, CMX2: 1 ~ 1000 Torr 범위 = 판독값의 0.15% 
 
CMX1, CMX2: < 1 Torr 범위 = 판독값의 0.25% 
{981562DA-F513-433C-80B3-0714114E5BA0}
측정 범위
40년
{7FB510EA-8E12-4C4F-B83C-24784E74BD7B}
온도 효과
0에서 

0.002% FS / °C 

범위에서 

0.02% FS / °C 
{89DED56A-2F1A-4637-B219-6970CF78D9E3}
기계적
{F53C69D8-7962-4DFE-8E20-346883B66132}
노출된 재료
Inconel® 및/또는 AISI 316L 스테인리스강
{98A62AB2-5BC8-419D-8938-9B7B0041BAD4}
압력 한계 초과
Full Scale의 17 psia 또는 125% 중 더 큰 값
{1E395057-E164-4942-B420-C5C8FFFE67A3}
크기
대형
{CB5AAAE6-4479-4211-8549-6D870762ECBB}
전기
{379C03A0-A1FA-4E4C-A10E-6A3014362B70}
아날로그 통신
0-10 Vdc 5k Ohm 부
{7991FC8A-48D6-45E1-9276-0C393B155662}
디지털 통신
DeviceNet™ 

RS485
{5D89FFEF-6533-4774-8CB6-CC03786280F6}
전기 연결
9-핀 또는 15-핀 "D" 커넥터를 통한 아날로그/RS485 

5-핀 "M12" 커넥터를 통한 DeviceNet™ 

다양한 케이블 어댑터 이용 가능. 자세한 정보는 제품 데이터시트를 참조하십시오. 
{80932000-DAD8-42F5-B452-D7E74AE8B0B3}
전원 공급/소비
CMX0 필요 전력은 200 mA @ ±15 Vdc입니다 

아날로그 모델 최초 워밍업 시 전원 입력, 일반적인 값1: CMX1 - 270 mA@±15 Vdc(±5%); CMX2 - 620 mA @ ± 15 Vdc(±5%) 

아날로그 모델 최초 정상 상태 전원 입력, 일반적인 값1:CMX1 - 175 mA @ ±15 Vdc(±5%); CMX2 - 350 mA @ ± 15 Vdc(±5%) 

DeviceNet 모델 최초 워밍업 시 전원 입력, 일반적인 값: CMX1 - 400 mA @ 24 Vdc; CMX2 - 900 mA @ 24 Vdc 

DeviceNet 모델 정상 상태 전원 입력, 일반적인 값: CMX1 - 300 mA @ 24 Vdc; CMX2 - 600 mA @ 24 Vdc 

1. 15-핀 수 Sub D 모델은 내부 릴레이 전원을 공급하기 위해 추가로 40 mA가 필요합니다(에너지 공급 시). 
{22A122DE-07A4-4276-AC89-015336A5E92C}
인증/승인
{C59A657D-9150-4945-AACD-59CAF2DCE058}
EMC
EMC Directive 89/336/EEC에 대한 완전 CE 인증 
파일 이름 파일 형식 언어별 문서
Data Sheet pdf English
Data Sheet - CMX160 pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - XacTorr® Series pdf English

다음 가이드(데이터 시트의 모델 코드 정보)를 사용하여 아래에서 사용 가능한 CAD 구성을 번역하십시오. 도움이 필요하거나 원하는 것을 찾을 수 없으면 저희에게 연락하십시오.

CAD 파일 이름 예시: CMX - 0 - T01 - 2 - 2

 모델 시리즈
 		 주문 온도

 전체 규모 범위

  전기 커넥터
 		 장착

 CMX

 0 - Ambient

 T01 - 1 Torr -

 2 - 15 Pin Male Sub D

  2 - KF 16 Flange