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ゴールデンウィーク期間 営業日ならびに休業日のお知らせ - 平素は格別のご愛顧を賜り、誠にありがとうございます。勝手ながら、4月28日(土)~4月30日(月)、5月2日(水)~5月6日(日)の期間は休業日となります。5月1日(火)は平常営業いたします。何卒ご了承くださいますようお願い申し上げます。

計測器の校正とサービス

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CELERITY、UNIT、MYKROLISなどを含むレガシーマスフローコントローラーブランドのサポート

ブルックスインスツルメントは、マスフローコントローラーとメーターの保守または交換をご提供しております。 Celerity、UNIT、Milliporeなどの従来のMFCブランドで工場認定の校正とサービスをご提供致します。 もしくは、同等の高性能Brooks Instrumentデバイスにアップグレードすることができます。 これらのデバイスは、Brooks Instrument MFC製品の幅広い製品の一部としてサポートされています。

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マスフローコントローラ 修理/置換ご依頼




お手持ちのMFC(マスフローコントローラ)の調子はいかがですか。 修理が必要なのに依頼先がわからない、お問い合わせ先がわからない。 などお困りではありませんか。

【対応可能メーカー名】

Tylan General, Mykrolis, Entegris, UNIT, Kinetics, Celerity

【対応可能シリーズ名】

FCシリーズ, TNシリーズ, IntelliFlow, 3XPシリーズ, UFCシリーズ, IFCシリーズ, GFシリーズ

【対応可能型式】

IFC125, IN3XP, 856X, 816X, 166X, IFII, 826X, 29XXM

上記メーカー・シリーズ・型式の修理は、是非弊社にご依頼ください! ブルックスインスツルメントでは、2018年6月まではサポートを継続。国内、韓国での2拠点での修理体制により、お預かり後、約2週間から6週間での対応が可能になりました。※1 また、GFシリーズは全世界で多数の置換実績があり、プロセス改善に貢献しております。 ※1 但し、機種、修理内容により納期がかかる場合がございます。

修理/オーバーホール ご依頼手順

  1. ページ下のご依頼フォームより、お申込み・お問い合わせください。
  2. STEP1(WEBお申込み)後、「汚染除去証明書」「チェックシート(修理依頼書)」をプリントアウトの上、ご記入ください。
    「汚染除去証明書」、「MFC修理依頼書」はWEBお申込み後、お送りするメールからダウンロード頂けます。
  3. 修理品と「汚染除去証明書」「チェックシート(修理依頼書)」を発送ください。
    発送先:〒136-0073 東京都江東区北砂1-4-4
    ITWジャパン株式会社 カスタマーサービス部 宛
    TEL:03-5633-7104
  4. 受入・検査(Brooks
  5. お見積書をお送りいたします(Brooks)
  6. ご発注
  7. 修理(Brooks)
    修理対応期間の目安:ご発注後、約2週間から4週間程度
    (但し、機種・修理内容により納期がかかる場合がございます。)
  8. 発送(Brooks)
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GFシリーズ又はSLAシリーズへのアップグレード

  

事実上、全ての実績のあるレガシー製品について互換品をご提供することにより、既存のプロセスの向上を実現。2009年には、Celerity、Millipore、Mykrolis、Tylan、Tylan General、UNIT Instrumentsの各デバイスを製品群に追加し、世界をリードするサーマルマスフロー製品サプライヤーになりました。

Brooks Instrumentは、既存のシステムを置き換える為のGFまたはSLAシリーズ製品を特定し、適切なソリューションを選択するためのテクニカルサポートを提供しています。

アップグレードに関しましてサポートが必要な場合は、弊社までお問い合わせください。弊社アプリケーションエンジニア、及び担当セールスが対応致します。