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ブルックスのモデルSLA7840は、圧力を制御すると同時に、流量レートを測定する高清浄メタルシール装置です。プレッシャートランスデューサのリモート信号、調整可能な一体型PID制御エレクトロニクス、コプラナー制御バルブを備え、圧力を必要なレベルで一定に保ちます。コプラナーバルブは、圧力変動に対する耐性やリークレートの低減で他のメタルシールコントローラを凌ぎ、長期的に安定したプロセスを実現できます。
アプリケーションエンジニアにお問合せ:
電話:03-5633-7100
Pressure Controller & Flow Meter
Control Mode: Downstream or Upstream
Remote Transducer
Wide Flow & Pressure Range
Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.
±1% of rate 20-100% F.S.
±0.2% F.S. < 20% F.S.
±0.2% of rate
Zero: Less than 0.035% FS per °C
Span: Less than 0.1% of Rate per °C
20:1
< 1 sec typical for a 20-100% setpoint step with max 2% overshoot.
Actual pressure response depends on system design.
Operating: 0°C to 60°C
Non-Operating: -25°C to 100°C
Fluid: 0°C to 65°C
Inboard to Outboard
1 x 10-10 atm scc/sec Helium max
32 µ inch Ra
316L Vacuum Arc Remelt (VAR)
316L
High-Alloy Ferritic Stainless Steel
External/Internal Seals: Nickel
Valve Seat: 316L Stainless Steel - standard
Normally Closed
0 - 5 Vdc
Analog via 15-Pin "D" Connector
DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector
Analog: +15 Vdc, ±5% (traditional -15 Vdc pin is ignored)
DeviceNet™: 11 - 25 Vdc
500 psig
Metal
15-Pin "D" Connector
5-Pin "M12" Connector