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年末年始休業のお知らせ - 平素は格別のご愛顧を賜り、誠にありがとうございます。勝手ながら、12月29日(土)~1月6日(日)の期間、年末年始の休業日となります。2019年度は1月7日(月)より営業を開始いたします。何卒ご了承くださいますようお願い申し上げます。

SLA7840 メタルシールプレッシャーコントローラ/フローメータ

高清浄流路、優れた繰り返し性、安定性、応答時間
モデル SLA7840

ブルックスのモデル SLA7840は、圧力を制御すると同時に、流量レートを測定する高清浄メタルシール装置です。プレッシャートランスデューサのリモート信号、調整可能な一体型PID制御エレクトロニクス、コプラナー制御バルブを備え、圧力を必要なレベルで一定に保ちます。コプラナーバルブは、圧力変動に対する耐性やリークレートの低減で他のメタルシールコントローラを凌ぎ、長期的に安定したプロセスを実現できます。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

SLA7840 データシート

特長

  • 一体型プレッシャートランスデューサ
  • 応答時間: 1秒以下
  • 0 - 3 sccmから0 – 30,000 sccmのフルスケール流量レートの幅広い測定レンジ
  • 最大圧力 500 psig
  • メタルシール流路:最大32µインチRa表面仕上げ
  • リーク率を低減するコプラナーバルブ
  • マルチガス/マルチレンジ機能を備え、1台のデバイスで最大10種類までガスキャリブレーションとガスレンジのプログラム・保存が可能
  • DeviceNet®およびアナログ通信オプション

メリット

  • 大型のコプラナーバルブ制御レンジにより、プロセスにおける圧力変動への耐性が高く、長期安定性に優れたプロセスを実現
  • オールメタル製接ガス・接液部流路で、粒子、水分、汚染が混入しないプロセスを実行
  • キャリブレーションまたはテスト用にマスフローコントローラとしても設定可能
  • 予備品在庫を削減するマルチガス/マルチレンジ機能
  • コプラナーバルブにより制御レンジが強化され、プロセス制御に必要なパーツ数を削減
  • コンパクトな省スペース型デザインで組み込みも簡単
  • デジタル通信により試運転も簡単で、システム配線を簡素化
機種

Pressure Controller & Flow Meter

特長

Control Mode: Downstream or Upstream

Remote Transducer

Wide Flow & Pressure Range

Performance
流量範囲(フルスケール容量)

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

精度

±1% of rate 20-100% F.S.

±0.2% F.S. < 20% F.S.

Repeatability

±0.2% of rate

Temperature Coefficient

Zero: Less than 0.035% FS per °C

Span: Less than 0.1% of Rate per °C

圧力レンジ
Dependent upon remote pressure transducer, maximum 500 psig.
Pressure Control Range

20:1

Response Time - NC

< 1 sec typical for a 20-100% setpoint step with max 2% overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

Ratings


最大圧力
500 psig
Temperature Range - Ambient

Operating: 0°C to 60°C

Non-Operating: -25°C to 100°C

Fluid: 0°C to 65°C

Leak Integrity

Inboard to Outboard

1 x 10-10 atm scc/sec Helium max

Mechanical
Seal Material
Metal
Level of Purity

32 µ inch Ra

Wetted Materials

316L Vacuum Arc Remelt (VAR)

316L

High-Alloy Ferritic Stainless Steel

External/Internal Seals: Nickel

Valve Seat: 316L Stainless Steel - standard

Valves

Normally Closed

Electrical
Diagnostic Capability
Available

Analog Communication

0 - 5 Vdc

デジタル通信
DeviceNet™
Electrical Connection

Analog via 15-Pin "D" Connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

Power Supply - Consumption

Analog: +15 Vdc, ±5% (traditional -15 Vdc pin is ignored)

DeviceNet™: 11 - 25 Vdc

SLA7840
流量範囲(フルスケール容量)

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq. 

Pressure Control Range

20:1

最大圧力

500 psig

Seal Material

Metal

Electrical Connection

15-Pin "D" Connector

5-Pin "M12" Connector

FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Supplemental Manual - DeviceNet™ pdf English