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製品 圧力 / 真空製品 エラストマシール SLA5800 シリーズ

SLA5800 エラストマシールプレッシャーコントローラ

圧力制御を自動化し、ドループやヒステリシスを排除
モデル SLA5810 / SLA5820 / SLA5840

SLA5800シリーズプレッシャーコントローラは、豊富なオプションと機能を備えており、圧力制御を自動化できるだけでなく、業界をリードするSLA5800シリーズマスフローコントローラ/メータと組み合わせてシングルプラットフォームを使用することにより、プロセスの一貫性の利点を生かすことができます。

SLA5800シリーズは、国際標準まで直接トレース可能な流量キャリブレーションシステムを採用した計量システムや計量法に裏打ちされた高い精度、ゼロ安定性、繰り返し性を実現します。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ：

電話：03-5633-7100

SLA 5800 データシート

特長

  • 応答時間：1秒以下
  • フルスケール流量レート 最大50 slpm
  • 最大圧力： 4500 psig
  • リモートトランスデューサを搭載したSLA5840は、圧力制御と流量測定の利点を兼ね備えている
  • 卓越したバルブテクノロジーでリークを低減し、ターンダウンを最大限に高める
  • 取り付け時の損傷を防ぐ耐久性の高いメタル製トップカバー
  • アクセスしやすい、独立した診断/サービスポート
  • DeviceNet®、Profibus®、RS-485、アナログインターフェースなど、広範囲な通信オプション

メリット

  • 従来のスプリング式ダイアフラム圧力レギュレータで起こりがちなドループやヒステリシスを排除するクローズドループ制御
  • 市場で最も幅広い圧力レンジ
  • 高速バルブ応答により、ガスパネル総コストを低減し、スループットを向上
  • 工場や現場サービス用オプションを備えた保守しやすいモジュール設計で、生産稼働時間を最大限に伸ばし、総所有コストを削減
  • フローコントローラの動作を中断することなく、ユーザーが簡単にアクセス可能で、取り付け、トラブルシューティング、診断作業を簡素化するサービスポート
  • 数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みを合理化

用途

  • 薄膜プロセス
  • 化学および石油化学の触媒研究およびパイロットプロセス
  • ラボおよび解析システム
  • 燃料電池テクノロジー
  • ライフサイエンスバイオリアクタ
製品タイプ
Pressure Controller
差別化要因
Wide Pressure Measurement & Control Range
パフォーマンス
流量範囲（フルスケール容量）
.003 - 50 lpm
精度

Pressure

±0.25% of Transducer FS (FS > 300 psia)
±0.12% of Transducer FS (FS < 300 psia)

Flow

N/A

再現性

0.20% SP

Temperature Coefficient

±0.1% of FS per °C

最高圧力

Up to 50 lpm: 1500 psia / 100 bara

Up to 10 lpm: 4500 psia / 310 bara

Pressure Control Range

Turndown 100:1 for FS from 1-50 lpm

50:1 for all other FS flows

Response Time - NC

System dependent

評価
温度レンジ
0 - 65°C (32 - 149°F)
Leak Integrity

1 x 10-9 atm cc/sec He

メカニカル
シール材
Elastomer
Valves

Normally Closed

Normally Open

Wetted Materials

316L Stainless Steel 

High Alloy Stainless Steel

Viton® fluroelastomers

Optional: Buna-N, Kalrez®, Teflon®/Kalrez®, and EPDM

Electrical
Analog Communication

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

デジタル通信

DeviceNet™

Profibus®

RS-485

Electrical Connection

DeviceNet™
1 x M12 with threaded coupling nut (B)

Profibus®
1 x 15-pin Male Sub-D
1 x 9-pin female Sub-D

RS485
1 x 15-pin Male Sub-D, (A)

Power Supply - Consumption

Analog / Profibus® / RS485

Valve Orifice > 0.032": 8 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5 Watts

Without Valve: 2 Watts

DeviceNet™

Valve Orifice > 0.032": 10 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032":  7 Watts

Without Valve: 4 Watts

Diagnostics
Diagnostic Capability

Available

Status Lights

MFC Health

Network Status

警報

Control Valve Output

Network Interruption

Diagnostic - Service Port

RS485 via 2.5mm jack

コンプライアンス
認定 / 承認

ATEX

IECEx

電磁環境適合性

EMC Directive 2004/108/EC

CE: EN61326-1: 2006

環境法令遵守

RoHS Directive (2011/65/EU)

サイズ

Medium

価格
$$$

SLA5810 SLA5820 SLA5840
製品タイプ Pressure Controller Pressure Controller Pressure Controller
差別化要因

Downstream Control

(Pressure Regulator)

Upstream Control

(Back Pressure Regulator)

Remote Transducer

Upstream or Downstream

 
流量範囲（フルスケール容量） 0.003 - 50 lpm 0.003 - 50 lpm 0.003 - 50 lpm
最高圧力 4500 psia / 310 bar 4500 psia / 310 bar 4500 psia / 310 bar
精度

Pressure

±0.25% of Transducer FS, FS >300 psia

±0.12% of Transducer FS, FS <300 psia

Pressure

±0.25% of Transducer FS, FS >300 psia

±0.12% of Transducer FS, FS <300 psia

Pressure

Dependent on Remote Transducer

Flow

±0.9% of SP (20-100% FS)

±0.18% of FS

(2-20% FS, 1-20% FS from 1 - 50 lpm)
再現性 0.20% SP 0.20% SP 0.20% SP
Response Time - NC

System Dependent

System Dependent

<1 second
Diagnostic Capability

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption
Analog Communication

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA
デジタル通信

DeviceNet™

Profibus®

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

RS-485
FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual - Revision B pdf English
Installation & Operation Manual - Revision A pdf English
Installation & Operation Manual - SLA5840, Revision B pdf English
Installation & Operation Manual - SLA5840, Revision A pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf Pressure pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - SLA5840 Pressure pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: SLA5840 - A - 1B - 1 - C - RevB

Meter Series
  Digital Communications I/O

Mechanical Connection
(Body size 0 & 1 only)

   Valve Type
 		Analog Communications I/O
 Revision Level
SLA5810
   A - None (select applicable analog I/O)
  1A - w/o adapters, 9/16” - 18 UNF
    0 - None (Sensor only)
  A - None - Digital Communications only
  RevB
SLA5820
   D - DeviceNet I/O (with 5-pin micro connector)
  1B - 1/4” tube compression
    1 - Normally closed
  B - 0-5 V / 0-5 V 15-pin D-conn  
SLA5840
   P - Profibus (2x sub-D)
  1C - 1/8” tube compression
    2 - Normally closed
   (Pressure diff. >30 psig (2 bar))
  C - 4-20 mA / 4-20 mA 15-pin D-conn
  
SLA5850
   S - RS485 (select applicable analog I/O)
  1D - 3/8” tube compression
    3 - Normally closed
   (Pressure diff. <30 psig (2 bar))
  L - 1-5 V / 1-5 V 15-pin D-conn
  
     1E - 1/4” VCR
    4 - Normally closed - high pressure
  M - 0-20 mA / 0-20 mA 15-pin D-conn
  
     1F - 1/4” VCO
    5 - Normally open
  0 - 0-10 V / 0-10 V 15-pin D-conn
  
     1G - 1/4” NPT
    1 - 0-5 V / 4-20 mA 15-pin D-conn
  
     1H - 6 mm tube compression
    2 - 0-5 V / 0-20 mA 15-pin D-conn
  
   
 *See data sheet for more options

    *See data sheet for more options
  
    (Body size 3 only)
      
     2A - Without adapters, 9/16” - 18 UNF
      
     2B - 1-1/16”-12 SAE/MS
      
     2C - 3/8” tube compression
      
     2D - 1/2” tube compression
      
   
*See data sheet for more options