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ゴールデンウィーク期間 営業日ならびに休業日のお知らせ - 平素は格別のご愛顧を賜り、誠にありがとうございます。勝手ながら、4月28日(土)~4月30日(月)、5月2日(水)~5月6日(日)の期間は休業日となります。5月1日(火)は平常営業いたします。何卒ご了承くださいますようお願い申し上げます。

XacTorr® シリーズキャパシタンスマノメーター

ドリフトと熱による影響を最小限に抑え、 真空プロセスの効果を最大限に向上
モデル CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3

真空プロセスの効率性と性能を最大限に高めたいなら、ブルックスインスツルメントのXacTorr®シリーズデジタル真空キャパシタンスマノメーターをお選びください。XacTorr®シリーズデバイスは、高い信頼性の測定を実現する業界トップの機能を搭載。ドリフトを削減し、ダイアフラム耐汚染性を向上するとともに、熱による影響を最小限に抑えます。

先進的なMark-IVセンサの表面積の一部は、圧力測定に使用されず、粒子や凝縮蒸気が堆積します。ゲージのゼロ調整の必要がないため、センサドリフトのリスクが生じず、同時にセンサの耐用年数を伸ばすことができます。また、オプションで優れたクローズドループ制御性能を備えた高速応答センサも用意しています。

その結果、 超高精度で、繰り返し性と効率性の高い真空測定が可能になります。チャンバを排気(真空化)するごとに、クリーンで汚染フリーの生成を行うプロセスに必要なTorrを実現できます。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

XacTorr® シリーズ データシート

特長

  • 0.10 Torrから1000 Torrまでのプロセスレンジに対応
  • さまざまな精度レベルに対応
  • 特許取得済みMark IVセンサ
  • 超高精度で、幅広いダイナミックレンジによる操作を実現するデジタルアーキテクチャー
  • デュアルゾーン温度コントロールにより、測定の安定性と繰り返し性を向上
  • 長期安定のデジタルキャリブレーションにより、常に信頼性の高い精度を維持
  • インテリタッチのゼロ調整
  • アクセスしやすい、独立した診断/サービスポート
  • DeviceNet®およびアナログ通信オプション

メリット

  • ドリフトを低減し、プロセスガスの沈着を防ぐ
  • 電子部品に伴う手動のポテンショメータやドリフトを排除
  • 高速起動、厳密な温度制御、変更に対する高速応答
  • 長期安定のデジタルキャリブレーションにより、確実に高い精度を維持し、リアルタイムで周囲温度変化を補償
  • 圧力が高すぎる、または設定した温度に達しない場合、ゼロ合わせ(ゼロ点調整)を回避
  • 診断ポートにより、デバイスの運転と同時にチャンバとツールマッチングの監視とデータ取得を行い、リアルタイムで高度なトラブルシューティングを実行できます。

用途

  • 超電導体製造
  • 薄膜蒸着プロセス - ガラス、ウェブ、光学被膜
  • 生鮮素材のフリーズドライ
  • 医療機器のハイテクコーティング(外科手術器具、歯科用ドリルなど)
機種
Capacitance Manometer
Differentiator

Heated or Unheated

Analog or Digital

 

Performance
温度

CMX0 Ambient

CMX1 45°C

CMX2 100°C

CMX3 160°C

圧力レンジ

0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr

mBar & Pascal References Available

精度

CMX0: 0.25% of Reading

CMX1, CMX2: 1 to 1000 Torr Ranges = 0.15% of Reading

CMX1, CMX2: < 1 Torr Ranges = 0.25% of Reading

Measurement Range
4 Decades
Temperature Effect

On Zero

0.002% FS / °C

 

On Span

0.02% FS / °C

Mechanical
Exposed Materials
Inconel® and/or AISI 316L Stainless Steel
Over Pressure Limit
17 psia or 125% of Full Scale, whichever is greater
サイズ
Large
Electrical
Analog Communication
0-10 Vdc 5k Ohm load
デジタル通信

DeviceNet™

RS485

Electrical Connection

Analog/RS485 via 9-Pin or 15-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Various cable adaptors available. See product data sheet for more information.

Power Supply - Consumption

CMX0 power required is 200 mA @ ±15 Vdc

Power Input at Initial Warm-up Analog Models, Typical Values1: CMX1 - 270 mA@±15 Vdc (±5%); CMX2 - 620 mA @ ± 15 Vdc (±5%)

Power Input at Steady State Analog Models, Typical Values1:CMX1 - 175 mA @ ±15 Vdc (±5%);     CMX2 - 350 mA @ ± 15 Vdc (±5%)

Power Input at Initial Warm-up DeviceNet Models, Typical Values: CMX1 - 400 mA @ 24 Vdc;        CMX2 - 900 mA @ 24 Vdc

Power Input at Steady State DeviceNet Models, Typical Values: CMX1 - 300 mA @ 24 Vdc               CMX2 - 600 mA @ 24 Vdc

1. 15-Pin Male Sub D Model requires an additional 40 mA to power the internal relays (if energized).

認定 / 承認
EMC
Fully CE Certified to EMC Directive 89/336/EEC
CMX0 CMX1 CMX2 CMX3
温度 Ambient 45oC 100oC 160oC
圧力レンジ 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr 0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr 0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr
精度

0.25% of Reading

0.15% of Reading

1 - 1000 Torr Ranges

 

0.25% of Reading

<1 Torr Ranges

0.15% of Reading

1 - 1000 Torr Ranges

 

0.25% of Reading

<1 Torr Ranges

0.50% of Reading

1000 Torr Ranges

 

0.25% of Reading

10 - 100 Torr Ranges

 

0.35% of Reading

1 - 2 Torr Ranges

 

Analog Communication

0 - 10 Vdc

RS485

0 - 10 Vdc

RS485

0 - 10 Vdc

RS485

0 - 10 Vdc

RS485

デジタル通信

RS485

DeviceNet

RS485

DeviceNet

RS485

DeviceNet

RS485

DeviceNet

FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Data Sheet - CMX160 pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Supplemental Manual - DeviceNet™ pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English
GUIソフトウェアを使用することにより、ツールの通信を中断せずに、独立してキャパシタンスマノメーターと通信することができます。キャパシタンスマノメーターの操作と並行して、チャンバとツールマシンの監視とデータ取得を行いながら、リアルタイムで高度なトラブルシューティングを実行します。