圧力 / 真空製品

革新的な圧力・真空測定機器で、世界クラスの精度と信頼性を実現

流量測定の際は、同時に圧力/真空の測定も必要になります。そんな時は、ブルックスインスツルメントにお任せください。数十年に渡り、ブルックスインスツルメントは流量測定と制御テクノロジーをリードしてきました。現在、圧力/真空ゲージ、トランスデューサ、コントローラ、レギュレータ、キャパシタンスマノメータを含む精密流体測定と制御における世界のリーダーとして、厳しいプロセス要件に対応する製品を提供しています。

世界クラスの精度と再現性を備え、ブルックスインスツルメント「圧力/真空製品」はお客様のプロセス向上を支援しています。

当社の圧力および真空テクノロジーは、薄膜蒸着システムやハイテク専用ファーネスを含む半導体OEM、ガスキャビネットサプライヤー、真空システムメーカーに採用されています。真空から3000 psiまでの圧力を精密に測定・制御するレギュレータとセンサを含め、豊富なポートフォリオを用意。また、ガスや真空の検出と調節における課題を解決するテクノロジーを備えています。

  • 最も厳しいガス測定の課題に対応する高清浄プレッシャートランスデューサ
  • 正確でコスト効率の高いローカル測定を行うステンレス製圧力ゲージ、スイッチ、トランスミッタ
  • 最もクリティカルな真空プロセスを制御する業界トップの高精度キャパシタンスマノメータ
Brooks SolidSense II プレッシャートランスデューサ
SolidSense II® - プレッシャートランスデューサ
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圧力レンジ
-15 psi - 4,000 psi
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精度
1% Full Scale
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構造材質
Aluminum or Stainless Steel
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圧力レンジ

-15 psi - 3000 psi

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精度

0.25 % Full Scale

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認定 / 承認
CE, FM and ATEX
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最高圧力
4500 psia
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最高気温
65°C
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最高圧力
500 psig
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温度
65°C
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圧力レンジ

100 mTorr- 1000 Torr

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精度

0.15 - 0.2% of Reading

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温度レンジ
Ambient - 160 oC