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GF80 シリーズ メタルシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ

価値重視のメタルシールアプリケーションの性能基準を向上します。
モデル GF80 / GF81

工業および半導体プロセスでは、性能とコスト効率が不可欠です。GF80 シリーズメタルシールマスフローコントロラ/メータの特長:ブルックスのベストセラー、GF シリーズと同様の高速応答センサと特許取得済みの第4世代MultiFlo™ テクノロジーを搭載し、低価格なプライスポイントで高性能が求められる作業に最適です。メタルシールMFC に移行すると、使用可能なガスに限度がないため、MultiFlo™ マルチガス/マルチレンジ機能のメリットを最大限に活かすことができます。エラストマによる透過酸素を防ぐことによってガスの清浄度を向上し、メタルシールが永久的に継続するので、メンテナンス回数を減らすことができます。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

GF80 シリーズ データシート

特長

  • 長期的なゼロ点安定性:0.5%フルスケール/年以下
  • セトリングタイム 1秒以下
  • フルスケール流量レート 最大300 slpm
  • オールメタル製シール流路:16µインチRa表面仕上げ
  • 耐腐食ハステロイ® 製センサは、熱変性しやすいガスに適した低温で動作可能
  • 設定可能なMultiFlo™ 機能- ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、1台のデバイスで数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポート
  • 有効な温度補償により、クラス最高の温度係数仕様を実現
  • 自己診断ルーチンと独立した診断用サービスポートを搭載
  • VCR継手でスリムなボディ幅
  • DeviceNet™、Profibus®、RS-485、アナログインターフェース

メリット

  • 1秒以下の高速流量セトリングタイムにより、ガスの無駄を省き、プロセスの変動性を解消
  • 酸素を透過し、経時で交換が必要なエラストマシールを使用しない
  • MultiFlo™ は、MFC の取り外しやキャリブレーションが必要なく、プロセスガスの切り替えを簡素化し、合理化
  • 新しいガスおよび/またはレンジを60秒以下で設定可能
  • 温度の変動に影響されない測定精度
  • 診断ポートに簡単アクセスして、生産稼働時間を最大限に向上
  • 狭小なマシンスペースにも容易に組み込めるコンパクトサイズで、改良に最適
  • 数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みを合理化

用途

  • 新しい半導体プロセスツールで レガシーMFCのコスト効率の高い改良/アップグレード
  • 6インチ/8インチの半導体工場におけるMFCの在庫を削減
  • LEDおよび電源デバイス製造向けMOCVD
  • ソーラー/薄膜化学蒸着(CVD)システム
  • 解析OEM設備
機種

Mass Flow Controller

特長
High Purity
Performance
流量範囲(フルスケール容量)
3 sccm - 300 slm
精度

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. < 5-35%

Repeatability
< ±0.2% S.P.
Linearity

±0.5% F.S. (included in accuracy)

Response Time - NC

Normally Closed Valve: <1 sec

Multi-Gas Multi-Range
MultiFlo™ Available
Pressure Insensitivity
Control Range

< 5% - 100%

Number of Bins

Standard GF Series: 11 bins

High Flow GF Series: 4 bins

Valve Shut Down

Standard GF Series: < 1% F.S.

High Flow GF Series: < 4% of Standard Configuration F.S. @ 30psig/atm out N2 equiv.

Zero Stability
< ±0.5% F.S. per year
Mechanical
Seal Material
Metal
Level of Purity
16µ inch Ra
Wetted Materials

316 Stainless Steel

Hastelloy C-22

17-7 PH

430SS

KM-45

Valves

Normally Closed

Meter (no valve)

Ratings
最大温度
50oC
Differential Pressure Range

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-50000 sccm = 25-45 psid

51-300 slm = 30-90 psid

(typical pressure drops)

最大圧力

Standard GF Series: 150 psig (10 bar)

High Flow GF Series: Meter = 75 psig (5 bar), Controller = 150 psig (10 bar)

Leak Integrity
1x10-10 atm cc/sec He
Diagnostics and Display
Diagnostic Capability
Available

Status Lights
MFC Health, Network Status
Alarms

Control Valve Output, Network Interruption

Diagnostic - Service Port

RS485 via 2.5mm jack (all models)

 

Electrical
Analog Communication

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

デジタル通信

DeviceNet™ 

Profibus®

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

RS485 A-Protocol (GF081)

Electrical Connection

Profibus/Analog via 9-Pin "D" connector

RS485/Analog via 9-Pin"D" connector, 15-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Power Supply - Consumption

Standard GF Series:   RS485 from +12 Vdc to +24 Vdc = 7 Watts max

                                       Profibus from +13.5 Vdc to +27 Vdc = 7 Watts max

                                       DeviceNet™ from +11 Vdc to +25 Vdc = 13.6 Watts max

High Flow GF Series: RS485 from +12 Vdc to +24 Vdc = 3.3 Watts max

                                       Profibus from +13.5 Vdc to +27 Vdc = 3.3 Watts max

                                       DeviceNet™ from +11 Vdc to +25 Vdc = 3.3 Watts max

Compliance
電磁環境適合性

CE: EN6126: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

環境法令遵守

Safety EN61010-1

RoHS

GF80 GF81
特長

High Purity

Low Flow Rate

High Purity

High Flow Rate

流量範囲(フルスケール容量) 3 sccm - 55 slm 51 - 300 slm
Surface Finish 16µ inch Ra 16µ inch Ra
精度

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. 5-35%

Repeatability < ± 0.2% S.P.

0.15% S.P.

Response Time - NC

Normally Closed Valve

<1 sec

Normally Closed Valve

<1 sec

Multi-Gas Multi-Range MultiFlo™ Available

Pressure Insensitivity
Diagnostic Capability

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Control Valve Output, Network Interruption

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Control Valve Output, Network Interruption

Analog Communication

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

デジタル通信

Profibus

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

 

Profibus

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

RS485 A-Protocol

DeviceNet™

 

FilenameFile TypeDocuments By Language
mass-flow-controller-data-sheet-GF80-GF81 pdf Japanese English
mass-flow-controller-installation-manual-GF80-GF81 pdf Japanese English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 A-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 S-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

4デバイスまでのコントロールと権限

30デバイスまで制御および監視、10デバイスにパワーアップ。
MultiFlo™テクノロジーは、ブルックスインスツルメントによって特許取得された技術で、プロセスエンジニアに独自のリソースを提供します。総合的なガスデータベースは、様々なガスの熱的および物理的特性の違いを 補正する関数を確立するための数千もの実ガステストに基づいて構築されています。

Smart DDEは、ブルックスインスツルメントのDDE(Dynamic Data Exchange)ソフトウェア製品です。WindowsベースのアプリケーションとBrooks® GF40、GF80、SLA、Sシリーズのマスフローおよび圧力製品、0254セカンダリエレクロにクスデバイスを双方向でリンクさせることができます。