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ホーム 製品 マスフローコントローラ メタルシールサーマル式 GF125 シリーズ

GF125 シリーズ メタルシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ

すべてを可能にするMFC
モデル GF125 / GF126

超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えたGF125 シリーズは、第二世代の多変量計測、PTI（圧力変動耐性）メタルシールマスフローコントローラです。PTIマスフローコントローラテクノロジーを他社に先駆けて商品化したもので、圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo™ テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。

その結果、 収率と生産性を最大限に拡張する業界最高のPTI性能とともに、各ポイントの圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェア設置の必要性を減らすことにより、ガスパネルのサイズとコストを縮小します。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ：

電話：03-5633-7100

GF125 シリーズ データシート

特長

  • 長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下
  • 超高速セトリングタイム：300 ms - 700 ms以下
  • フルスケール流量レート 最大300 slpm
  • 超高清浄度流路 - 4µ インチRa表面仕上げ
  • SEMI F20準拠接ガス･接液部材質
  • 高速ARMプロセッサを搭載した耐腐食ハステロイ® 製T-Riseセンサ
  • 非ダイアフラム高速動作バルブアセンブリは、圧力の変動に影響を受けず、700万回を超えるサイクルテストで故障なし
  • MultiFlo™ テクノロジーは、比類なき柔軟性を提供 - ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、1台のデバイスで数千種類ものガスタイプと流量レンジを設定可能
  • 流量、温度、圧力、ネットワークアドレスを示すローカル表示で、ガス供給や遮断バルブの問題を容易にトラブルシューティング可能
  • DeviceNet™ 、RS-485 L-Protocol、アナログインターフェース

メリット

  • ブルックスの特許取得済み流量センサテクノロジーと非ダイアフラム高速動作バルブアセンブリの組み合わせにより、GF125 シリーズは、他のマスフローコントローラと比較すると、最大3倍の高速応答性とセトリングタイムを実現
  • 最適化された接ガス･接液部流路でドライダウンを改善
  • MultiFlo™ により、最適なプロセスおよび在庫の柔軟性を確保するため、精度、ターンダウン、バルブリーク性能に影響を与えることなく、MFCフルスケール流量範囲を約1/3まで変更可能
  • 大規模なガスデータベースにより幅広いプロセスガスをカバー
  • PTI（圧力変動耐性）機能は、入口圧力の小さな変動に過敏に反応する従来のMFCの限界を克服することができます。その結果、安定した性能と予測可能な精度を実現します。
  • デバイスの取り付け、監視、トラブルシューティングが簡単に行える、便利なユーザー表示と独立した診断/サービスポート

主な用途

  • 半導体
  • MOCVD
  • 高清浄オールメタル流路が必要なガス流量制御アプリケーション

便利なサービスポート

  • 診断とトラブルシューティングが容易
  • 独立したツールの通信系

ユーザーインターフェース

  • 取り付け、起動、操作が容易

機械的に連結したバルブ

  • 耐腐食性オールメタルバルブ
  • 圧力の変動に影響を受けない非ダイアフラム設計
  • 高パージレート機能
  • 400万回を超えるサイクル テストで故障なし

圧力センサ

  • 供給圧の変動や不安定に関らず流量を安定制御

第二世代T-Riseセンサ

  • 高い長期安定性（±0.5% F.S./年以下）
  • 改善されたS/N比
  • 高パージレート機能
  • 熱変性しやすいガスに適した低温動作

温度センサ

  • 仕様温度範囲全域における精密な流量と温度計測を実現
  • 周囲温度変化のリアルタイム補償で正確なガス化学プロセス制御を実現
    • 機種

    Mass Flow Controller

    特長

    Ultra-High Purity

    Ultra-Fast Response Time

    Pressure Transient Insensitivity

    Performance
    流量範囲（フルスケール容量）

    3 sccm - 300 slm

    精度

    ±1% S.P. > 35-100%

    ±0.35% F. S. 2-35%

    Repeatability
    < ±0.15% S.P.
    Linearity

    ±0.5% F.S. (included in accuracy)

    Response Time - NC

    300ms - < 1 sec

    Response Time - NO

    Normally Open Valve: <1.5 sec

    (specific models only)

    Multi-Gas Multi-Range
    MultiFlo™ Standard (most models)
    Pressure Insensitivity

    <5% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike

    Control Range

    < 5 - 100%

    Number of Bins

    Standard GF Series: 11 bins

    High Flow GF Series: 4 bins

    Valve Shut Down

    < 2% F.S.

    Zero Stability
    < ±0.5% F.S. per year
    Temperature Coefficient

    Span: 0.05% S.P. per °C

    Zero: 0.005% F.S. per °C

    Mechanical
    Seal Material

    Metal

    Level of Purity
    4 - 5µ inch Ra
    Wetted Materials

    SEMI F20 HP Compliant

    316L VIM/VAR

    Hastelloy C-22

    316L Stainless Steel

    304 Stainless Steel

    KM-45

    Valves

    Normally Closed

    Normally Open (specific models)

    Meter (no valve)

    Ratings
    最大温度
    50oC
    Differential Pressure Range

    3-860 sccm = 7-45 psid

    861 - 7200 sccm = 10 - 45 psid

    7201 - 55000 sccm = 15 - 45 psid

    51 - 300 slm = 30 - 90 psid

    *Typical pressure drops. Contacts Brooks Technical Support for more information.

    最大圧力

    Standard GF Series: 100 psia max

    High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

    Leak Integrity
    1x10-10 atm cc/sec He
    Diagnostics and Display
    Diagnostic Capability
    Available

    Status Lights

    MFC Health

    Network Status

    Alarms

    Control Valve Output

    Network Interruption

    Diagnostic - Service Port

    RS485 via 2.5mm jack (all models)

    Display

    Top Mount Integrated LCD

    Viewing Angle: Fixed

    Viewing Distance: 10 feet

    Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

    Resolution: 0.1 (unit)

    Electrical
    Analog Communication

    0-5 Vdc

    デジタル通信

    DeviceNet™

    RS485 L-Protocol

    Electrical Connection

    Analog/RS485 via 9-Pin "D" connector

    DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

    Various cable adaptors available. See product data sheet for more information.

    Power Supply - Consumption

    Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)

    DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc

    (Under typical operating conditions)

    Compliance
    電磁環境適合性

    EC Directive 2004/108/EC

    CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

    環境法令遵守

    RoHS Directive (2011/65/EU)

    REACH Directive EC 1907/2006

    GF125 GF126
    特長

    Ultra-High Purity

    Ultra-Fast Response Time

    Pressure Transient Insensitivity

    High Flow Rate
    流量範囲（フルスケール容量） 3 sccm - 55 slm

    55 slm - 300 slm
    Surface Finish 4µ inch Ra 4µ inch Ra
    精度

    ±1% S.P. > 35-100%

    ±0.35% F.S. 2-35%

    ±1% S.P. > 35-100%

    ±0.35% F.S. 2-35%
    Repeatability < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.
    Response Time - NC

    Normally Closed Valve

    300ms (3-860 sccm N2 Eq.)

    400ms (861-7200 sccm N2 Eq.)

    500ms (7201-30000 sccm N2 Eq.)

    <700ms (30001-55000 sccm N2 Eq.)

     

    Normally Closed Valve

    <1 sec

     
    Response Time - NO

    Normally Open Valve

    <1.5 sec

    Normally Open Valve

    —
    Multi-Gas Multi-Range MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard
    Pressure Insensitivity

    ±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike

    Ability to measure inlet pressure
    Diagnostic Capability

    Status Lights - MFC Health, Network Status

    Alarms - Control Valve Output, Network Interruption

    Status Lights: MFC Health & Network Status

    Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
    Analog Communication

    0-5 Vdc

    0-5 Vdc
    デジタル通信

    RS485 L Protocol

    DeviceNet™

    RS485 L Protocol

    DeviceNet™

     
    FilenameFile TypeDocuments By Language
    データシート- GF125 pdf Japanese English
    Data Sheet - GF126 pdf English
    Installation & Operation Manual pdf English
    DeviceNet™ Supplemental Manual - GF100 Series pdf English
    RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 Series pdf English

    Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

    Example: GF125 - WX (Fitting) - GX (Connector) - STEP

    Model Series
    		 Fitting Connector File Type
     GF1xx AS - 1-1/2” body width, 92 mm 0.440” large bore C Seal (only for bins SH45-SH50) BX - Cable adapter to 15 pin D Brooks (Unit “B”,”N”) adapts G1 base  STEP
      CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal
    		 *DX - DeviceNet™ 5 pin micro  
      VX - 1-1/2” body width, 124mm 1/4” VCR male EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks (Unit”E”; IN “L”, “R”) adapts GX base  
      WX - 1-1/8” body width, 92mm W Seal GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”); display and overlay 180 degree orientation  
        G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)  
        SX - 9 pin D with STEC pin-out (w/VTP) (Unit”S”,”Q”)  
    0250 シリーズ

    4デバイスまでのコントロールと権限

    MultiFlo™コンフィギュレータ
    MultiFlo™テクノロジーは、ブルックスインスツルメントによって特許取得された技術で、プロセスエンジニアに独自のリソースを提供します。総合的なガスデータベースは、様々なガスの熱的および物理的特性の違いを 補正する関数を確立するための数千もの実ガステストに基づいて構築されています。