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製品 マスフローコントローラ メタルシールサーマル式 最速かつ超精密なマスフローコントローラ
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最速かつ超精密なマスフローコントローラ

速度機能強化された EtherCAT®
モデル GF100 / GF101 / GF120 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126


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EtherCAT® GF100 Series Flyer

半導体プロセス向けの最適なパフォーマンス

  • リアルタイムの診断力が埋め込まれた、EtherCAT® データ収集機能
  • 超安定性のあるフローセンサ (セットポイントの≤ 0.15%、1年ごとに)により、 低いセットポイントにおける精度が上がり、メンテナンスの要求度も低減されます
  • バルブシャットダウンを改良し (ビンレンジの≤ 0.15%)、ファーストウエハエフェクトを低減させるため、バルブリークバイを減らしました
  • 新たに強化された圧力変動耐性(PTI)により、クロストークの感度が減り、一貫したマスフロー供給が実施されます

特徴

  • 長期間のゼロ点安定性、±0.15% F.S./年以下
  • 応答速度: 300 ms から1 second以下
  • 流量レートのフルスケールは、300 slpmまで
  • 接ガス部は全て金属: 最大0.125µ もしくは 0.25µm Ra 表面仕上げがオプションであります
  • 高耐腐食性ハステロイT-Riseセンサにより、高温下における温度再現性の向上 
  • MultiFloTM ガス、レンジ変更機能: ガスラインからMFCを取り外すことなく、また精度を損なうことなく、一つのデバイスで数千種類もの異なるガスと流量に設定可能
  • 使いやすいユーザーディスプレイ及び独立した診断/サービスポートより、機器の取り付け、モニタリング及びトラブルシュートの手助けになります
  • GF120 Safe Delivery System (SDS®) は、インプラントやエッチングプロセスで使用される大気圧以下のSDSガス供給用の、ブルックスの最高技術による低圧力損失マスフローコントローラです。

利点

  • 非常に優れたパフォーマンス
    • 素早い反応時間により改善されたアプリケーションの効率性
  • フレキシブルな接続形態
    • 実質的に制限の無いネットワーク接続形態
  • 簡単で頑丈
    • コンフィグレーション、診断及びメンテナンス
  • 値ごろ感
    • 標準のイーサネットポート

用途

  • 半導体エッチ装置
  • CVD, MOCVD, PECVD, ALD装置
  • PVD装置
  • エピタキシャルプロセス装置

{DEBCCA8D-7434-4BA7-B54F-92D4EDC04A75}
製品タイプ

Mass Flow Controller

{8B89F14C-B912-4424-BCC5-AA95C46D59C6}
差別化要因

EtherCAT Communication

High Purity/Ultra-High Purity

Embedded Diagnostics

Ultra-stable Flow Sensor

Improved Valve Shutdown

{FFBE3C7F-0139-4CBE-AF94-74D8A0B30009}
パフォーマンス
{98B3C086-0985-4066-807F-25A2E7C53EEB}
流量範囲（フルスケール容量）

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

{057BC068-8AB8-4BD6-A8B3-CD29145D4DF9}
精度

Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%

High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%

{5B41E208-F4F0-4FC0-9111-CD17A8732770}
再現性
< ±0.15% S.P.
{DD758BDD-DC5E-4D81-B070-C51FEA9BEA18}
レスポンスタイム

Normally Closed Valve: 300 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

{2F1BACB2-A180-49D2-B83D-EF895EA85224}
Response Time - NO

Normally Open Valve: <1.5 sec (specific models)

{D301F211-A735-4E4E-B229-495A16152C83}
供給圧力変動耐性/背圧変動耐性 (安定時)

Specific models

{B0847CB2-612D-47B5-AF00-D9D3CB8DAD32}
マルチガス　　マルチレンジ
MultiFlo™ Standard (most models)
{1374FB78-7FB7-4CFF-A118-5F0CAD7B25A1}
Control Range

Standard GF Series:  2-100%

High Flow GF Series: 5-100%

{0C2AFBD5-F1CD-48C0-8FC4-5216C27FF550}
Number of Bins

Standard GF Series: 11 bins

High-Flow GF Series: 4 bins

{C7BE52FB-B8E6-44DC-BEFB-DCF0FBE99991}
Valve Shut Down

Standard GF Series: < 0.15% F.S.

High Flow GF Series: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

{3F92A104-D508-4775-8D9D-7E7DCE62EDD9}
Zero Stability

< ±0.15% F.S. per year

{60452C9A-BF36-444D-93A6-CCEE2F21D1C1}
Temperature Coefficient

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

{BCC7C7BB-C17C-4AA7-9ADD-61780C3EE5F4}
メカニカル
{0958A6A9-71D6-4F26-9137-91EDC4625EA5}
シール材
Metal
{03131EF2-B3E3-48A2-99D2-FA45A35FF3E3}
表面仕上げ

5 - 10µ inch Ra

{87A68973-BB8F-487E-855A-69FEA4FFFF66}
Wetted Materials

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

{8FC7632B-8368-41BD-826E-B464E8A5E0BC}
Valves

Normally Closed

Normally Open (specific models only)

Meter (no valve)

{94F70132-F545-4627-9AE6-23B21068029A}
評価
{8B312DB0-CCA6-4685-AF36-F91260857AE9}
最高気温
50oC
{80BBEAF4-4D4F-49A0-8C75-7199B4A700A8}
Differential Pressure Range

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 10-45 psid

7201-55000 sccm = 15-45 psid

51 slm-300 slm = 30-90 psid

SDS Models 10 Torr- 30 psid typical

*Typical pressure drops. Contact Brooks Technical Support for more information.

{7A261F9D-32B9-4A05-B2FC-96981C6ED085}
最高圧力

Standard GF Series: up to 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

{6E5FC165-C3A0-43F7-A3A6-65541C20BA4D}
Leak Integrity
1x10-10 atm cc/sec He
{FD0F3EAE-7739-4E0D-AEAB-34FA7068CA98}
診断と表示
{4C717972-2B93-453A-AE05-A480456E8950}
診断能力
Available

{1EDA9026-203E-4B26-86C4-3BE44F6E9364}
Status Lights

Run

Error

Power

Network Status

{AFFD95BD-CF8E-4D68-B535-F99D31B78954}
警報

Control Valve Output

Network Interruption

Temperature High/Low

Pressure High/Low

Power Surge/Sag

{E866E098-05A5-4290-94ED-9267E9BC1068}
Diagnostic - Service Port

Micro USB

{0B05CA40-E0DB-4DFF-915C-FC9D400DDBDF}
Display

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

{2968243A-89B4-47FA-95CF-5CC6A110956B}
Electrical
{26790E4F-2742-4CEB-BCAD-961628E74B1C}
アナログ通信

—

{8DF0F740-166B-4660-B620-D7997FA6AACE}
デジタル通信

EtherCAT®

{53E88974-5783-4CA5-98F3-B802CD91CC8F}
Electrical Connection

Power via 5-pin M8 Connector, EtherCAT via twin RJ45

{AEE200ED-68A0-43B5-B9DC-BD8F1863CA4F}
Power Supply - Consumption

24 Vdc, 7 Watts

(Under typical operating conditions)

GF100 GF101 GF120 GF120 GF120XSD GF120XSL GF121 GF125 GF126
差別化要因

High Purity

High Purity

High Flow Rate

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Highest Flow Range

Proven, reliable technology

SDS Gas Delivery

SDS Gas Delivery

Ultra-High Purity

High Flow Rate

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response

Pressure Transient Insensitivity

High Flow Rate
流量範囲（フルスケール容量） 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

 3 sccm - 55 slm 3 sccm - 55 slm >25 sccm - 1 slm 4 - 25 sccm

55 slm - 300 slm

 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm
Surface Finish 10µ inch Ra 10µ inch Ra

5µ inch Ra

 4µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra
精度

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%
再現性 < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

 < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.
レスポンスタイム

Normally Closed

<1 sec

Normally Closed

<1 sec

Normally Closed

700 ms

Normally Closed

700 ms

Normally Closed

<3 sec

Normally Closed

<3 sec

Normally Closed

<1 sec

Normally Closed

300ms - <700ms

 

Normally Closed

<1 sec

 
Response Time - NO

Normally Open

<1.5 sec

Normally Open

—

Normally Open

<1.5 sec

Normally Open

<1.5 sec

Normally Open

—

Normally Open

—

Normally Open

—

Normally Open

<1.5 sec

Normally Open

—
マルチガス　　マルチレンジ MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard — — MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard
供給圧力変動耐性/背圧変動耐性 (安定時) — — — — — — —

±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike

Ability to measure inlet pressure
診断能力

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms
デジタル通信

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT
Filename File Type Documents By Language
Flyer pdf English
Data Sheet GF100 EtherCAT pdf English
Data Sheet GF120xHT pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual pdf English