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最速かつ超精密なマスフローコントローラ

速度機能強化された EtherCAT®


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電話:03-5633-7100

EtherCAT® GF100 Series Flyer

半導体プロセス向けの最適なパフォーマンス

  • リアルタイムの診断力が埋め込まれた、EtherCAT® データ収集機能
  • 超安定性のあるフローセンサ (セットポイントの≤ 0.15%、1年ごとに)により、 低いセットポイントにおける精度が上がり、メンテナンスの要求度も低減されます
  • バルブシャットダウンを改良し (ビンレンジの≤ 0.15%)、ファーストウエハエフェクトを低減させるため、バルブリークバイを減らしました
  • 新たに強化された圧力変動耐性(PTI)により、クロストークの感度が減り、一貫したマスフロー供給が実施されます

特徴

  • 長期間のゼロ点安定性、±0.15% F.S./年以下
  • 応答速度: 300 ms から1 second以下
  • 流量レートのフルスケールは、300 slpmまで
  • 接ガス部は全て金属: 最大0.125µ もしくは 0.25µm Ra 表面仕上げがオプションであります
  • 高耐腐食性ハステロイT-Riseセンサにより、高温下における温度再現性の向上 
  • MultiFloTM ガス、レンジ変更機能: ガスラインからMFCを取り外すことなく、また精度を損なうことなく、一つのデバイスで数千種類もの異なるガスと流量に設定可能
  • 使いやすいユーザーディスプレイ及び独立した診断/サービスポートより、機器の取り付け、モニタリング及びトラブルシュートの手助けになります
  • GF120 Safe Delivery System (SDS®) は、インプラントやエッチングプロセスで使用される大気圧以下のSDSガス供給用の、ブルックスの最高技術による低圧力損失マスフローコントローラです。

利点

  • 非常に優れたパフォーマンス
    • 素早い反応時間により改善されたアプリケーションの効率性
  • フレキシブルな接続形態
    • 実質的に制限の無いネットワーク接続形態
  • 簡単で頑丈
    • コンフィグレーション、診断及びメンテナンス
  • 値ごろ感
    • 標準のイーサネットポート

用途

  • 半導体エッチ装置
  • CVD, MOCVD, PECVD, ALD装置
  • PVD装置
  • エピタキシャルプロセス装置

Product Type

Mass Flow Controller

Differentiator

EtherCAT Communication

High Purity/Ultra-High Purity

Embedded Diagnostics

Ultra-stable Flow Sensor

Improved Valve Shutdown

Performance
流量範囲(フルスケール容量)

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

精度

Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%

High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%

Repeatability
< ±0.15% S.P.
Response Time - NC

Normally Closed Valve: 300 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

Response Time - NO

Normally Open Valve: <1.5 sec (specific models)

Pressure Insensitivity

Specific models

Multi-Gas Multi-Range
MultiFlo™ Standard (most models)
Control Range

Standard GF Series:  2-100%

High Flow GF Series: 5-100%

Number of Bins

Standard GF Series: 11 bins

High-Flow GF Series: 4 bins

Valve Shut Down

Standard GF Series: < 0.15% F.S.

High Flow GF Series: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

Zero Stability

< ±0.15% F.S. per year

Temperature Coefficient

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

Mechanical
Seal Material
Metal
Level of Purity

5 - 10µ inch Ra

Wetted Materials

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

Valves

Normally Closed

Normally Open (specific models only)

Meter (no valve)

Ratings
最大温度
50oC
Differential Pressure Range

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 10-45 psid

7201-55000 sccm = 15-45 psid

51 slm-300 slm = 30-90 psid

SDS Models 10 Torr- 30 psid typical

*Typical pressure drops. Contact Brooks Technical Support for more information.

最大圧力

Standard GF Series: up to 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

Leak Integrity
1x10-10 atm cc/sec He
Diagnostics and Display
Diagnostic Capability
Available

Status Lights

Run

Error

Power

Network Status

Alarms

Control Valve Output

Network Interruption

Temperature High/Low

Pressure High/Low

Power Surge/Sag

Diagnostic - Service Port

Micro USB

Display

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

Electrical
Analog Communication

Digital Communication

EtherCAT®

Electrical Connection

Power via 5-pin M8 Connector, EtherCAT via twin RJ45

Power Supply - Consumption

24 Vdc, 7 Watts

(Under typical operating conditions)

FilenameFile TypeDocuments By Language
Flyer pdf English
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF1xx pdf English