マスフローコントローラ/メータ

マスフローコントロールテクノロジー:卓越したプロセス精度
プロセスをコントロールするには、供給ライン、チャンバなどあらゆるポイントで正確な測定を行い、リアルタイムで測定した情報を使用して、プロセスの的確性と生産性を維持する必要があります。

精密流体測定および制御において世界をリードし、数十年にわたり、サーマル式マスフローテクノロジーの革新に携わってきたブルックスインスツルメント。継続的に新製品を発表し、既存システムを強化しながら、サーマルマスフローの新次元の精密性、応答性、精度、繰り返し性を実現してきました。

ブルックスインスツルメントのマスフローデバイスが世界中で使用されている理由:
  • 幅広いアプリケーションのニーズに応える業界最高の製品レンジ
  • 革新的なMultiFlo™ テクノロジーは、システムからデバイスを取り外さずにガスタイプやレンジを変更することができ、実プロセスガスの精度を向上します。
  • エラストマシールおよびメタルシールオプションを含む一貫した製品レンジ
  • 薄膜、半導体、ハイテク産業の条件を満たす超高清浄デバイス

主な用途

  • 熱処理、カッティング、サーマルプロセス
  • 半導体とLED生産ツール
  • 薄膜形成システム
  • 生物医薬バイオリアクタ
  • 石油化学および化学ガス、流体パイロットプラント
  • パージガス、プロセス解析、解析フロー測定
GF125 - マスフローコントローラ
  • フローおよび圧力レンジ最大
  • 高い長期安定性により持続的価値を提供
  • 危険区域での使用承認を受けた製品を含む
  • 水がかかりやすいデバイス筐体
{18886FAC-2FF5-450F-8969-7D17F1954F23}
流体タイプ
ガス
{FF1F572E-D25F-41B7-8A12-E6D0153C9FBC}
流量範囲(フルスケール容量)
3 sccm - 2500 lpm
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精度
± 0.6% of SP
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最高圧力
4500 psig
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温度
65oC
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出力タイプ
アナログ/デジタル
  • 湿気や酸素の影響を受けやすいプロセス向け
  • 高清浄流量経路により、プロセスの汚染を防ぎ、収率を向上
  • 超高速応答時間
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流体タイプ
ガス
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流量範囲(フルスケール容量)
.06 sccm - 300 slm
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精度
SP ±1%
{34182DC6-D16A-437F-8683-DC2BFDE0E72E}
最高圧力
150 psig
{6CC6EE13-EA1C-4D01-A096-93E9C793477A}
温度
50oC
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出力タイプ
アナログ/デジタル
  • 最高動作温度
  • 高精度・繰り返し性
  • 超高清浄構造
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流体タイプ
ガス、蒸気
{4D034DB9-C880-4604-94EE-751326470C7D}
流量範囲(フルスケール容量)

3 sccm - 10 slm

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精度
SP ±1%
{14561F9A-1D52-4C64-B9CF-2F16451C4D6F}
最高圧力
145 psig
{9617F8FC-A12B-4574-BA30-40FE1069F592}
温度
150oC
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出力タイプ
アナログ/デジタル
  • 小流量プロセスでも最高精度を実現
  • 独自の流体密度計
  • 流体/ガスいずれのアプリケーションにも対応するデバイス
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流体タイプ
ガス、流体
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流量範囲(フルスケール容量)

10 - 27,000 gram/hr

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精度
0.2% - 0.5% of Rate
{296161DC-4196-49EA-AED5-6154A2E563A1}
最高圧力
4500 psi
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温度
65oC
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出力タイプ
アナログ/デジタル