XacTorr® 通信および診断 GUI

概要

GUIソフトウェアを使用することにより、ツールの通信を中断せずに、独立してキャパシタンスマノメーターと通信することができます。キャパシタンスマノメーターの操作と並行して、チャンバとツールマシンの監視とデータ取得を行いながら、リアルタイムで高度なトラブルシューティングを実行します。

不明な点がある場合は、テクニカルサービスまたはお近くのブルックスインスツルメント担当者までお問い合わせください。