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ゴールデンウィーク期間 営業日ならびに休業日のお知らせ - 平素は格別のご愛顧を賜り、誠にありがとうございます。勝手ながら、4月28日(土)~4月30日(月)、5月2日(水)~5月6日(日)の期間は休業日となります。5月1日(火)は平常営業いたします。何卒ご了承くださいますようお願い申し上げます。

XacTorr® 通信および診断 GUI

OVERVIEW

GUIソフトウェアを使用することにより、ツールの通信を中断せずに、独立してキャパシタンスマノメーターと通信することができます。キャパシタンスマノメーターの操作と並行して、チャンバとツールマシンの監視とデータ取得を行いながら、リアルタイムで高度なトラブルシューティングを実行します。

不明な点がある場合は、テクニカルサービスまたはお近くのブルックスインスツルメント担当者までお問い合わせください。

カタログ/資料

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VERSIONS

XacTorr®通信および診断GUI V1.8