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MultiFlo™ コンフィギュレータ

概要

Windows™オペレーティングシステム向けのMultiFlo™コンフィギュレータソフトウェアでは、GF100シリーズ、GF40シリーズ、GF80シリーズ、Celerity/Unitブランドのマスフロータコントローラをガスラインから取り外さず、簡単・素早く、ガスとレンジを再設定することができます。

MultiFlo™テクノロジーは、ブルックスインスツルメントによって特許取得された技術で、プロセスエンジニアに独自のリソースを提供します。総合的なガスデータベースは、様々なガスの熱的および物理的特性の違いを 補正する関数を確立するための数千もの実ガステストに基づいて構築されています。

使いやすいMultiFlo™コンフィギュレータアプリケーションは、市場で最も総合的なガスデータベースを備え、プロセスガスの精度を向上することにより、幅広い用途でMultiFlo対応MFCを使用することができます。 

新しくMultiFlo™およびFloComデータベースを使用する場合は、各ソフトウェアパッケージの最新バージョンをダウンロードしてください。お使いのMFCに旧バージョンのMultiFloソフトウェアまたはFloComデータベースがすでにインストール済みである場合は、まずアンインストールして、MultiFlo™コンフィギュレータおよび/またはFloComデータベースの最新バージョンをインストールしてください。

MultiFlo™コンフィギュレータおよびFloComデータベースの新バージョンは、GF100シリーズおよびCelerity/Unitブランドデバイスの関連事項をコピーするよう変更されているので注意してください。正しい手順に従って操作すると、上記の変更箇所が承認されるまで、現在の承認済みバージョンの使用を推奨するメッセージが表示されます。MultiFlo™コンフィギュレータの最新バージョンにアップデートするまで、データベースソフトウェアをアップデートしないでください。 

不明な点がある場合は、テクニカルサービスまたはお近くのブルックスインスツルメント担当者までお問い合わせください。 

ドライバー

ほとんどの場合、ドライバはMultiFlo Configuratorのインストール時に自動的にインストールされます。しかし、ドライバがインストールされていない場合もあります。 このような場合は、以下の正しいドライバをダウンロードしてください。

MultiFlo™ Configuratorおよび/またはFloComデータベースについてご質問がある場合は、テクニカルサービスまたはお近くのBrooks Instrumentの担当者にお問い合わせください。

カタログ/資料

Filename File Type Documents By Language
Quick Start Guide pdf English
FloCom Database db220418 - GF40 Gas Listing xls English
FloCom Database db220418 - GF1XX Gas Listing xls English

MultiFlo™コンフィギュレータ GF100 EtherCAT MFC用ドライバ

GF100 EtherCAT MFCの場合、Multiflo Configuratorを使用してデバイスと通信するためにマイクロUSB診断ケーブルを使用します。 通常、Microsoft Windowsは自動的にドライバをロードします。 そうでない場合は、このドライバをダウンロードしてインストールしてください。 ドライバをインストールし、マイクロUSBケーブルを差し込んでからソフトウェアを起動する必要があります。
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MultiFlo™コンフィギュレータ コンフィギュレータ USBケーブル用ドライバ

USBケーブル(778Z010ZZZ)を使用するにはドライバのインストールが必要です。通常はケーブルをパソコンに接続するとMicrosoft Windowsが自動的にドライバをインストールしますが、自動的にドライバがインストールされない場合は本ドライバをダウンロードしてインストールしてください。ライバをインストールし、USB ケーブルを接続してからソフトウェアを起動してください。

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MultiFlo™コンフィギュレータ V5.34

バージョン5.34の新機能：

  • Ability to set Mac ID’s greater than 128 and connect via MultiFlo™ to devices that have Mac ID’s up to 239
  • Ability to access DNET settings for PC115/PC125 and label printing fixes for 1.5L vs 2L devices
  • Additional producer and consumer options available, and added data units and data type for DNET configuration options
  • Ability to configure devices that are bins SH51-SH54
バージョン5.34は、GF100シリーズおよびCelerity/Unitブランドデバイスの関連事項をコピーするよう変更されています。正しい手順に従って操作すると、上記の変更箇所が承認されるまで、V5.32の使用を推奨するメッセージが表示されます。
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MultiFlo™コンフィギュレータ V5.32

バージョン5.32の新機能：

  • ガス詳細ページに「ガスモデル」と「FloCom+バージョン」の項目を新規追加
  •  GF135設定不能デバイスは、ページ作成後に用紙方向を設定できる
  • アップデートされたファームウェア1.28は、選択すれば「dncIdleEventEnable=Enable」を設定可能
バージョン5.32は、GF100シリーズおよびCelerity/Unitブランドデバイスの関連事項をコピーするよう変更されています。正しい手順に従って操作すると、上記の変更箇所が承認されるまで、V5.26の使用を推奨するメッセージが表示されます。
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MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb220418

新搭載：

  • 次のガス/混合物をデータベースに追加しました: SEMIガスコード 124, 193, 205, 265, 304, 323, 328, 376, 401, 403, 404, 558, 588, 623, 631, 687, 1058, 5021, 5024, 5027
  • 次のガス/混合物が GF40 & GF100 シリーズ SA/SH ビン テーブル (40-49) に追加されました (40-49): SEMIガスコード 205, 265, 304, 403, 558, 588, 623, 631, 687, 1058, 5021
  • 次のガス/混合物が GF40 & GF100 シリーズ SA/SH ビン テーブル (40-49) に追加されました (41-49): SEMIガスコード 124, 323, 328, 376, 401, 404, 5024, 5027
  • GF100 シリーズ ハイフロー SA/SH ビン (50-54) を次のガス/混合物に追加しました: SEMI ガスコード 124, 193, 205, 265, 297, 304, 323, 328, 376, 401, 403, 404, 542, 558, 588, 623, 631, 687, 963, 1058, 5021, 5024, 5027
  • 次のガス/混合物に GF100 シリーズ SH ビン テーブル (48-54) を追加しました: SEMI ガスコード 147
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MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb190701

新搭載：

  • Added the following gases/mixtures to the database: SEMIガスコード 267, 1053, 1054, 1055
  • The following gases/mixtures were added to the GF40 & GF100 Series SA/SH Bin tables (40-54): SEMIガスコード 251, 267, 1053, 1054, 1055
  • Added GF100 Series SA/SH high-flow bins (49-54) to the following gases/mixtures: SEMIガスコード 22, 23, 589
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MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb181213

新搭載：

  • Added the following gases/mixtures to the database: SEMIガスコード 723, 817, 955, 1050, 1051, 1052, 5025
  • The following gases/mixtures were added to the GF40 & GF100 Series SA/SH Bin tables (40-54): SEMIガスコード 723, 817, 955, 1050, 1051, 1052, 5025
  • Added GF100 Series SA/SH high-flow bins (49-54) to the following gases/mixtures: SEMIガスコード 100, 701
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MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb180326

新搭載：

  • Added the following gases/mixtures to the database: SEMIガスコード 131, 149, 213, 310, 397, 580, 1049
  • The following gases/mixtures were added to the GF40 & GF100 Series SA/SH Bin tables (40-54): SEMIガスコード 131, 149, 213, 310, 397, 580, 1049
  • Added GF100 Series SA/SH high-flow bins (49-54) to the following gases/mixtures: SEMIガスコード 25, 27, 31, 42, 48, 69, 99, 190, 1049
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MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb170725

新搭載：

  • Added the following gases/mixtures to the database: SEMIガスコード 266, 393, 556, 561, 562, 564, 566, 567, 568, 569, 629, 661, 669, 720, 746, 754, 755, 756, 757, 758, 759, 760, 761, 1048
  • The following gases/mixtures were added to the GF40 & GF100 Series SA/SH Bin tables (40-54): SEMIガスコード 266, 393, 556, 561, 562, 564, 566, 567, 568, 569, 629, 630, 641, 720, 746, 754, 755, 756, 757, 758, 759, 760, 761, 1048
  • Added GF100 Series SA/SH high-flow bins (49-54) to the following gases/mixtures: SEMIガスコード 607 (SH bins only)
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MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb170131

新搭載：

  • Added the following gases/mixtures to the database: SEMIガスコード 619, 768, 789, 1026, 1027, 1041, 1042, 1043, 1044
  • The following gases/mixtures were added to the SA/SH Bin tables (40-54): SEMIガスコード 136, 176, 503, 504, 505, 507, 508, 510, 511, 512, 515, 518, 519, 520, 521, 522, 530, 531, 533, 534, 539, 540, 541, 543, 545, 548, 619, 725, 768, 789, 1026, 1027, 1041, 1042, 1043, 1044
  • Added SA/SH high-flow bins (50-54) to the following gases/mixtures: SEMIガスコード 4, 11, 28, 39, 596 (SH49-54), 694, 1036 (SH bins only)
  • Added SA/SH high-flow bins (51-54) to the following gases/mixtures: SEMIガスコード513, 822, 1028, 1029, 1030, 1031, 1032, 1033, 1034, 1035, 1037, 1038, 1039
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MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb160713

新搭載：

  • 13種類のガスを新たにSA/SH Binテーブルに追加
    • SEMIガスコード： 822, 1028, 1029, 1030, 1031, 1032, 1033, 1034, 1035, 1036, 1037, 1038, 1039
  • Added to the Neon (SEMIガスコード: 2) bin table
    • SA bins: 48, 50, 51, 52, 53, 54
    • SH bins: 48, 49, 50, 51, 52, 53, 54
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MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb160127

新搭載：

  • 3種類のガスを新たにSA/SH Binテーブルに追加
  • SEMIガスコード： 730, 1024, 1025
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MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb150916

新搭載：

  • 2種類のガス用にBinテーブルレンジを拡大：SH/SA 51-54（詳細については、サポートファイルを参照）
  • SEMIガスコード：28, 53
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MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb141110

新搭載：

  • 4種類のガスを新たにSA/SH Binテーブルに追加
  • SEMIガスコード：26, 387, 583, 709
  • SEMIガスコード722（5%B2H6/H2）のガスサポートを追加。B2H6ガス混合について、CSR（Customer Special Request）を推奨。
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MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb140824

新搭載：

  • 11種類のガスを新たにSA/SH Binテーブルに追加
  • SEMIガスコード：123, 514, 675, 1006, 1007, 1008, 1009, 1010, 1011, 1012, 1013
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MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb140602

新搭載：

  • 7種類のガスを新たにSA/SH Binテーブルに追加： SEMIガスコード 73, 360, 385, 907, 1003, 1004, 1005
  • SEMIガスコード70にGF135のガスサポートを追加
  • SEMIガスコード324のSDSガスサポートを追加
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MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb140128

新搭載：

  • 9種類の新ガス：SEMIガスコード 30, 79, 102, 113, 249, 627, 1000, 1001, 1002
  • AirおよびNO用の高流量Bn（SH51-54およびSA51-54）をリリース
  • N2O CHF4 SiH2Cl2のGF135のガスサポートを追加
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MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb131013

新搭載：

  • SEMIガスコード 
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MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb13064

新搭載：

  • 新ガス98種類  

 

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