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MultiFlo™ コンフィギュレータ

OVERVIEW

Windows™オペレーティングシステム向けのMultiFlo™コンフィギュレータソフトウェアでは、GF100シリーズ、GF40シリーズ、GF80シリーズ、Celerity/Unitブランドのマスフロータコントローラをガスラインから取り外さず、簡単・素早く、ガスとレンジを再設定することができます。

MultiFlo™テクノロジーは、ブルックスインスツルメントによって特許取得された技術で、プロセスエンジニアに独自のリソースを提供します。総合的なガスデータベースは、様々なガスの熱的および物理的特性の違いを 補正する関数を確立するための数千もの実ガステストに基づいて構築されています。

使いやすいMultiFlo™コンフィギュレータアプリケーションは、市場で最も総合的なガスデータベースを備え、プロセスガスの精度を向上することにより、幅広い用途でMultiFlo対応MFCを使用することができます。 

新しくMultiFlo™およびFloComデータベースを使用する場合は、各ソフトウェアパッケージの最新バージョンをダウンロードしてください。お使いのMFCに旧バージョンのMultiFloソフトウェアまたはFloComデータベースがすでにインストール済みである場合は、まずアンインストールして、MultiFlo™コンフィギュレータおよび/またはFloComデータベースの最新バージョンをインストールしてください。

MultiFlo™コンフィギュレータおよびFloComデータベースの新バージョンは、GF100シリーズおよびCelerity/Unitブランドデバイスの関連事項をコピーするよう変更されているので注意してください。正しい手順に従って操作すると、上記の変更箇所が承認されるまで、現在の承認済みバージョンの使用を推奨するメッセージが表示されます。MultiFlo™コンフィギュレータの最新バージョンにアップデートするまで、データベースソフトウェアをアップデートしないでください。 

不明な点がある場合は、テクニカルサービスまたはお近くのブルックスインスツルメント担当者までお問い合わせください。 

カタログ/資料

FilenameFile TypeDocuments By Language
Quick Start Guide pdf English
FloCom Database db170725 - GF4X Gas Listing xls English
FloCom Database db170725 - GF1XX Gas Listing xls English

VERSIONS

MultiFlo™コンフィギュレータ V5.34

バージョン5.34の新機能:

  • Ability to set Mac ID’s greater than 128 and connect via MultiFlo™ to devices that have Mac ID’s up to 239
  • Ability to access DNET settings for PC115/PC125 and label printing fixes for 1.5L vs 2L devices
  • Additional producer and consumer options available, and added data units and data type for DNET configuration options
  • Ability to configure devices that are bins SH51-SH54
バージョン5.34は、GF100シリーズおよびCelerity/Unitブランドデバイスの関連事項をコピーするよう変更されています。正しい手順に従って操作すると、上記の変更箇所が承認されるまで、V5.32の使用を推奨するメッセージが表示されます。

MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb170725

新搭載:

  • Added the following gases/mixtures to the database: SEMIガスコード 266, 393, 556, 561, 562, 564, 566, 567, 568, 569, 629, 661, 669, 720, 746, 754, 755, 756, 757, 758, 759, 760, 761, 1048
  • The following gases/mixtures were added to the GF40 & GF100 Series SA/SH Bin tables (40-54): SEMIガスコード 266, 393, 556, 561, 562, 564, 566, 567, 568, 569, 629, 630, 641, 720, 746, 754, 755, 756, 757, 758, 759, 760, 761, 1048
  • Added GF100 Series SA/SH high-flow bins (49-54) to the following gases/mixtures: SEMIガスコード 607 (SH bins only)

MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb170131

新搭載:

  • Added the following gases/mixtures to the database: SEMIガスコード 619, 768, 789, 1026, 1027, 1041, 1042, 1043, 1044
  • The following gases/mixtures were added to the SA/SH Bin tables (40-54): SEMIガスコード 136, 176, 503, 504, 505, 507, 508, 510, 511, 512, 515, 518, 519, 520, 521, 522, 530, 531, 533, 534, 539, 540, 541, 543, 545, 548, 619, 725, 768, 789, 1026, 1027, 1041, 1042, 1043, 1044
  • Added SA/SH high-flow bins (50-54) to the following gases/mixtures: SEMIガスコード 4, 11, 28, 39, 596 (SH49-54), 694, 1036 (SH bins only)
  • Added SA/SH high-flow bins (51-54) to the following gases/mixtures: SEMIガスコード513, 822, 1028, 1029, 1030, 1031, 1032, 1033, 1034, 1035, 1037, 1038, 1039

MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb160713

新搭載:

  • 13種類のガスを新たにSA/SH Binテーブルに追加
    • SEMIガスコード: 822, 1028, 1029, 1030, 1031, 1032, 1033, 1034, 1035, 1036, 1037, 1038, 1039
  • Added to the Neon (SEMIガスコード: 2) bin table
    • SA bins: 48, 50, 51, 52, 53, 54
    • SH bins: 48, 49, 50, 51, 52, 53, 54

MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb160127

新搭載:

  • 3種類のガスを新たにSA/SH Binテーブルに追加
  • SEMIガスコード: 730, 1024, 1025

MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb150916

新搭載:

  • 2種類のガス用にBinテーブルレンジを拡大:SH/SA 51-54(詳細については、サポートファイルを参照)
  • SEMIガスコード:28, 53

MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb141110

新搭載:

  • 4種類のガスを新たにSA/SH Binテーブルに追加
  • SEMIガスコード:26, 387, 583, 709
  • SEMIガスコード722(5%B2H6/H2)のガスサポートを追加。B2H6ガス混合について、CSR(Customer Special Request)を推奨。

MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb140824

新搭載:

  • 11種類のガスを新たにSA/SH Binテーブルに追加
  • SEMIガスコード:123, 514, 675, 1006, 1007, 1008, 1009, 1010, 1011, 1012, 1013

MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb140602

新搭載:

  • 7種類のガスを新たにSA/SH Binテーブルに追加: SEMIガスコード 73, 360, 385, 907, 1003, 1004, 1005
  • SEMIガスコード70にGF135のガスサポートを追加
  • SEMIガスコード324のSDSガスサポートを追加

MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb140128

新搭載:

  • 9種類の新ガス:SEMIガスコード 30, 79, 102, 113, 249, 627, 1000, 1001, 1002
  • AirおよびNO用の高流量Bn(SH51-54およびSA51-54)をリリース
  • N2O CHF4 SiH2Cl2のGF135のガスサポートを追加

MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb131013

新搭載:

  • SEMIガスコード 

MultiFlo™コンフィギュレータ FloComデータベースdb13064

新搭載:

  • 新ガス98種類  

 

MultiFlo™コンフィギュレータ V5.32

バージョン5.32の新機能:

  • ガス詳細ページに「ガスモデル」と「FloCom+バージョン」の項目を新規追加
  •  GF135設定不能デバイスは、ページ作成後に用紙方向を設定できる
  • アップデートされたファームウェア1.28は、選択すれば「dncIdleEventEnable=Enable」を設定可能
バージョン5.32は、GF100シリーズおよびCelerity/Unitブランドデバイスの関連事項をコピーするよう変更されています。正しい手順に従って操作すると、上記の変更箇所が承認されるまで、V5.26の使用を推奨するメッセージが表示されます。

MultiFlo™コンフィギュレータ V5.26

バージョン5.26の新機能:

  • 設定不可のGFデバイスの取り付け方向が変更可能
  • DNet Poll I/O State Transitionが [Device Setting(デバイス設定)] 画面から設定可能
  • 任意のWindows構成プリンタでラベルを印刷可能。プリンタは「全般/テキストベース」としてセットアップし、ZPLをサポートする必要があります。
バージョン5.26は、GF100シリーズおよびCelerity/Unitブランドデバイスの関連事項をコピーするよう変更されています。正しい手順に従って操作すると、上記の変更箇所が承認されるまで、V5.22の使用を推奨するメッセージが表示されます。